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AZtecHKLは、オックスフォード・インストゥルメンツが日常的なEBSD分析に対するお客様の真のニーズを理解し、EBSDの限界を押し広げるアプリケーションに必要な柔軟性とパワーを兼ね備えています。
グローバルな顧客サポートと40年以上のナノスケール分析の経験を持つマーケットリーダーによって開発されたAZtecは、ナノスケールでの分析に求められる、より厳しい要求に応えます。
高速でパワフル
使いやすさ
フレキシブル
革新的
EBSD Explainedは24ページのチュートリアルで、初心者の方への基礎だけでなく、その理論を信頼性の高いEBSD分析結果を得るためにどのように使うかを示しています。（英語技術資料）
岩石の変成作用を再現するためには、特定の温度や圧力でのみ安定している重要な鉱物を特定することが必要です。EBSDとEDSを組み合わせることで、従来の手法よりも厳密な相の同定が可能となり、岩石の変形や化学的な履歴を知ることができるというメリットがあります。（英語アプリケーションノート）
AZtecは、インテリジェントなバンド検出ルーチンを実装しており、検出されたバンドのうちどのバンドを指数付けに使用すべきかを決定します。
アプリケーションによっては、SEM レンズが発する高磁界によって EBSD パターンがゆがむ場合があります。このゆがみが菊池バンドをゆがめ、パターンセンターをシフトさせます。AZtec を使えばこれが自動的に修正されます。
正確な結果を得るためには、EBSDの指数付けルーチンが重要ですが、AZtecでは新しい手法であるクラスインデキシングを採用しています。
AZtec はバンド幅を比較することにより、結晶構造が類似した結晶相を正しく識別します。
正確性リファインアルゴリズム
新しい革新的な「Refined Accuracy Algorithm*」は、従来のEBSD解析を拡張し、比類のない精度と詳細レベルを実現しています。
AZtec Refined Accuracy により次の効果が期待されます:
データ収集のためにシステムをこれまでよりも簡単に、自動で最適化します。
AutoLock
AZtecで収集したイメージは試料のナビゲーションと再配置に使用可能です。 - 収集した電子顕微鏡とは別の顕微鏡でも可能
CMOS検出器は最大5個の前方散乱電子検出ダイオードを内蔵できます。
AZtecHKL 再解析は極めて柔軟に使用できます:
近年の技術革新にもかかわらず、従来のEBSD技術では、パターン生成領域の体積によって分解能が25-100 nm程度に制限されています。これでは、真のナノ構造材料（平均粒径が100nm以下）を正確に測定するには不十分です。
SEMベースの電子線回折の新しいアプローチが登場しました。これは電子線透過試料を従来のEBSDハードウェアおよびソフトウェアと組み合わせて使用するものです。この技術は、透過EBSD（t-EBSD: Keller and Geiss, 2012）またはSEM Transmission Kikuchi Diffraction（TKD: Trimby, 2012）と呼ばれ、10nm以上の空間分解能が得られることが証明されています。
AZtecにおけるTKD分析
AZtecHKLには、TKD専用のナビゲーターが搭載されており、CMOS検出器シリーズの優れた感度と相まって、常に高品質なTKD結果を得ることができます。TKDに特化した独自の技術革新により、従来のEBSD分析からTKDに瞬時に切り替えることができます。:
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