低加速電圧EDSを用いたNAND型フラッシュ・メモリ・デバイスの解析

これまでのエネルギー分散型X線分光法は、X線がよく分離されていてバックグラウンドの少ない高エネルギー領域に焦点が当てられてきましたが、最近では半導体デバイスの分析や金属の析出物の測定など、より高い空間分解能が求められるようになりました。Ultim^®シリーズのEDS検出器は、このような要求の厳しい条件下でも最高の感度を確保できるように、大面積SDDと最適化されたジオメトリを組み合わせ、常に高いカウントレートを実現しています。

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