アプリケーションノート

EBSD アルミニウム合金のin-situ加熱

このテクニカルノートでは、タングステン重合金（WHA）のEBSD/EDSデータを同時に取得するためにAZtecHKLソフトウェアと組み合わせたNordlysMax2検出器の性能を紹介しています。最高取得速度は870Hzで、20kVの加速電圧と16.6nAのプローブ電流で98%以上のヒット率を達成しました。

Unityによる地質材料のマルチスケール理解における発展

反射電⼦（Backscattered Electron) とX線（X-ray) のセンサーを統合した、世界初のBEXイメージングを実現する検出器Unityにより、元素情報をもつ⾼精細なカラー画像を⾼速で表⽰しながら、試料の観察を進めることができます。ここでは、海洋鉱物資源のマンガン団塊の観察例を紹介します。

（日本語アプリケーションノート）

ウィンチコム隕石のEDS分析

最近、2021年2月にグロスターシャーの小さな町に落下したウィンチコム隕石を分析する機会に恵まれました。このアプリケーションノートでは、この隕石の壮大な微細構造を浮き彫りにする予備的なEDSの結果を紹介します。

（日本語アプリケーションノート）

SEM-EDSによる隕石の可能性の特定 

隕石と思われるサンプルを、走査型電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析（SEM/EDS）を用いて、どのようにしてその真偽と分類を決定したかを紹介します。

（日本語アプリケーションノート）

EBSDとEDSの併用による岩石の変成履歴の解明

岩石の変成進化を再構築するには、特定の温度や圧力でのみ安定している重要な鉱物を特定することが重要です。EBSDとEDSを組み合わせることで、従来の手法よりも厳密な相の同定が可能となり、岩石の変形や化学的な履歴を知ることができます。

（日本語アプリケーションノート）

AZtecFeatureとFeaturePhaseによる複雑な地質材料の解析

AztecFeatureのFeaturePhase機能を使用すると、正確な結果が得られない場合でも、複雑な地質材料の自動分析が可能になります。

（日本語アプリケーションノート）

AZtecEnergyとINCAMineralを用いたマンガンノジュールの分析

オックスフォード・インストゥルメンツのAZtecとINCAソフトウェア内のソリューションを使用することで、幅広い種類の地質サンプルの化学と鉱物学に関する詳細な定性・定量情報を得ることができます。

地質材料の断面の自動解析

地質材料の切片を手作業で特性評価するのは、非常に主観的で手間がかかり、時間がかかるプロセスです。AZtecFeatureを大面積X-Max^N SDDと組み合わせて使用することで、このプロセスを自動化することができ、複雑な鉱物相を迅速かつ正確に特性評価することができます。

微量な相の自動検出

このアプリケーションノートでは、AutoPhaseMap テクニックを使用することで、構成元素が事前に存在していることがわからない場合でも、これまでに見落とされていた微量な相を発見する方法を検討しています。

AZtecEnergyを用いた自動相マップによる火成岩の分類

このアプリケーションノートでは、火成岩中の異なる鉱物のモーダルパーセンテージを決定するためにAutoPhaseMapがどのように使用できるかを検討し、その結果から火成岩の種類を分類します。

Symmetryを使用した複雑な岩石試料の解析

10の相を含むエクロジャイト試料は、EBSDとEDSを使用して迅速に分析されました。Symmetryの性能により、250 ppsでも高いパターン分解能と良好な指数付けが可能になりました。

変形石英岩の高速解析

比較的単純な地質学的サンプルである石英マイロナイトは、Symmetryを使用して約1000ppsのデータを収集し、数分で解析されました。

二枚貝の詳細なEBSD解析

Symmetryを使用して特徴づけられたムール貝の殻の構造を詳細に見ることができます。カルサイトとナノ構造のアラゴナイト真珠層の両方を、前例のないレベルの詳細さとスピードで測定します。.

硬質Porphyroclastを中心とした石英層の大面積EBSDマッピング

大面積のEBSDマッピングを行うことで、微細構造の変形に関する情報を大量に得ることができ、地質試料の歴史や進化を明らかにすることができます。本研究では、延性変形時の硬質二次ガーネットポーフィロクラストの周囲を流れる石英層の微細構造応答を調査しました。

EBSDと磁化率データを統合した変形石英岩のSPO強度とひずみの解読

本論文では、変形石英岩のXZ断面におけるSPOとひずみを定量化しています。EBSD解析の結晶構造情報に基づいて得られた結晶粒の形状データを用いたこの手法の安定性を実証します。

大面積EDSマッピング - 考古学的試料の相分布

サイズが非常に大きく、ミクロスケールからナノスケールまでの物体サイズの分布を含むサンプルの詳細な表面分析は、限られた分析時間に直面した場合に課題となります。従来の比較的低い画素密度での分析では、低倍率での元素マップの取得において、化学的・構造的な組成を誤認する可能性があります。

INCAMineralを用いた鉱物リベレーション分析

鉱物のリベレーションは、その鉱石から高品質の鉱物学的精鉱を生産するための重要な段階です。製品（精鉱）は、それらが使用される下流工程に適した純度のものでなければなりません。

破断したAl合金における非常に大きな変形挙動の解析

オックスフォード・インストゥルメンツのAZtecCrystal MapSweeperに実装されている新開発のEBSDパターンマッチング法では、より確実に方位データおよび結晶相データが得られるため、最も変形した材料でも効果的な分析が可能となります。このアプリケーションノートでは、Al合金の破断に伴う変形の研究について実証しています。

（日本語アプリケーションノート）

高温EBSDによる相変態の直接観察

オックスフォード・インストゥルメンツのCMOS EBSD検出器シリーズの新しい蛍光スクリーンは、高温EBSD試験中の赤外線信号を遮断するために光干渉フィルターを使用していることをご紹介します。この新技術により、高温でin-situ測定された微細構造の変化をより速く、より高感度に分析することができます。

（日本語アプリケーションノート）

高温in-situ EBSDによるチタンの親粒子再構築の評価

AZtecCrystalを使用した低温EBSD分析から、どのように親粒子の微細構造を再構築できるかをご紹介します。ここでは、新しいタイプの高温蛍光体スクリーンを用いて900℃以上で収集したβ-Tiのin-situ EBSD分析を行い、チタン試料の再構成結果を検証しました。その結果、測定されたβ-Tiの微細構造と再構築されたβ-Tiの微細構造の間に優れた一致が見られました。

（日本語アプリケーションノート）

AZtecSteelを使った国際規格に基づく鋼の清浄度検査

このアプリケーションノートでは、非金属介在物の分析に特化した業界最先端の粒子分析ソリューションAZtecSteelが、様々な種類の鋼の介在物を複数の国際工業規格に準拠した特性評価を行った例を紹介しています。

（日本語アプリケーションノート）

AZtecによるグレイン解析

粒度は材料の重要なパラメータであり、機械的・物理的特性に大きく影響します。材料の加工を通して粒度がどのように影響を受けるかを理解することで、最適な特性を持つ材料を設計することができます。

（日本語アプリケーションノート）

AZtecSteel

この技術資料では、AZtecSteelの鉄鋼介在物の分析とレポートへの適用について説明しています。

AZtecSynergyとBLG CrossCourt 3 によるクリープされたニッケル合金のEBSD特性評価

微小解析は、多くの材料の潜在的な破壊メカニズムや潜在的な寿命を理解するための強力なツールです。この例では、EBSDとEDSを用いて、ニッケル超合金のクリープ変形後の微細構造と損傷分布を研究しています。

類似の結晶構造を持つ鉱物の迅速な特性評価

電子後方散乱回折(EBSD)とエネルギー分散型X線分光法(EDS)を組み合わせて地質学的試料の特性を調べることで、試料の形成や履歴に関するより多くの情報を得ることができます。

（日本語アプリケーションノート）

ナノマニピュレーションの金線のEBSD解析への応用

スフォード・インストゥルメンツのOmniProbeツールとAZtec EBSDシステムを組み合わせて、直径5μmの金マイクロエレクトロニクスワイヤサンプルのマニピュレーションと分析を行う方法について説明しています。

高エントロピー合金のEBSDおよびEDS特性評価

等原子AlCoCrCuFeNi合金から高エントロピー合金が開発されました。耐食性、耐酸化性、耐熱性に優れていることから、高温下での様々な用途、例えば、炉部品、工具、金型などの候補となっています。

ブロードビームイオンミリングを用いた試料作製後の工業材料のEBSD解析

このノートでは、アルミニウム、ジルコニウム、マグネシウム、チタン合金、亜鉛メッキなど、通常は機械的な処理のみでは準備が困難な試料から、ブロードビームイオンミリングを使用して改善された品質のEBSDデータを作成する方法を説明しています。

AZtecの相再分類 - 鋼材の相の識別

オーステナイト、フェライト、マルテンサイト、ベイナイトは、異なる合金鋼に共通の相であり、これらの異なる相の相対的な割合は、異なる環境下で鋼がどのように振る舞うかに影響を与えます。マルテンサイト、ベイナイト、フェライトを区別することは、これら3つの相の結晶構造が本質的に同じであることから、この分析の課題となっています。

AZtec Synergy - 高温鋼の相同定

このテクニカルノートでは、Tru-I^®指数付けエンジンを使用したオックスフォード・インストゥルメンツ社のAZtecSynergyマイクロアナリシスシステムの機能を説明しています。

SEMにおける透過型菊池線回折を用いたEBSDの空間分解能の向上

このアプリケーションノートでは、従来のEBSDでは特性評価が不可能であったナノ構造ニッケル試料と高変形ステンレス鋼へのTKDの適用について説明しています。

アルミナ絶縁体のEBSD微細構造の特性評価

注意深くサンプルを準備することで、アルミナ絶縁体から高品質のEBSDデータを収集することができます。このデータは、材料の微細構造（特に粒径や分布、テクスチャー、気孔率など）に関する貴重な情報を提供します。

付加製造されたNi基超合金の特性評価

X-Max® Extreme は、超低加速電圧での動作時に高感度であるため、10 nm スケールまでの構造物の元素分布を SEM で調べることができます。

AZtecを使用したTKD用の最適なサンプル厚さの決定

このアプリケーションノートでは、サンプルの厚さと密度がTKDの結果に与える影響について説明しています。

マイクロアナリシスからナノアナリシスへ - 一度のデータ取得で

この研究では、1回のマップデータ収集で取得されたSmartMapのスペクトルマッピングデータを使用して、鉄鋼スラグサンプル中の100mmスケールの相（そして100nmスケールの相）を研究するために、AutoPhaseMapをどのように適用したかを調べています。

鋼とNiの迅速な特性評価

Symmetry検出器は、最高3000ppsの速度での金属試料のルーチン測定に最適です。ここでは、変形したNi超合金と溶接された二相鋼の大面積の特性評価に使用されています。

マルテンサイト鋼の高解像度EBSDマッピング

マルテンサイト構造は、従来、EBSDでの測定が困難でした。ここでは、シンメトリーが提供する高い感度と詳細なパターンにより、マルテンサイト系ステンレス鋼から優れた結果を得ることができます。

EBSDによる鋼材中のマルテンサイトの同定

本研究では、1.8715鋼を、フェライトマトリックス中のマルテンサイトと残留オーステナイト領域を特定する目的で、EBSD/EDSの複合分析を用いて分析しました。

AZtecHKL EBSDシステムを使用した鋼材サンプルの粒度特性評価

EBSDは、粒度を測定するための理想的な技術であり、粒度、粒界特性、テクスチャの定量化を含む微細構造の特性評価を提供します。ここではAZtecHKLを使用して亜鉛メッキ鋼線を検査しています。

鋼線の粒度特性

EBSDは粒度測定に最適な手法ですが、ここでは鋼線への応用について報告します。

ガンマ-TiAlのEBSD解析における疑似対称性のミスインデックスへの対応

このアプリケーションノートでは、ガンマ線TiAlの擬対称問題を解く際のAZtec Refined Accuracyの応用例について説明しています。

ボールベアリングの製造工程における部品清浄度検査

AZtecClean は AZtecFeature のアプリケーションで、ISO 16232 や VDA19 などの国際規格に準拠した部品清浄度分析を行うために最適化されています。このアプリケーションノートでは、AZtecCleanを使用して、これらの規格に準拠したボールベアリングの製造プロセスの清浄度をレポートする例を紹介します。

（日本語アプリケーションノート）

エレクトロニクス産業におけるEBSDアプリケーション

このアプリケーションノートでは、EBSD技術、特にSymmetry S2検出器とAZtecCrystalデータ処理ソフトウェアを使用して、様々なマイクロエレクトロニクスサンプルの微細構造の効果的な特性評価を行うための簡単な例を紹介しています。

（日本語アプリケーションノート）

PCB（プリント基板）の汚染調査

このアプリケーションノートでは、2つのPCBサンプルの汚染を検出して特性評価するために、EDSと組み合わせたSEMベースのソリューションを紹介しています。

（日本語アプリケーションノート）

金線のEBSD解析へのナノマニピュレーションの応用

このアプリケーションノートでは、オックスフォード・インストゥルメンツのOmniProbeツールとAZtec EBSDシステムを組み合わせて、直径5μmの金マイクロエレクトロニクスワイヤサンプルの操作と分析を行う方法について説明しています。

低加速電圧EDSを用いたNAND型フラッシュ・メモリ・デバイスの解析

X-Max Extreme と高分解能SEM を組み合わせることで、10nm 未満のナノ構造の形態や化学的性質を調べるための、他に類を見ない便利で強力なイメージングおよび解析ツールを提供します。フェロセリウムナノ粒子とGaInAs量子ドットの例を用いて、この機能を実際に実証しています。

LayerProbeとOmniProbe 400を使用した高品質なTEM薄膜試料作成とオンチップ分析

ここでは、TEM薄膜試料の局所的な厚さと組成を測定できる新しい技術を紹介し、半導体デバイスの故障解析への応用について議論します。

LayerProbe - フレキシブルなエレクトロニクス解析

レイヤープローブは、基板と層の寄与を分離することを可能にし、高解像度で非破壊的な方法で厚さと組成の測定を可能にします。

SEMにおける半導体デバイスのマッピング

半導体デバイスの小型化が進み、製造技術の進歩を利用して性能を向上させていく中で、構造と組成の両方を高分解能で解析することが求められています。

EDSとEELSの同時測定

EDSとEELSの同時測定は材料解析の強力なツールです。