EDSとEELSの同時測定

EDSはほとんどの試料に使用できる成熟した技術です。EELSは、材料中の電子の非弾性平均自由行程以下の薄い試料に適しています。両方の信号を同時に取得することは、材料分析のための強力なツールです。

透過型電子顕微鏡(TEM)では、元素分析のために2つの "頼りになる "技術があります。エネルギー分散型X線分光法(EDS)と電子エネルギー損失分光法(EELS)です。

EDSはほとんどの試料に使用できる成熟した技術です。発生したＸ線の強度は、試料の質量厚さに比例します。しかし、これは非常に薄い試料や軽元素で構成された試料では限界となります。一方、EELSは厚さが材料中の電子の非弾性平均自由行程以下の薄い試料に適しています。しかしEELSは軽元素の場合、高いS/N比を示します。両方の信号を同時に取得することは、材料分析のための強力なツールとなります。

本アプリケーションノートでは、同時EDSとEELSによる半導体解析をハイライトして紹介しています。

EDSとEELSの同時測定

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