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Ultim Max and AZtecTEM: EDS Analysis

Ultim Maxは我々のExtreme電気回路を採用した次世代シリコンドリフト検出器 (SDD) で、スループットを増加するとともに感度を最大化しています。 強力なAZtecTEMは市場をリードするソフトウェアで、TEMにおける比類のない元素分析性能を誇っています。

  • 最大の感度
  • スループットの増加
  • 高い温度での安定性
  • 新しいドリフト補正方式
  • 試料厚さを計測するM2T定量
  • AZtecLiveによりin-situで組成の変化を観察
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Ultim Max
In situ

Extremeエレクトロニクスが高いスループットを実現。 強いIR放射バックグラウンドにを伴う高温条件でもX線カウントを収集できます。

Ultim Max
Sensitivity

Extremeエレクトロニクスは低ノイズ性能。 正確な元素識別と72eVまでのX線ラインの解析を実現します。

AZtecTEM
M2T

EDSを使った試料厚さの直接計測。 単一のスタンダード計測から計算。

AZtecTEM
Live

ビデオレートの電子線と組成イメージが、リアルタイム観察とin-situで化学反応をマッピング観察できます。

Product Overview

1. Extreme エレクトロニクス

4. 優れた低エネルギー検出性能

7. 強固なドリフト補正

2. 最適化した立体角

5. 改良された定量精度

8. ライブ組成マッピング

3. テイクオフアングルの増加

6. in situ実験に最適

9. 試料厚さの計測

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検出器

Ultim Max TLEは、TEM用のフラッグシップSDD検出器です。 この検出器は最小プローブサイズでのカウントを最大化し、原子スケールでの元素解析を実現します。

この性能は最適化した検出器形状、100mm2センサー、ウインドウレス構成、最適な機械設計、そしてExtremeエレクトロニクスによって達成されています。

  • 立体角 0.5 - 1.1 srad
  • 低エネルギーX線に対する感度が最大8倍
  • >400,000 cpsでの定量分析
  • in situ実験中に>1000℃の試料温度においてスペクトルを収集
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Ultim Max TEMは、TEMにおけるナノスケール解析と元素マッピングに適したSDD検出器です。

新しいロープロファイル 80 mm2センサーにより、試料により近づけられることができ、どんな条件でもより多くのX線カウントを得ることができます。 Combined with a windowless construction and extreme electronics this detector delivers high-performance EDS for 200kV TEMs.

  • 立体角 0.2 - 0.6 srad
  • 低エネルギーX線に対する感度が最大8倍
  • >400,000 cpsでの定量分析
  • in situ実験中に>1000℃の試料温度においてスペクトルを収集
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Xplore TEMは120kV TEMや200kV TEMにおいて、日常的な使用用途に適したSDD検出器でっす。

80 mm2 センサーとポリマー製ウインドウ、Extremeエレクトロニクスを搭載しており、高速で信頼性の高い元素分析を実現します。

  • 立体角 0.1 - 0.4 srad
  • Be~Cfまでの元素検出
  • >200,000 cpsでの定量分析
  • SATWウインドウで簡単な操作
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Speed & Sensitivity

リアルタイム組成マッピング

0 - 800℃に加熱した10nmのSiNメンブレン上のAuフィルムで粒子の
凝集が観察されます。(20倍速)

FIBラメラ試料で0~400℃に加熱した際のAl2Cu析出物を観察しています。(20倍速)

加熱試料でも

立体角とテイクオフアングルの増加、それに合わせたウインドウレス構造とExtremeエレクトロニクスにより、妥協の無いX線感度を実現できます。 これはUltim Maxは従来よりもさらに低いX線を検出できるようになったことを意味しています。 ExtremeエレクトロニクスとX4パルスプロセッサの組み合わせは、>800℃に加熱した状態でのin situ EDSマッピングも可能になります。

試料厚さを計算

簡単に使用できる定量ルーチンは、Mass Thicknessによる定量が可能です。 これにより原子精度でナノ粒子の計測をEDS単体でできるようになります。 この方法を使うことで、試料厚の計算が可能になり、得られた像のコントラストをさらに理解できるようになります。

カタログとアプリケーションノート

Ultim Max TEM

Ultim Max is the next generation of Silicon Drift Detectors (SDD) utilising our Extreme electronics to generate maximised sensitivity with increased throughput. This powers AZtecTEM, the market-leading software that delivers unparalleled elemental characterisation performance in the TEM.

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Simultaneous EDS and EELS

EDS is a mature technique that can be used for most specimens. EELS is more suitable for thin samples where the thickness is less than the inelastic mean free path of electrons in the material. Simultaneous acquisition of both signals is a powerful tool for materials analysis.

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Semiconductor Mapping in the TEM - Solving peak overlaps in real-time

Elemental analysis of semiconductors is typically difficult due to strong overlaps of X-ray lines between commonly used elements and low concentrations of dopants. This brief shows how AZtecTEM solves these overlaps to achieve an accurate elemental analysis.

 

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AZtecTEM

This brochure shows why AZtecTEM is the most powerful solution for EDS on the TEM.

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