高感度EBSD検出器

電子線後方散乱回折（EBSD）検出器はCMOS技術の導入により進化し、より高速で高感度な解析が可能になりました。しかし、感度とは何を意味するのでしょうか？

感度はシステム全体の効率、すなわち検出量子効率（DQE）に関連しています。通常、従来のCCDベースのEBSD検出器では、このDQEは非常に低いものでしたが、Symmetry® CMOSベースのEBSD検出器ではファイバーオプティクスを使用することで、非常に高い感度とDQEを実現しています。

この技術資料をダウンロードすることで得られる情報:

EBSD検出器の「感度」という言葉が意味するものの定義
感度はどのようにシステム全体の効率（検出量子効率、またはDQE）に関連しているか
従来のEBSD検出器の限界のまとめ
異なるEBSD検出器の感度（DQE）の比較
ファイバーオプティクスの利点
従来の検出器設計（レンズベースの光学系とCCDイメージセンサーを使用）ではDQEが非常に低いのですが、ファイバーオプティクス（および大面積CMOSセンサー）を使用することで、Symmetry® EBSD検出器は理想的な検出器に近い非常に高い感度を実現しています。

関連する製品