アルミナ絶縁体のEBSD微細構造の特性評価

エンジニアリングセラミックスの優れた機械的および電気的特性により、幅広い用途に使用されています。この例では、アルミナが高い誘電強度から電気絶縁体としての使用を促進されています。これらの誘電特性は材料の空隙率の影響を受けますが、最適な性能を確保するためには、焼結後の空隙率を最小限に抑える必要があります。原料の粒度を制御したり、各種添加剤を使用したりすることで特性を高めています。

したがってセラミックの特性を理解し、制御するためには、セラミックの微細構造の特性評価が不可欠であり、電子線後方散乱回折 (EBSD) はそのための理想的な手法です。一般的には、以下のような特性が注目されます。:
• 粒の大きさと形状
• 粒界の特性評価
• 気孔率
• テクスチャ
• 相識別（EDSと組み合わせて使用する場合）。
このデータは、通常マップや極点図の形で提示されます。

セラミックスのサンプル前処理は金属材料の場合よりも困難な場合がありますが、標準的な前処理技術でEBSDに適したサンプル表面を作製することができます。