AZtecHKL

EBSD分析ソフトウェア

最もパワフルなEBSDソフトウェアであるAZtecHKLは、ルーチン分析のためのスピードと結果の正確さ、そしてEBSDの限界を押し広げるアプリケーションに必要な柔軟性とパワーを兼ね備えています。

データ収集と解析をリアルタイムで行う高度なEBSDソフトウェア
世界最高感度のCMOSベースEBSD検出器「Symmetry S3」のポテンシャルを全て発揮
シームレスなEBSDとEDSの同時取得、AZtecSynergy
Transmission Kikuchi Diffraction（TKD）を用いたナノスケールの方位マッピングに最適化

お問い合わせ

概要
ライブラリ

EBSD 指数付けエンジン AZtec Tru-l を使って、高品質なパターンを収集し、それを正確・確実・自動的に解析します。パターンの収集と解析はリアルタイムに処理されます。

正確な EBSD データを取得するには、高品質なパターンの収集が不可欠です。

AZtec は、高速または高ビニングの条件下でも高品質のパターンを収集する最適なシステムに設計されました。
- 信号強度およびノイズを定量化し、パターン品質向上手段として利用可能です。

ダイナミックバックグラウンド補正によりパターンごとのコントラストを最適化できます。

いかなる材料からも高品質のパターンが得られます。
- 結晶相ごとの原子数が大きく異なる多相物質も同様です。
ダイナミックバックグラウンド補正によりスクリーンの不完全部が自動的にマスキングされます。

ダイナミックシャドウマスキングにより、3D解析のように画面の一部が影になっている場合でも、高品質なパターンと結果が得られます。

インテリジェントバンド検出

AZtecは、インテリジェントなバンド検出ルーチンを実装しており、検出されたバンドのうちどのバンドを指数付けに使用すべきかを決定します。

バンドの平均強度と解析エリア内の位置の両方を利用したインテリジェントなバンド検出。
特に、バンドが不明瞭な材料やパターン品質が低い材料の場合、正しく指数付けされるポイントの比率が向上します。

磁界補正によりパターンのゆがみを解消します

アプリケーションによっては、SEM レンズが発する高磁界によって EBSD パターンがゆがむ場合があります。このゆがみが菊池バンドをゆがめ、パターンセンターをシフトさせます。AZtec を使えばこれが自動的に修正されます。

磁界補正によってバンドを直線化し、パターンが正しく解読されるよう中心を移動させます。
Oxford Instruments 所有の US パテント 7442930B2 に記載の「ダイポール補正法」を適用します。

クラスインデクシング

正確な結果を得るためには、EBSDの指数付けルーチンが重要ですが、AZtecでは新しい手法であるクラスインデキシングを採用しています。

この方法はロバスト性が高く、検出されたバンドの1つまたは複数が参照リフレクターのリストに含まれていない場合でも、正しいソリューションを得ることができます。
オペレーターが選択するバンド数やリフレクタ数に影響されにくいシステムです。

類似した結晶構造の判別

AZtec はバンド幅を比較することにより、結晶構造が類似した結晶相を正しく識別します。

正確性リファインアルゴリズム

新しい革新的な「Refined Accuracy Algorithm*」は、従来のEBSD解析を拡張し、比類のない精度と詳細レベルを実現しています。

指数付け後にキクチバンドの位置を調整し、最も正確な方位解析が可能です。
ハフ変換が抱える実用上の限界を克服します。
以下の Ni パターンによって最適化の効果が確認できます:
- パターンAは Hough 変換によって検出された当初のバンドを示します。
- パターンBは新手法によるリファイン後のバンド位置を示します。

AZtec Refined Accuracy により次の効果が期待されます:

このクラス最高の方位解析精度
- 粒界の特性評価性能を強化
- 微細な亜結晶微細構造を特定
- 取得パターンと解の間の適合性を最適化

AZtecHKLは多くのインテリジェントなEBSD収集ツールで、速く、簡単、そして正確なデータ収集を実現します。

AutoCal
収集条件を変更してもボタンクリックで高品質のEBSDパターンを収集します。

どんなワーキングディスタンスや検出器挿入距離でも正確なデータを収集可能 – 再キャリブレーションの必要無し
AutoCalはシームレスかつ自動で動作する洗練された幾何学的補正で、ジオメトリの変化をもとにキャリブレーションパラメータを計算
低倍率においてビームの動きから生ずる投影パラメータの変化を補正
ユーザーの経験レベルによらず、システムを迅速かつ簡単に設定

AZtecは収集条件の変更を自動かつリアルタイムに補正します。

データ収集のためにシステムをこれまでよりも簡単に、自動で最適化します。

自動露光時間設定
インテリジェントなダイナミックバックグラウンド補正
ユーザーインターフェースから検出器制御
加速電圧、プローブ電流、倍率、ステージ傾斜等、SEM条件を変更しても、再キャリブレーション無しで補正
- 正確に指数付けに最適なEBSPを収集

AutoLock

AutoLockは内蔵されたドリフト補正ツールで、EBSDとEDSの同時収集でも正確なマップを取得可能
予測型と反応型の特長的なドリフト補正ルーチン
傾斜の有無に関わらずドリフトを補正
高倍率のナノスケールEBSD分析に必須

Image Registration

AZtecで収集したイメージは試料のナビゲーションと再配置に使用可能です。 - 収集した電子顕微鏡とは別の顕微鏡でも可能

AZtecは電子顕微鏡のステージを制御し、注目する領域に再配置
収集した画像やマップ像は自動的に登録され、収集済の分析領域に簡単に再配置可能
任意の画像をナビゲーションに使用可能です。例：EBSDマップを使って、特定の元素が集中している領域へナビゲーション
手動で登録したイメージして、後日に試料の特定領域のさらなる解析が可能になります。収集した電子顕微鏡とは別の顕微鏡でも可能

前方散乱電子検出ダイオード (FSD) を使用した微細構造イメージは、詳細に解析したい領域をハイライトします。 EBSD検出器とAZtecですべてのEBSDアプリケーションに強力なソリューションとなります。

CMOS検出器は最大5個の前方散乱電子検出ダイオードを内蔵できます。

AZtecは各ダイオードからそれぞれでイメージを収集可能
各画像は任意に合成可能
自動カラーFSD像はグレースケールイメージでは見落としがちな情報を強調表示します。

設定と再解析を最適化するので、データを再取得する必要はありません。AZtecHKL では、解析者は後処理とオフライン処理のいずれも選択できます。

AZtecHKL 再解析は極めて柔軟に使用できます:

設定を最適化するかまたは新たな結晶相を追加し、データをオフラインで再解析します。
データ取得前にサンプルに存在する結晶相をすべて知っておく必要はありません。

AZtecの大面積マッピング機能は、試料の広い領域から高解像度データ（電子顕微鏡像とEBSD・EDS同時収集マップ）を無人で収集することができます。

ウィザードが設定プロセスを通してガイドし、大面積マッピング収集を日常業務に
チルトしたEBSDジオメトリ向けに設計され、収集中にフォーカスを維持
収集中にイメージが自動でアライメントされ、モンタージュ前後でもシームレスなLAMデータセットを取得
8K 電子顕微鏡像の解像度と4KのEBSDマップ解像度で最大1500視野まで収集でき、960億ピクセルの電子顕微鏡像と240億ピクセルのEBSDデータセットを作成可能
収集中でも収集後でもインタラクティブに操作可能: イメージ全体の観察や微細領域へのズームが可能
単一の結合データ（最大6400万のポイント数）が標準のサイトデータとして解析可能で、以下の項目を展開可能:
- X線マップ・EDSレイヤーマップ・相マップ・スペクトル
- IPFマップ・オイラーマップ・結晶相マップ・各EBSP

SEMの透過モードでEBSDデータを収集するTKD（Transmission Kikuchi Diffraction、t-EBSDと呼ばれることもある）は、ナノスケールの材料特性評価への応用が進んでいます。

近年の技術革新にもかかわらず、従来のEBSD技術では、パターン生成領域の体積によって分解能が25-100 nm程度に制限されています。これでは、真のナノ構造材料（平均粒径が100nm以下）を正確に測定するには不十分です。

SEMベースの電子線回折の新しいアプローチが登場しました。これは電子線透過試料を従来のEBSDハードウェアおよびソフトウェアと組み合わせて使用するものです。この技術は、透過EBSD（t-EBSD: Keller and Geiss, 2012）またはSEM Transmission Kikuchi Diffraction（TKD: Trimby, 2012）と呼ばれ、10nm以上の空間分解能が得られることが証明されています。