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AZtecFeature

AZtecFeatureは、世界をリードするSEM用の粒子解析ソリューションです。スマートなアプローチの組み合わせにより、最高レベルのスループットと精度を両立するFeatureExpressアップグレードをリリースしました。様々な粒子解析アプリケーションで分析者が必要とする質の高い分析結果を提供します。

 

  • Fast

  • Accurate

  • Smart

  • Easy to Use


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高速かつ強力

  • 最新の大面積SDD Ultim Max SDDの能力を最大限に引き出す - 低計数率条件下でも高感度で検出、高計数率の場合には高い情報処理能力を発揮
  • 最新のFeatureExpressアップグレード - 全てのAZtecLive 5.1 システムで1時間あたりの粒子処理能力(pph)が30,000~120,000pph超まで向上

予算とニーズに適した検出器の選択

  • 最大4つの検出器を組み合わせて最大のスループットと感度を実現し、凹凸のある試料における粒子の陰影の影響を除去
  • Ultim Max 、 Xplore およびその他のオックスフォード・インストゥルメンツ社製EDS検出器に対応 
  • AZtec は 64 ビットの性能と真のマルチタスクを実現
  • 1 試料につき最大 200,000 個の粒子を特性評価
  • リアルタイム検出、形態および化学組成分析
  • オンラインまたはデータ収集後の粒子の元素分析および相分析
  • データ取得中に並行して分析とレポーティングを実行

 

分析精度

  • AZtecFeature は Tru-Q 技術を組み込み、手動の介入を必要とせず比類のない元素同定と定量分析を実現、無人でのデータ収集に最適なシステム
  • 独自のパルスパイルアップ補正により、最高の計数率においても高精度な定量分析が可能

 

簡単

  • 新しい試料でも、数秒で結果を取得 - 面倒な設定手順が不要
  • 形態および化学組成の測定結果は自動的に取得され、粒子分類体系へ容易に取り込み可能
  • システム設定全体をレシピとして保存、後で呼び出すことが可能

高速・正確・スマートな粒子解析:AZtecFeatureは分析を最大限に自動化し、必要に応じた柔軟性を兼ね備えています

AZtecFeature - Fast, accurate and smart

 

秒速でのデータ処理

自動粒子解析はこれまでになく簡単になりました!基礎的な粒子サイズ計測はその場で確認ができます:特定の粒子をクリックするだけで、同じ輝度の粒子群が自動識別され、それらの形状情報が瞬時に確認できます。

  • 形状パラメータをリアルタイムで計測
  • 粒子サイズ、形状、アスペクト比などが瞬時に表示
  • 手動で粒子検出条件の微調整も可 - しきい値調整、ノイズ除去や粒子分離のための画像フィルタ等

 

完全なインテグレーション

AZtecFeatureは、AZtecシリーズの機能と完全に統合。簡単に化学的情報の追加ができます。

  • 各粒子のEDSスペクトルを自動的に取得
  • AZtecユーザープロファイル設定を使用したスペクトル処理
  • Tru-Q® アルゴリズムによる正確な分析結果
  • ボタンクリックで、分類スキームの構築

 

単一視野分析から広域分析への移行も簡単に 

単一視野から広域、さらには複数試料まで - データ取得領域を展開するのは簡単です:

  • ウィザードによる分析領域および複数試料の設定
  • 保存した分析領域の呼び出しも可能
  • 試料毎に、数千視野にわたり最大粒子数200,000の自動分析
  • ステージ移動・画像取得・EDS取得は完全自動化。取得データを1つの大面積データとしてつなぎ合わせができます。収集した各視野はのモンタージュも自動化。
  • データ収集中でも全体像の確認や特定視野の拡大もできます。
  • 特定の視野を再度呼び出して、より詳しく分析することができます。
  • 電子銃フィラメント切断を感知しての分析中断も可(電子顕微鏡の仕様に依存します) 。

 

レポート作成

粒子データ取得後ただちに、形状および化学組成の測定値と粒子のクラス分け結果がカスタマイズ可能なリストに追加されます。

  • 取得中でも、表形式の結果を操作・データを確認することができます。
  • ヒストグラム形式でデータを視覚化。結果概要のレポートをMicrosoft Wordに直接出力
  • さらに詳細な分析や表作成のオプションで、総合的なデータをMicrosoft Excelで出力できます。

粒子解析アプリケーション: 形状および化学組成情報に基づいた判定

 

光学顕微鏡法とは異なり、AZtecFeatureは粒子をサイズや形状だけでなく、化学組成やこれらすべてのパラメータの組み合わせでクラス分けすることができます。


組成情報により得られる新たな情報が、識別された粒子の起源や材料特性または工業プロセスへの影響についての確信をもたらします。これにより、以下のような研究開発や工業プロセス制御への応用が可能になります:

  • 技術的清浄度検査 – 電子部品、半導体、自動車産業の精密製造プロセスにおける汚染物質の発生源の特定
  • エンジンの摩耗検査 – エンジンオイルフィルターの粒子分析による内燃機関の健康状態のモニタリング
  • 鉄鋼の清浄度検査 – 金属や鉄鋼材料に含まれる非金属介在物の性質と原因の分析
  • 科学捜査 – 犯罪科学および産業的な科学捜査における微量証拠物質の検出と分析
  • 地質学および鉱物学研究 – 地質試料の化学相および集合組織の識別と組成の計測
  • エアフィルター分析 – エアフィルター内粒子の分析による、大気の質と汚染のモニタリング
  • アスベスト - 形状による繊維状試料の識別、および化学組成情報によるにアスベスト種類の確認

その他

希少粒子の検出

AZtecFeatureは、希少な粒子や関心のある粒子を素早く見つける、いわゆる「干し草の中の針」問題を解決するのに適しています。

電子線像の処理により、候補となる粒子を迅速に特定しEDSで化学的性質を確認できます。この技術は、犯罪捜査の分野で銃弾の残留物や鉱石試料中の貴金属の識別にも広く使用されています。分析時間を数時間から数分に短縮し、分析作業を効率化します。

 
ビッグデータ - 取得済みのデータセットから粒子データを抽出

AZtecは、広範囲に分布するナノ粒子分析のための大面積X線マップの自動取得ができます。AZtecFeatureは、数十ギガバイトのデータから成る大面積マップからX線データの抽出ができます。電子顕微鏡像とX線マップデータの情報を賢く組み合わせることで、AZtecFeatureは大規模な分析データから効果的な情報を抽出するためのツールとなります。

  • 大面積マッピングデータに含まれる特定の化学相や介在物を調査
  • 形態的な測定結果を元に、データセット中で見つかった粒子をクラス分け
  • 組成的に不均一な相のサイズおよび形状情報の定量化
  • 過去に取得しマッピングデータの処理

アプリケーション特化モジュール

 

MLA分析 - AZtecMineral

コストパフォーマンスに優れた最先端の自動鉱物分析システム

  • 粒子マウントや岩石の研磨済み断面試料の自動分析
  • 鉱物リベレーション分析・モード分析・相アソシエーションの計測
  • 相組成の直接レポートと分析結果の比較
  • 鉱石種類に対応した専用の設定

製品ページ: AZtecMineral

拳銃残さ分析 - AZtecGSR

GSRモジュールは、犯罪科学捜査と拳銃残さ分析専用の設定が含まれています。ASTM 1588-20に準拠した粒子の分類と報告書作成ができます。

  • すべての弾薬タイプの分類
  • 拳銃残さ粒子の信頼性の高い識別
  • システムキャリブレーションと再現性確認のための標準試料

製品ページ: AZtecGSR

 

鉄鋼中の非金属介在物分析 - AZtecSteel

鉄鋼材料・タイヤコード・粉末冶金に含まれる介在物分析

  • 様々な国際工業規格に準拠した鉄鋼の清浄度検査
  • 複合介在物、ストリンガーおよびクラスターの識別と分類
  • 介在物種類の統計データ、三元プロットや各表などを含む総合的なレポートの自動作成

製品ページ: AZtecSteel 

 

電池材料の清浄度検査 - AZtecBattery 

リチウムイオン電池の材料粒子に含まれるコンタミネーションの分析

  • コンタミネーション粒子の組成や形状の識別による、汚染源の特定や改善策の検討
  • 複数の拠点での稼働に対応 - 同一の清浄度検査基準をサプライチェーン全体で導入可
  • 混入物の種類の統計データ、三元プロットや各表などを含む総合的なレポートの自動作成

製品ページ: AZtecBattery 

 

自動車部品の技術的清浄度検査 - AZtecClean

自動車メーカー向けの技術的な清浄度検査、およびISO16232またはVDA19に基づいたレポート出力

  • コンタミネーション粒子の組成・形状の識別による、汚染源の特定や改善策の検討
  • 複数の拠点での稼働に対応 - 同一の清浄度検査基準をサプライチェーン全体で導入可
  • ISO16232やVDA19など工業規格を準拠したレポートの出力、清浄度コードの算出

製品ページ: AZtecClean

 

アディティブマニュファクチャリング(付加製造)粒子の品質管理 - AZtecAM

アディティブマニュファクチャリングの品質維持のための、使用前後の金属粉の分

  • コンタミネーションの識別による汚染源の特定と改善策の検討
  • 使用済み粉体の検査による再利用可能かどうかの判定
  • Symmetry S2 EBSDとの組み合わせによる、最終製品の品質確認

製品ページ: AZtecAM

 

高度な特性評価

AZtecFeatureは、AZtecシリーズの他モジュールとも統合されており、異なる分析法へのシームレスな移行ができます。

例えば、自動実行中に興味深い粒子やグレインが識別された場合、分析位置を再度呼び出してX線やEBSDのマップを数秒で取得することができます。AZtecの先進的なTruMapとTruPhase機能は、EDSスペクトルのオーバーラップやバックグラウンドの影響を補正しEBSDとEDSのデータを組み合わせることで、明確に化学相を識別します。また、WDSによる微量元素の測定や複雑なオーバーラップの解消もできます。

統合された機能により以下のことができます:

  • AZtecFeatureによる試料の自動スクリーニング
  • 特定粒子の再分析と他の分析法への移行
  • 以下の分析法との組み合わせ:
    • X線元素マップ
    • TruMap - 連続X線の除去とピークオーバーラップの解消
  • TruMap - 連続X線の除去とピークオーバーラップの解消
  • インタラクティブなオーバーラップ検査と元素プロファイルによるスペクトルの解析
  • 膜厚計測(LayerProbe)
  • EBSD分析
  • TruPhase - X線情報とEBSDを組み合わせた確実な相識別
  • WDS定量分析

粒子解析のための様々なシリコンドリフト検出器(SDD)

AZtecFeatureは Ultim Max SDDとの組み合わせで最高性能を発揮します。通常のマイクロアナリシスに適した40 mm2 からナノアナリシスに対応した 170 mm2 まで、Ultim Maxは予算とアプリケーションに合わせた様々な仕様から選択することができます。

  • 様々なサイズのシリコンドリフト検出器
  • 40 mm2から170 mm2まで
  • SEM取り付け時のジオメトリ共通 - X線カウントレートはセンササイズに比例

 

Ultim Max検出器共通の利点:

  • 低エネルギー領域での優れた分析能力 – 明瞭なBeピーク
  • エネルギー分解能は共通、実機での性能を保証します。
  • 物理的なジオメトリ共通。アップグレードも簡単です。

 

大型センサーのメリット:
  • 少ない電流でも十分なX線カウント取得
  • 高解像度で高い位置精度の電子顕微鏡像でサブミクロンからナノ粒子までの検出に対応
  • 同じ電流量でより多くのX線カウント取得
  • 分析時間の短縮と結果の統計的な信頼性向上
  • 小さなビーム径でより高い空間分解能での分析

Ultim Maxまでのレベルの性能が必要でない場合は Xplore の搭載も可能です。様々なカウントレート条件下でも高い定量精度が得られる10 mm2 SDDです。

マルチ検出器システム

自動化分析プロセスを実施する際、1つまたは複数の検出器を追加することで、サンプルのスループットを大幅に向上させることができます。

非常に小さい粒子や、ビームに敏感な基板上の粒子を分析するような難しいアプリケーションでは、従来の高加速電圧分析(例:20kV)の使用が適していないことあります。このような場合、複数の検出器の同時使用が収集効率の向上や粒子検出の高速化に効果的なソリューションとなります。様々な大きさの粒子が混在する試料では、検出器が一つである場合、大型粒子による小型粒子のシャドウイングが大きな問題となります。2つ以上の検出器を対向するポートに取り付けることで、このシャドーイング効果を克服することができます。

  • 1台の顕微鏡に最大4台のUltim Maxの同時搭載可。センサー面積最大680 mm2
  • マルチ検出器システムでできること:
    • 大きな立体角が求められるナノスケール粒子の低加速電圧分析
    • 電子線照射に敏感な基板上の粒子(例:フィルター、樹脂など)
    • Samples of particles with varying size where shadowing of smaller particles is an issue (see the image at the top of this page).小型粒子のシャドウイングが問題となる、さまざまなサイズの粒子が混在する試料(このページのトップ画像を参照)。

 

マルチ検出器システムは、サンプルスループットの高速化だけでなく、シャドーイングの影響を軽減することができます。

Application notes

地質材料の断面の自動解析

地質材料の切片を手作業で特性評価するのは、非常に主観的で手間がかかり、時間がかかるプロセスです。AZtecFeatureを大面積X-MaxN SDDと組み合わせて使用することで、このプロセスを自動化することができ、複雑な鉱物相を迅速かつ正確に特性評価することができます。

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AZtecによる拳銃残さ解析

拳銃残さ(GSR)は、弾丸が銃から発射されたときに、雷管と推進剤から発生する蒸気雲の凝縮から生成されます。プライマーからの凝縮蒸気は、典型的には球状の粒子を形成し、潜在的に0.5μm未満からかなり大きなサイズまでの範囲です。

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AZtecFeatureによる粒子解析

AZtecFeatureのエンジンの摩耗検査、地質試料、大気の清浄度と汚染検査における応用について紹介します。ここではAZtecFeatureの主な改良点とEDS検出器のハードウェアの最近の進歩との組み合わせにより、産業界や学術界のより多くの研究者にとって、AZtecFeatureがいかに魅力的な提案であるかを説明します。

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金属清浄度の定量化 - ホウ化物と窒化物の非金属介在物

これまで、鉄鋼やその他の合金中の非金属介在物や析出物、特にホウ素などの軽元素の特性評価は難しいとされてきました。しかし、AZtecFeatureは、X-Max Extremeのような高立体角ウィンドウレスEDS検出器や従来の大面積検出器と組み合わせることで、エキサイティングで新しい機能を提供します。

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AZtecFeature

AZtecFeatureは、SEMにおける粒子分析のための革新的なシステムです。使いやすさと高速スループットのために最適化されています。この12ページのカタログでは、システムの概要をご紹介しています。(英語カタログ)

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ボールベアリング製造における技術的清浄度

部品の技術的な清浄度は、完成品の性能にとって非常に重要です。そのため部品の清浄度の評価は、自動車産業のような機械装置の製造など、幅広い産業に適用されます。このような部品の典型的な例としては、回転軸を持つほとんどすべての製品の中心にあるボールベアリングがあります。(日本語アプリケーションノート)

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AZtecSteelを使った国際規格に基づく鋼の清浄度検査

このアプリケーションノートでは、非金属介在物の分析に特化した業界最先端の粒子分析ソリューションAZtecSteelが、様々な種類の鋼の介在物を複数の国際工業規格に準拠した特性評価を行った例を紹介しています。

 

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AZtecFeatureを使用したリチウムイオン電池製造における汚染物質の特定

リチウムイオン電池は、ほとんどのモバイル電子機器(ノートパソコン、電話など)に搭載されています。リチウムイオン電池は、その優れたエネルギー重量比とメモリー効果の欠如により、主要な電池技術となっています。また、最新世代の電気自動車やハイブリッドカーに使用されている主要なバッテリータイプでもあります。

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AZtecSteelによる鉄鋼中非金属介在物の分析と分類

EDS-SEMと専用の粒子解析ソフトウェアAZtecSteelによる5種類の鉄鋼の分析例です。鉄鋼中に含まれる介在物を検出・計測・分類することで各試料の特性評価を行いました。

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リチウムイオン電池材料のSEM解析

リチウムイオン電池用の新しい材料や既存の材料は、その貯蔵容量と寿命を向上させることを目的として、広範囲に研究されています。SEMはこれらの材料の研究において重要なツールですが、Liの分布を明らかにすることは依然として主要な課題の一つです。

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卓上型走査電子顕微鏡による粒子分析

粉末試料中の粒子には、あらゆる形状、サイズ、組成のものがあり、その分析と特性評価に対する要求も様々です。粒子分析の作業は、単一の視野からの形態学的な測定のみを必要とする場合もあれば、広いサンプルエリアからの何千もの粒子からの形状および化学情報の組み合わせを必要とする場合もあります。

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アスベスト繊維の自動分析

走査型電子顕微鏡(SEM)とエネルギー分散型X線分析(EDS)によるアスベストの自動分析は、疑わしいアスベスト繊維の量、組成、形態を迅速に測定できる強力な技術です。
(日本語アプリケーションノート)

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類似の結晶構造を持つ鉱物の迅速な特性評価

電子後方散乱回折(EBSD)とエネルギー分散型X線分光法(EDS)を組み合わせて地質学的試料の特性を調べることで、試料の形成や履歴に関するより多くの情報を得ることができます。
(日本語アプリケーションノート)

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鉱山から製造まで

リチウムイオン電池は、過去10年間で重要な技術となっており、EV(電気自動車)のさらなる発展に欠かせないものとなっています。電池の安全性を確保するためには、原材料の清浄度を管理することが重要です。自動分析により、汚染物質や汚染物質が混入している場所を迅速かつ容易に特定することができます。
(日本語アプリケーションノート)

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地質材料分析のためのEDSハードウェアとソフトウェアの最新動向

エネルギー分散型X線分光器(EDS)のハードウェア(検出器、パルスプロセッサ)とソフトウェアは、過去10年間にデータの質、分析速度、使いやすさの面で多くの進歩を遂げてきました。

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AZtecAMによる付加製造用粉体の完全な特性評価

付加製造に使用される金属粉末の完全な特性評価のために、専用のAZtecAMソフトウェアレシピを使用して合理化されたプロセスを検討してください。特性評価、粒子形態学、個々の粒子の特性評価を保証します。
(日本語アプリケーションノート)

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