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AZtec3D

3次元EDS/EBSD解析

AZtec3D は EDS と EBSD の同時データ収集と分析を FIB-SEM の自動ミリング機能と組み合わせたものです。

  • Tru-I® と Tru-Q® を三次元で組み合わせた優れたデータ品質

  • 超高速 EBSD と大面積 SDD によるデータ取得の最適化

  • AZtec AuoLock ドリフト補正

  • EDS と EBSD の同時データ取得と FIB ミリングを簡単に設定可能

  • EDS と EBSD のマップデータを収集しながら、スライスごとに観察することが可能


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