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AZtecTEM

AZtecTEM は、高度な TEM アプリケーション向けに特別に最適化された革新的な EDS ソフトウェアです。

AZtecTEM は、ナノスケールでの材料の特性評価に対する独自のシステム的アプローチです。30 年以上にわたるオックスフォード・インストゥルメンツの TEM 技術の経験に基づく AZtec には、TEM 向けの次世代 EDS システムに期待されるもののすべてが含まれています。


お問い合わせ

強力
  • 最新世代の大面積 Ultim Max TEM SDD の潜在能力を活用 – 計数率が低い場合は高感度、計数率が高い場合は大容量を実現。
  • 立体角を最大化するよう特別に設計された 100 mm² の有効面積のものを含む複数検出器システムにより 2 sr 以上の立体角を実現 (TEM および構成に依存) する検出器の選択肢
  • 極めて優れた低エネルギーの性能のためのウィンドウレスオプション
  • AZtec は 64 ビットの性能と真のマルチタスク機能を装備、検出器の最高速度で動作、最終結果をリアルタイムで視覚化、並行してレポーティングを実行し、これまでにない速さで作業を完了することが可能r

柔軟
  • AZtecTEM は、データ収集、処理、およびエクスポートのためのさまざまなオプションにより、それぞれの方法でデータを検討するためのツールが用意されています。
高精度
  • Tru-Q® 技術を組み込み、高精度の AutoID と定量分析を実行するので、正確な結果をリアルタイムで何度でも提供します。
  • AutoLock™ は、予測性および応答性のドリフト補正ルーティンを独自に組み合わせて実行するので、ナノスケールおよび原子スケールの作業に必須です。
  • TruMap® と TruLine™ はオーバーラップやその他のアーティファクトをリアルタイムで補正した後、可能な最良の方法でデータを自動的に視覚化します。

構造的
  • ガイド付きまたはカスタムの操作モード
  • AZtecTEM は⌈ステップノート⌋と編集可能な⌈標準操作手順⌋により、開始から完了まであらゆるレベルの利用者に対する操作の支援が可能

高速
  • 検出器の最高速度で取得、最終結果をリアルタイムで視覚化、並行してレポーティング

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ダウンロードセンター

AZtecTEM

A 16 page brochure showing why AZtecTEM is the most powerful solution for EDS on the TEM. It comprises software and hardware sections (inc X-Max 100TLE and X-Max TSR).

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EDS in the TEM Explained

This 12 page document gives an introduction to EDS applications in the Transmission Electron Microscope (TEM). It covers the theory of the SDD operation and X-ray analysis.

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Simultaneous EDS & EELS

Simultaneous acquisition of EDS and EELS is a powerful tool for materials analysis

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Semiconductor Mapping in the TEM - Solving peak overlaps in real-time

This document shows how AZtecTEM solves peak overlaps in real-time.

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TEM における定性分析: リアルタイム分析とレポーティング

Point & ID

試料分析における最初のステップになります。AZtec を使用すれば、速く、正確で再現性を得ることができます。つまり単に分析する領域を選択するだけで、短時間でスペクトルが収集されます。

  • すべての元素を自動で識別
  • 化学組成は独自の miniQuant ウィンドウに表示
  • 他者が気付くよう注目点にすばやい注記付けが可能、また、ワンクリックで他者へミニレポートの送信も可能

AutoID

正確で信頼できる AutoID により、スキャン中でスペクトルが収集されているときでも、リアルタイムでピークを識別することが可能になります。

  • 事前にどの元素が存在しているかを知ることは不要
  • 必要であれば分析から特定元素の除外が可能
  • ピークの重なりがあっても、Tru-Q 技術を使用し、すべての計数率で元素を正確に識別

AutoLock

視野を同じ領域に自動的に固定します。高解像度の画像やマップのデータを収集する際、特に STEM と関連があります。

  • ドリフトのために通常は達成が困難な分解能での分析が可能
  • 実行中の補正処理についてライブで更新情報を提供
  • 予測性および応答性の補正ルーティンを独自に組み合わせ、さまざまな種類のドリフトに対処

TEMにおける定量分析: リアルタイム定量分析のための精度の確保

Tru-Q®

Tru-Q は、高精度の AutoID と定量分析を可能にする、オックスフォードインスツルメンツ独自の技術です。Tru-Q はさまざまな技術を組み合わせて使用します。

  • 真の簡易定量法分析のための検出器とハードウェアの完全な特性評価
  • あらゆる状況で動作する堅固なFLSスペクトル処理。 たとえば、バックグラウンドのフィッティング調整は不要
  • 最適化された Cliff-Lorimer 補正 – 試料の厚さと密度を考慮に入れた TEM 定量法
  • 理論的またはユーザー定義による k 因子の適用が可能
  • 定量分析用として K、L、または M 線の選択が可能
  • PPC - 200,000 cps における高精度な定量を実現する高計数率でのパルスパイルアップの自動補正
  • 試料以外の不要なピーク (例: グリッドからの Cu) の除去

今や誰もが信頼できる結果を達成することができます

AZtecが提供する、すべてのEDSシステムの中心的なツールであるスペクトルマッピング

Smart Mapping

SmartMapのスペクトル・マッピングは、自動定性分析の利点を2次元に取り入れ、元素を識別し、その分布を視覚化します。

  • 従来の「Windows積算」マッピング手法
  • マップは自動的に生成
  • 元素は手動で定性することも可能
  • 最大4kピクセルのマップ解像度
  • すべての情報は後処理のためにピクセルごとに保存

AutoLayer

AutoLayerは、ボタンをクリックするだけで、一連のX線マップに含まれる複雑な情報を1枚の画像に変換し、試料内の相と元素の分布を視覚化します。

  • サンプルを瞬時に自動解析
  • 1枚の画像の中で重要な部分を強調するために、自動的に色を選択
  • サンプルの複雑さを解明

EELSインテグレーション

超高速EELSの統合により、正確な同時データ取得を実現。AZtecは、毎秒1000スペクトルをはるかに超える速度で動作することができます。

  • Digital Micrograph™とのシームレスな連携
  • 最短での収集が可能
  • 統合モードとスタンドアロンモードの切り替えが容易
  • 最高のEDS収集効率

TruMap

TruMapは、バックグラウンド除去やピークオーバーラップの分離をその場で処理する独自のリアルタイムマッピングソリューションです。

  • 誤ったデータを自動的に排除
  • 以下のようなピークオーバーラップを補正:
  • Si K線 と W M線 - 半導体産業に不可欠
  • Pb M線, Mo L線 と S K線 - 鉱物の解析に必須
  • 取得済データにも適用可能

QuantMap

QuantMapは、SmartMapのデータを再計算して、X線のバックグラウンド、ピークのオーバーラップ、サンプルマトリックスの影響、パイルアップのアーティファクトを補正することで、実際の定量的な組成X線マップを表示します。QuantMapは収集中でも計算・表示できるので、SmartMapデータを別途オフラインで再処理する必要はありません。

  • 原子数%、質量%、酸化物%で表示可能
  • 表計算ソフトにデータ出力可能

AutoPhaseMap

AutoPhaseMap は、クラスタリングや主成分ではなく、統計的手法を用いて相のグループ化を最適化することで、試料の相マップを作成します。これにより自動的に識別された相について、他に類を見ない定性的および定量的な分析が可能になります。

  • 各相の分布
  • 各相のスペクトル、組成と面積率
  • ナノマテリアルを含むすべてのサイズの相を発見
  • 微量にしか存在しない元素を発見

ラインスキャンは、AZtecのリアルタイム収集とレポーティングのコンセプトを元素のライン分布の分析に取り入れたものです。

  • すべてのデータは常に収集され、ピクセルごとに保存
  • 簡単で柔軟な解釈
  • 複数の水平または垂直ラインスキャンを自動的に取得
  • 画像とラインスキャンの位置を合わせて、視覚的にわかりやすい比較が可能
  • 主要元素と微量元素の比較を容易にするノーマライズした強度スケール

TruLine

TruLineはラインスキャンから真の元素ピークの変動を計算するTru-Qテクノロジーを搭載しています。

  • ピークオーバーラップを自動補正
  • X線バックグランドの変動を除去することにより、実際の元素分布の差を強調
  • 収集中に計算と表示

QuantLine

QuantLineは、SmartMapデータを再計算し、X線バックグラウンド、ピークオーバーラップ、サンプルマトリックス効果、パイルアップアーティファクトを補正することで、真の定量的な組成ラインスキャンを表示します。

  • 長時間のデータ処理を待たずに、定量的なラインスキャンをライブで観察
  • 原子数%、質量&、酸化物%で結果を表示
  • 表計算ソフトにデータ出力可能
  • 取得済データにも適用可能

柔軟なオフラインのデータ処理とデータのエクスポート

再構築

過去に収集したSmartMapやラインスキャンのデータから、マップ、ラインスキャン、スペクトルを再構築することができます。これにより、ユーザーは以下のことが可能になります。 :-

  • 過去に収集したSmartMapsからTruMapsを再構築
  • 過去に収集したSmartMapsからQuantMapsを再構築
  • 収集したラインスキャンからTruLinesおよびQuantLinesを再構築
  • マップやラインスキャン上のエリアやポイントからスペクトルを再構成
  • 保存されたマップデータから幅のあるラインスキャンを抽出し、粒界の詳細な分析が可能

Data Transfer

(S)TEMでは、AZtecで収集したデータを他のプログラムに転送してさらに調査するケースがあります。AZtecでは、以下のようにデータを転送することができます。:-

  • 原子カラムマッピングなどのデータを評価するためのLispixや多変量統計解析パッケージなどのプログラムへの生ファイル形式のデータキューブ
  • スペクトル(EMSAフォーマット)、マップ、ラインスキャンをさらにExcelによる処理

使いやすさ: エキスパート向けのパワフルな機能 - あらゆるユーザー向けに

マルチタスク

AZtecは真のマルチタスク機能を備えているため、データ取得の1秒1秒を処理やレポート作成にも利用できます。

  • リアルタイムでのデータ処理
  • 従来数分かかっていた作業を数秒処理
  • プロジェクトのデータを照会しながら、新しいプロジェクトのデータを取得
  • 新しい働き方を可能にし、生産性を大幅に向上

マルチユーザー環境
  • 分析を繰り返し、誰が使用しても同じ結果を得るために必要なすべての設定が含まれるユーザープロファイル
  • 分析の各ステップで役立ち、個人的な標準作業手順書(SOP)のために簡単に変更することができる、ステップノート

操作モード
  • ガイドモード: 分析に「ステップ・バイ・ステップ」のアプローチを好む方に最適。Navigatorの各ステップには、明確な目的があり、何が起きているのか、次に何をすべきなのかを常に把握することができます。
  • カスタムモード: 見たい機能を、見たい場所で、自由に決めたい人に最適

レポート

アズテックは、お客様のご要望に応じて、必要なレポートを必要なフォーマットで提供します。 

  • インターフェースから直接レポート - 右クリックするだけで、データをお客様に直接メールで送信可能
  • 専用のアプリケーションを使って、希望のフォーマットや解像度でデータを書き出し可能
  • アプリケーションごとに用意されたレポートテンプレートにより、ボタン一つでプロフェッショナルなレポートを印刷可能
  • お客様独自のテンプレートを作成可能
  • シンプルで使いやすいインターフェース
  • 複数の手法で使用できるテンプレートを作成
  • 複数ページのテンプレートを作成
  • 個人または複数のユーザー用のテンプレートを作成

その他アプリケーション

ナノマテリアルの成長と特性評価積層造形(3Dプリンター)食品製造・土壌汚染判定アグロケミカル・シード研究構造部材・コンポーネントEV技術自動車用センサバッテリー技術産業発電用材アスベスト分析コンポジット・構造機械・電子特性故障解析検査・プロセス制御低次元構造の物性評価LED製造・特性評価触媒材料の特性評価原位置化学反応測定ロックコア分析電子顕微鏡