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AZtecHKL は、発売中の EBSD ソフトウェアの中でもっともパワフルなソフトウェアです。一般的な解析に必要な作業速度と結果の正確さを両立させたのみならず、EBSD の適用範囲のさらなる拡大に必要なフレキシビリティとパワーも兼ね備えます。
先進的 EBSD ソフトウェア: データ取得と解析をすべてリアルタイムで実行
世界初の CMOS 搭載 EBSD 検出器 Symmetry の潜在能力を引き出すソフトウェア
EBSD と EDS からのデータを同時にシームレスに取得 (AZtecSynergy)
透過菊池回折 (TKD) を標準装備 (これまで t-ESBD と呼んでいたものと同じ)
一般的な EBSD 解析における実際の顧客ニーズに関して Oxford Instruments がこれまで理解していたことを、さらなる適用拡大に必要なフレキシビリティとパワーに結びつけたソフトウェアが AZtec です。
Aztec は、世界中のお客様に支持されながら 40 年以上ナノ解析に取り組んだ実績を持つ業界リーダーとして Oxford Instruments が総力をあげて開発しました。ナノ解析に要求されるかつてない厳しい条件も満足します。
高速でパワフル
使いやすさ
フレキシブル
革新的
* 知的財産権出願中
EBSD Explainedは24ページのチュートリアルで、初心者の方への基礎だけでなく、その理論を信頼性の高いEBSD分析結果を得るためにどのように使うかを示しています。（英語技術資料）
AZtec には、検出したバンドのどれを指数付けに使用すべきかを決定するインテリジェントバンド検出機能が含まれます。
アプリケーションによっては、SEM レンズが発する高磁界によって EBSD パターンがゆがむ場合があります。このゆがみが菊池バンドをゆがめ、パターンセンターをシフトさせます。AZtec を使えばこれが自動的に修正されます。
EBSD 指数付けルーチンは、正確な結果を得るために不可欠ですが、AZtec は新しい手法Class Indexingを採用しました。
AZtec はバンド幅を比較することにより、結晶構造が似た相を正しく特定します。
精度精緻化アルゴリズム
革新的なアルゴリズム ‘Refined Accuracy Algorithm*’ を新たに開発し、これまでにない精度及び細かさを実現して、いままでの EBSD 解析の適用範囲を拡大します。
AZtec Refined Accuracy により次の効果が期待されます:
データ収集のためにシステムをこれまでよりも簡単に、自動で最適化します。
AutoLock
AZtecで収集したイメージは試料のナビゲーションと再配置に使用可能です。 - 収集した電子顕微鏡とは別の顕微鏡でも可能
CMOS検出器は最大5個の前方散乱電子検出ダイオードを内蔵できます。
AZtecHKL 再解析は極めて柔軟に使用できます:
近年の飛躍的な技術革新にもかかわらず、従来のEBSD技術はパターンの生成領域により、25-100nm解像度に制限されています。 これは（100nm以下のグレインサイズを持つ）ナノ構造材料を正確に計測するには不十分です。
SEMベースの電子線回折の新しいアプローチが使われるようになってきました。 これは電子線透過試料と従来のEBSDハードウェア・ソフトウェアを組み合わせて使用されます。 Transmission EBSD (t-EBSD: Keller and Geiss, 2012) やSEM Transmission Kikuchi Diffraction (TKD: Trimby, 2012)と呼ばれるこの技術は、10nmより良い空間分解能が可能であることが証明されました。
AZtecはTKD解析に最適なシステムです。 ナノメータースケールにおいて最も正確なマップを収集するために標準でTKD最適化モードを内蔵しています。 透過モードで収集されたEBSPはgnomonicひずみを持っていますが、この革新的な技術はそれらのパターンにおいても正確にバンドを検出し、高いヒットレートを提供します。
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