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アプリケーションノート

 

幅広いアプリケーションノートをダウンロードいただけるオックスフォード・インストゥルメンツの技術ライブラリです、今後取り上げてほしいアプリケーションや研究分野がありましたらお知らせください。

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Advanced Manufacturing

AZtecAMによる付加製造用粉体の完全な特性評価

付加製造に使用される金属粉末の完全な特性評価のために、専用のAZtecAMソフトウェアレシピを使用して合理化されたプロセスを検討してください。特性評価、粒子形態学、個々の粒子の特性評価を保証します。
(日本語アプリケーションノート)

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自動車および航空宇宙

高強度軽量鋼のEBSD特性評価

微細構造を理解することは、自動車用途向けに特定の機械的特性を持つ鋼を製造するための基本です。EBSDとEDSを組み合わせた分析は、微細構造をモニタリングするための強力な微細構造解析ソリューションであり、材料加工、微細構造、性能の関係の理解を助けます。

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EBSD アルミニウム合金のin-situ加熱

このテクニカルノートでは、タングステン重合金(WHA)のEBSD/EDSデータを同時に取得するためにAZtecHKLソフトウェアと組み合わせたNordlysMax2検出器の性能を紹介しています。最高取得速度は870Hzで、20kVの加速電圧と16.6nAのプローブ電流で98%以上のヒット率を達成しました。

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曲げAl合金のin-situ EBSD解析

本研究では、曲げAl  6063 合金板の in-situ 等時加熱中の引張領域において、 EBSD によって微細構造の変化を示しています。曲げ加工は、曲げ領域全体でテクスチャーとひずみ勾配の両方を生成することが示されています。本研究では、ひずみ勾配によって駆動される回復と再結晶を追跡するために、これを考慮に入れています。

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バイオイメージングおよび生命科学

二枚貝の詳細なEBSD研究

Symmetryを使用して解析されたムール貝の殻の構造を詳細に見ることができます。カルサイトとナノ構造のアラゴナイト真珠層の両方を、前例のないレベルの詳細さとスピードで測定します。.

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100 nm分解能の真珠(Hyriopsis cumingii)の真珠層構造のEBSD - 迷信を打ち破る

真珠と軟体動物の貝殻の真珠は、アラゴナイト(CaCo3)板状体と生体高分子のハイブリッドナノ複合体です。

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生物学試料のEDSマルチ検出器の最近の進歩

マルチ検出器システムが提供する非常に大きなセンサー面積と高感度は、ビームに敏感な物質や生物学的物質の分析を希望する分析者にとって非常に魅力的なものです。高い収集効率により、ユーザーは正確かつ迅速に極低温サンプルを分析することができ、低加速電圧、小スポットサイズで最大の計数率を実現し、ビームダメージを最小限に抑えることができます。

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発電および蓄電

Symmetryを使ったハロゲン化鉛ペロブスカイトのEBSD分析

メチルアンモニウム鉛ハライド(MALHs)は、太陽電池、LED、レーザー、光検出器で使用される有機結晶化合物です。EBSD検出器の最近の改良により、粒径とテクスチャーの特性評価が可能になりました。
(日本語アプリケーションノート)

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mc-Si太陽電池の性能向上のための転位と粒界のマルチスケール解析

太陽電池は世界的に普及が進んでおり、高効率化のためにはmc-Siセルの生産性向上が重要です。これらの太陽電池のEBIC、TEM、APTを用いた解析

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鉱山から製造まで

リチウムイオン電池は、過去10年間で重要な技術となっており、EV(電気自動車)のさらなる発展に欠かせないものとなっています。電池の安全性を確保するためには、原材料の清浄度を管理することが重要です。自動分析により、汚染物質や汚染物質が混入している場所を迅速かつ容易に特定することができます。
(日本語アプリケーションノート)

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EBSDによるジルコニウム合金中の水素化物の特性評価

ジルコニウム合金は、熱中性子の捕獲断面積が小さく、機械的・腐食特性に優れているため、原子炉に使用されています。しかし、これらの合金は水素化物粒子の形成による遅延水素割れ(DHC)に悩まされています。本研究では、マトリクスや内部構造との配向関係や局所的な配向不良の観点から、EBSDを用いて水素化物の特性を評価する方法を示しています。

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電子後方散乱回折によるカルコパイライト型薄膜からの太陽電池の解析

太陽光発電は、将来の電力を安定的かつ十分に供給するための長期的な戦略の一環です。太陽光発電は、太陽光を直接電気エネルギーに変換する唯一の方法です。太陽光発電システムの効率は測定されています。

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リチウムイオン電池材料のSEM解析

リチウムイオン電池用の新しい材料や既存の材料は、その貯蔵容量と寿命を向上させることを目的として、広範囲に研究されています。SEMはこれらの材料の研究において重要なツールですが、Liの分布を明らかにすることは依然として主要な課題の一つです。

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AZtec LayerProbeを使用した全酸化物太陽電池の特性評価

太陽光発電(PV)セルは、低炭素の再生可能エネルギーを生成するための魅力的なオプションですが、従来の設計では、望ましくない有毒化合物が含まれていることが多く、特別な条件で製造しなければなりません。このように、太陽電池への全酸化物アプローチは非常に魅力的です。
(日本語アプリケーションノート)

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Cu(In,Ga)Se2吸収体層を用いた薄膜太陽電池のEBSDおよびEDS解析

薄膜太陽電池の研究開発の重要な部分は、機能層の微細構造と組成特性の評価です。

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AZtecFeatureを使用したリチウムイオン電池製造における汚染物質の特定

リチウムイオン電池は、ほとんどのモバイル電子機器(ノートパソコン、電話など)に搭載されています。リチウムイオン電池は、その優れたエネルギー重量比とメモリー効果の欠如により、主要な電池技術となっています。また、最新世代の電気自動車やハイブリッドカーに使用されている主要なバッテリータイプでもあります。

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鑑識および環境

TEMによるアスベスト解析

アスベストは、耐火性と耐酸性を兼ね備えた布に紡績する能力を持つという共通の特性を持つ2つの特定の鉱物繊維のグループの総称です。また、建築物の断熱材や、瓦や屋根材の充填材としても一般的に使用されています。また、自動車産業ではブレーキパッドにも広く使用されています。

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アスベスト繊維の自動分析

走査型電子顕微鏡(SEM)とエネルギー分散型X線分析(EDS)によるアスベストの自動分析は、疑わしいアスベスト繊維の量、組成、形態を迅速に測定できる強力な技術です。
(日本語アプリケーションノート)

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AZtecによる発砲残渣解析

発砲残渣(GSR)は、弾丸が銃から発射されたときに、雷管と推進剤から発生する蒸気雲の凝縮から生成されます。プライマーからの凝縮蒸気は、典型的には球状の粒子を形成し、潜在的に0.5μm未満からかなり大きなサイズまでの範囲です。

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消されたシリアル番号のEBSDを用いた法医学的再構築

ここでは、目に見えない塑性変形を検出するEBSDの能力を実証し、研磨されたシリアル番号の再構築を可能にしました。

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地質学・鉱物学・岩石学

AZtecFeatureとFeaturePhaseによる複雑な地質材料の解析

AztecFeatureのFeaturePhase機能を使用すると、正確な結果が得られない場合でも、複雑な地質材料の自動分析が可能になります。
(日本語アプリケーションノート)

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AZtecEnergyとINCAMineralを用いたマンガンノジュールの分析

オックスフォード・インストゥルメンツのAZtecとINCAソフトウェア内のソリューションを使用することで、幅広い種類の地質サンプルの化学と鉱物学に関する詳細な定性・定量情報を得ることができます。

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地質材料の断面の自動解析

地質材料の切片を手作業で特性評価するのは、非常に主観的で手間がかかり、時間がかかるプロセスです。AZtecFeatureを大面積X-MaxN SDDと組み合わせて使用することで、このプロセスを自動化することができ、複雑な鉱物相を迅速かつ正確に特性評価することができます。

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微量な相の自動検出

このアプリケーションノートでは、AutoPhaseMap テクニックを使用することで、構成元素が事前に存在していることがわからない場合でも、これまでに見落とされていた微量な相を発見する方法を検討しています。

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AZtecEnergyを用いた自動相マップによる火成岩の分類

このアプリケーションノートでは、火成岩中の異なる鉱物のモーダルパーセンテージを決定するためにAutoPhaseMapがどのように使用できるかを検討し、その結果から火成岩の種類を分類します。

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複雑な岩石試料の解析

10の相を含むエクロジャイト試料は、EBSDとEDSを使用して迅速に分析されました。Symmetryの性能により、250 ppsでも高いパターン分解能と良好な指数付けが可能になりました。

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変形石英岩の高速解析

比較的単純な地質学的サンプルである石英マイロナイトは、Symmetryを使用して約1000ppsのデータを収集し、数分で解析されました。

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二枚貝の詳細なEBSD解析

Symmetryを使用して特徴づけられたムール貝の殻の構造を詳細に見ることができます。カルサイトとナノ構造のアラゴナイト真珠層の両方を、前例のないレベルの詳細さとスピードで測定します。.

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EBSDと磁化率データを統合した変形石英岩のSPO強度とひずみの解読

本論文では、変形石英岩のXZ断面におけるSPOとひずみを定量化しています。EBSD解析の結晶構造情報に基づいて得られた結晶粒の形状データを用いたこの手法の安定性を実証します。

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硬質ポルフィロクラストを中心とした石英層の大面積EBSDマッピング

大面積のEBSDマッピングを行うことで、微細構造の変形に関する情報を大量に得ることができ、地質試料の歴史や進化を明らかにすることができます。本研究では、延性変形時の硬質二次ガーネットポーフィロクラストの周囲を流れる石英層の微細構造応答を調査しました。

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大面積EDSマッピング - 考古学的試料の相分布

サイズが非常に大きく、ミクロスケールからナノスケールまでの物体サイズの分布を含むサンプルの詳細な表面分析は、限られた分析時間に直面した場合に課題となります。従来の比較的低い画素密度での分析では、低倍率での元素マップの取得において、化学的・構造的な組成を誤認する可能性があります。

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INCAMineralを用いた鉱物リベレーション分析

鉱物のリベレーションは、その鉱石から高品質の鉱物学的精鉱を生産するための重要な段階です。製品(精鉱)は、それらが使用される下流工程に適した純度のものでなければなりません。

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EBSDを用いた火成岩の相解析と結果の検証

このアプリケーションノートでは、AutoPhaseMap技術を火成岩に存在する相を決定し、特徴付けるためにどのように使用できるかを検討しています。AutoPhaseMap法の結果を検証するために、EDSと同時に収集されたEBSDデータセットから計算された相マッピング結果と比較しています。

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金属・合金・複合材料・セラミクス

類似の結晶構造を持つ鉱物の迅速な特性評価

電子後方散乱回折(EBSD)とエネルギー分散型X線分光法(EDS)を組み合わせて地質学的試料の特性を調べることで、試料の形成や履歴に関するより多くの情報を得ることができます。
(日本語アプリケーションノート)

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AZtecによるグレイン解析

粒度は材料の重要なパラメータであり、機械的・物理的特性に大きく影響します。材料の加工を通して粒度がどのように影響を受けるかを理解することで、最適な特性を持つ材料を設計することができます。
(日本語アプリケーションノート)

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EDSを用いたアルミニウム合金の相特性評価

オックスフォード・インストゥルメンツのEDSソフトウェアAZtecEnergyのAutoPhaseMapモジュールは、X線マップデータから特徴的な組成の異なる領域を自動的に検出し、これらの領域または相のそれぞれの分布、面積率、構成元素、組成を決定します。このアプリケーションノートでは、アルミニウム合金とその金属間化合物の特性評価にどのように使用できるかを検討します。

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Ni基合金中のナノスケール金属間化合物の相分析

このアプリケーションノートでは、AutoPhaseMapを使用して、150~1000 nmのナノスケールのNi基合金中のナノスケールの金属間化合物の化学と分布を調査する方法を検討しています。

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AZtecの相再分類 - 鋼材の相の識別

オーステナイト、フェライト、マルテンサイト、ベイナイトは、異なる合金鋼に共通の相であり、これらの異なる相の相対的な割合は、異なる環境下で鋼がどのように振る舞うかに影響を与えます。マルテンサイト、ベイナイト、フェライトを区別することは、これら3つの相の結晶構造が本質的に同じであることから、この分析の課題となっています。

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金線のEBSD解析のナノマニピュレーションへの応用

スフォード・インストゥルメンツのOmniProbeツールとAZtec EBSDシステムを組み合わせて、直径5μmの金マイクロエレクトロニクスワイヤサンプルのマニピュレーションと分析を行う方法について説明しています。

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AZtecSteel

この技術資料では、AZtecSteelの鉄鋼介在物の分析とレポートへの適用について説明しています。

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AZtecSynergyとBLG CrossCourt 3 によるクリープされたニッケル合金のEBSD特性評価

微小解析は、多くの材料の潜在的な破壊メカニズムや潜在的な寿命を理解するための強力なツールです。この例では、EBSDとEDSを用いて、ニッケル超合金のクリープ変形後の微細構造と損傷分布を研究しています。

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付加製造されたNi基超合金の特性評価

X-Max® Extreme は、超低加速電圧での動作時に高感度であるため、10 nm スケールまでの構造物の元素分布を SEM で調べることができます。

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AZtec Synergy - 高温鋼の相同定

このテクニカルノートでは、Tru-I®指数付けエンジンを使用したオックスフォード・インストゥルメンツ社のAZtecSynergyマイクロアナリシスシステムの機能を説明しています。

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高エントロピー合金のEBSDおよびEDS特性評価

等原子AlCoCrCuFeNi合金から高エントロピー合金が開発されました。耐食性、耐酸化性、耐熱性に優れていることから、高温下での様々な用途、例えば、炉部品、工具、金型などの候補となっています。

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ブロードビームイオンミリングを用いた試料作製後の工業材料のEBSD解析

このノートでは、アルミニウム、ジルコニウム、マグネシウム、チタン合金、亜鉛メッキなど、通常は機械的な処理のみでは準備が困難な試料から、ブロードビームイオンミリングを使用して改善された品質のEBSDデータを作成する方法を説明しています。

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マルテンサイト鋼の高解像度EBSDマッピング

マルテンサイト構造は、従来、EBSDでの測定が困難でした。ここでは、シンメトリーが提供する高い感度と詳細なパターンにより、マルテンサイト系ステンレス鋼から優れた結果を得ることができます。

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AZtecを使用したTKD用の最適なサンプル厚さの決定

このアプリケーションノートでは、サンプルの厚さと密度がTKDの結果に与える影響について説明しています。

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SEMにおける透過型菊池線回折を用いたEBSDの空間分解能の向上

このアプリケーションノートでは、従来のEBSDでは特性評価が不可能であったナノ構造ニッケル試料と高変形ステンレス鋼へのTKDの適用について説明しています。

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アルミナ絶縁体のEBSD微細構造の特性評価

注意深くサンプルを準備することで、アルミナ絶縁体から高品質のEBSDデータを収集することができます。このデータは、材料の微細構造(特に粒径や分布、テクスチャー、気孔率など)に関する貴重な情報を提供します。

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鋼線の粒度特性

EBSDは粒度測定に最適な手法ですが、ここでは鋼線への応用について報告します。

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EBSDによる鋼材中のマルテンサイトの同定

本研究では、1.8715鋼を、フェライトマトリックス中のマルテンサイトと残留オーステナイト領域を特定する目的で、EBSD/EDSの複合分析を用いて分析しました。

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マイクロアナリシスからナノアナリシスへ - 一度のデータ取得で

この研究では、1回のマップデータ収集で取得されたSmartMapのスペクトルマッピングデータを使用して、鉄鋼スラグサンプル中の100mmスケールの相(そして100nmスケールの相)を研究するために、AutoPhaseMapをどのように適用したかを調べています。

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鋼とNiの迅速な特性評価

Symmetry検出器は、最高3000ppsの速度での金属試料のルーチン測定に最適です。ここでは、変形したNi超合金と溶接された二相鋼の大面積の特性評価に使用されています。

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ガンマ-TiAlのEBSD解析における疑似対称性のミスインデックスへの対応

このアプリケーションノートでは、ガンマ線TiAlの擬対称問題を解く際のAZtec Refined Accuracyの応用例について説明しています。

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AZtecHKL EBSDシステムを使用した鋼材サンプルの粒度特性評価

EBSDは、粒度を測定するための理想的な技術であり、粒度、粒界特性、テクスチャの定量化を含む微細構造の特性評価を提供します。ここではAZtecHKLを使用して亜鉛メッキ鋼線を検査しています。

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半導体・電子機器・記憶装置

金線のEBSD解析へのナノマニピュレーションの応用

このアプリケーションノートでは、オックスフォード・インストゥルメンツのOmniProbeツールとAZtec EBSDシステムを組み合わせて、直径5μmの金マイクロエレクトロニクスワイヤサンプルの操作と分析を行う方法について説明しています。

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低kV EDSを用いたNAND型フラッシュ・メモリ・デバイスの解析

X-Max Extreme と高分解能SEM を組み合わせることで、10nm 未満のナノ構造の形態や化学的性質を調べるための、他に類を見ない便利で強力なイメージングおよび解析ツールを提供します。フェロセリウムナノ粒子とGaInAs量子ドットの例を用いて、この機能を実際に実証しています。

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LayerProbeとOmniProbe 400を使用した高品質なTEMラメラ作成とオンチップ分析

ここでは、TEMラメラの局所的な厚さと組成を測定できる新しい技術を紹介し、半導体デバイスの故障解析への応用について議論します。

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LayerProbe - フレキシブルなエレクトロニクス解析

レイヤープローブは、基板と層の寄与を分離することを可能にし、高解像度で非破壊的な方法で厚さと組成の測定を可能にします。

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SEMにおける半導体デバイスのマッピング

半導体デバイスの小型化が進み、製造技術の進歩を利用して性能を向上させていく中で、構造と組成の両方を高分解能で解析することが求められています。

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TEMでの半導体マッピング - ピークオーバーラップをリアルタイムで処理

半導体デバイスの開発とテストには、局所構造と元素組成の広範な知識が必要です。5 nm以下のサイズでは、S / TEMでイメージングとEDS分析を行う必要があります。

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EDSとEELSの同時測定

EDSとEELSの同時測定は材料解析の強力なツールです。

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製品に関する情報

高感度EBSD検出器

CMOS搭載EBSD検出器は、サンプルの高速かつ高感度な分析を可能にします。感度はシステム全体の効率、すなわち検出量子効率(DQE)に関連しています。

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CMOS搭載EBSD検出器のパワーを引き出すために高感度が不可欠な理由

CMOS搭載EBSD検出器は、サンプルの高速かつ高感度な分析を可能にします。

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AZtecAMによる添加製造用粉体の完全な特性評価

付加製造に使用される金属粉末の特性評価のために、専用のAZtecAMソフトウェアレシピを使用して合理化されたプロセスを検討してください。特性評価、粒子形態、個々の粒子の特性評価を提供いたします。
(日本語アプリケーションノート)

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