Ultim Extreme Infinity ∞ 検出器は、超高分解能FE-SEMのための画期的なソリューションです。この特徴的な検出器は、ナノマテリアルや最表面を分析するためのSEMの最高分解能における条件である、非常に低い加速電圧（1 kVから3 kV程度）や、非常に短い焦点距離における、EDSによる元素分析を可能とします。
最高のナノ構造特性解析と軽元素検出を達成。
Ultim Extreme Infinity は、従来のマイクロ領域およびナの領域のさらに先のソリューションを提供します。
C Kaのエネルギー分解能 46 eV 以下を最大50,000 cpsという、低エネルギー領域における最高の性能を保証する、唯一のウインドウレス検出器
低エネルギー領域にける最高のエネルギー分解能は、非常に低い加速電圧での分析を行う際に特に重要です。TruMapによるデータ解析は、硫黄(S)のL線と(Nb)のM線、モリブデン(Mo)のM線の重複ピークの分離を可能にします。
非常に難しい重複したピークの分離や、微量な元素の情報表示を可能にする新機能
軽元素からの信号の大幅な増加により、高速収集とリアルタイムでのデータ解析を可能にします。
その構造を確認するために必要なイメージング条件における、微細かつ低密度構造のマッピング
Extreme Infinity による計測は、窒素のような元素に対して、新次元での検出性能を実現します。
3 kV以下、たとえ1 kV でも、低ビーム電流(100 pA)、短焦点距離(5 mm以下、インレンズ検出器によるイメージ取得）
軽元素からの信号の大幅な増加により、高速収集とリアルタイムでのデータ解析を可能にします。
10nm以下の元素特性評価 (FEG-SEMにて)
窒素や酸素などの元素において、新次元での検出器性能
SEMによる表面状態の特性評価、1 kVでの材料特性評価、TEM、または表面状態計測ツールからの脱却
ビームダメージが分析精度と有用性に制限をもたらす材料（生物試料、ポリマーなど）の分析
*電子線励起によるLiｰKのＸ線放射が示される物質であることが必要です。
低加速電圧(kV) / 短焦点距離(WD) での活用
SEMにおけるナノメートルレベルの空間分解能を達成するためには、低加速電圧、低ビーム電流によるイメージングに最適な条件を使用することが必要ですが、それは同時にX線情報の収集も全く同じ条件で収集することとなります。このような条件では、X線の発生領域は小さく、そのX線発生量も少なくなります。さらに励起されるX線ラインも非常に限られます。
これらの要求は、従来のEDSの性能をはるかに超えてしまいます。試料中の非常に小さな構造を見るためには、生成されるX線信号の量を大幅に犠牲とするしかないのです。微小構造からのX線カウントは常に低く、またそのエネルギー領域のX線ピークは非常に複雑にかつ近接しています。
観察最適条件と、10kVから20kVでの分析条件を比較すると、以下のような課題が見られます。
低エネルギー領域におけるX線情報は、ピークが非常に近接しておりまた強度が低いため、その解釈は非常に複雑です。そのため、低エネルギー領域における(ピーク重複や自動定性など)正確なスペクトル情報の解釈には、最高のスペクトル分解性能が必要となります。スペクトルにおける低エネルギー領域を分析するには、MnKラインではなく、C Kラインピークの分解能が重要です。
C (炭素) 分解能：高いエネルギー分解能の重要性は、特にスペクトルの低エネルギー領域で顕著となります。より高いエネルギー分解能はそれぞれのピーク形状をよりシャープにし、より正しい位置に(シフトなく) 計測されます。
標準試料(BNなど)からのスペクトルの比較だとしても、よりシャープなピークが得られていることに気が付くことができますが、実際の試料の分析では、その本当の違いが確認できます。異なる分解能の例は、こちらのスペクトル収集の動画からご覧いただけます。この動画では、低分解能条件(60eV以上)において、S-L, N₋K, Nb-Mの各ピークがバックグラウンドから区別されず、Cr-LがO-Kから分離できていないことを表示しています。しかし、もし検出器が非常によりエネルギー分解能(46eV以下)を持っていれば、このような難しいピーク重複や低強度の信号を解決することが可能になります。
低エネルギー領域における最高のエネルギー分解能は、高空間分解能での最高の特性評価を可能とすること意味します。元素分布の正確な表示には、高いスペクトル分解能性能が必要です。ここでは低いエネルギー分解能（60 eV以上）と高い分解能（46 eV以下）からの情報をスペクトル分離処理をしないマップとして表示していますが、それでも、いくつかの相ではその濃度分布があきらかに異なります。硫黄(S)のL線とニオブ(Nb)のM線、モリブデン(Mo)のM線の重複ピークをTruMapにより分離し、各元素の正確な分布を表示をするためには、低エネルギー領域の高い分解能（46 eV以下）である必要があります。
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Tru-Q® テクノロジーは、2011年にAZtec Energyとともに登場し、EDSに革命をもたらしました。シンクロトロンを用いたEDS検出器の基本キャリブレーションを使用することで、それぞれの検出器タイプの正確な特性評価を可能にしました。この特性評価を行うことにより、Tru-Qは、定量分析、自動定性、ピーク分離、リアルタイムマップ補正などの機能において、新次元での精度と信頼性を実現しました。
Tru-Qによりスタンダードレス定量分析にどのような革命がもたらされたかについては、こちらのウェビナーをご覧ください。
Quantitative EDS Explained: How to achieve great results
Tu-Q IQでは、すべてのUltim Max Infinity検出器はその作成の工程にて特性評価をSEMに設置して行い、その検出器だけに特有の最適化パラメータを与えます。また、この最適化パラメータは納品時にも、SEMへのインストールされたときに確認されます。これにより、すべてのInfinity検出器は、非常に複雑な分析においても正確な特性評価を可能とし、低エネルギー領域におけるピーク重複の解析を可能とし、より濃度の低い元素を見つけることを可能とする、比類なき性能を提供します。
Tru-Q IQが提供する高精度なスペクトルデータへの完全なフィッテイングにより、NbL線とMoL線の重複があるスペクトルにおいてもリンのような微量元素の識別が可能に。
より困難な分析を行うためには、Tru-Q IQ が必要です。この例では、半導体試料の分析を低加速電圧条件で実施しています。ナノ構造中のTiからの信号は非常に弱くなります。検出器個別の最適化が実施されていないと、信号が弱いためにTiは自動定性では認識されず、また N-k と重複します。検出器個別の特性評価と最適化により、Ti-Lのように、たとえ信号量が低く重複したピークだとしても、自動定性によりこの元素の存在を検出し、TiN層構造の存在についての正しい結果を導き出すことが可能です。
検出器の分解能はただの数値ではありません。よりよい結果は、検出器個別の特性評価と最適化 = Tru-Q IQ が実現します。低エネルギー領域にける十分に高いエネルギー分解能によって、TruMapは Si-L / Cr-L / O-K / Mo-M の分離を可能にします。さらに、この最適化された検出器では、低エネルギーX線ラインのフィット率が改善されるとともに自動定性の信頼性が大きく向上し、元素分布の表示もその結果として改善されます。検出器の特性評価と検出器フィッティングの最適化によって、ピークの形状と位置の変動が補正されます。ここでは、検出器の最適化がされていない Mo の信号において、Nb と Mo の重複が十分に分離されていないことが示されています。
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Ultim Max Infinity EDS 検出器は、走査型電子顕微鏡における、EDSによる物性解析の無限の可能性を解放します。かつてない高精度、高感度、高速処理は、AZtec Live とともに、これまで以上に複雑な分析を可能にします。これにより、ナノ構造の特性評価や軽元素の検出への最高のソリューションと、マイクロ構造に対する高精度定量分析や高カウントレートマッピングを提供します。
Xplore EDS 検出器は電子顕微鏡を用いたルーチン分析のために設計されました。クラスをリードする大面積検出素子を用いたUltimMax検出器で実証済の技術を用いており、小型の検出器であっても上位の検出器と同様品質の結果を提供します。Xploreは、当社の包括的なEDS製品群の構成をより完全なものとし、AZtecLiveのリアルタイムケミカルイメージングをすべてのユーザーに提供します。
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