| EDS & WDS | EDS, WDS & EBSD |
過去に取得したSEMやTEMのEDSデータの表示と処理:
• ポイント分析
• ラインスキャン
• マップ
• TruMap
• 定量マップ
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レポート作成とデータ出力 | ✔ | ✔ |
レイヤーイメージとマップの作成と出力 | ✔ | ✔ |
バッチ処理、同一設定で複数視野データを処理 | ✔ | ✔ |
バッチエクスポート、複数視野からデータを単一処理で出力 | ✔ | ✔ |
大面積マップ (LAM):
• 大面積マップデータの読み込み
• 収集済の大面積マップデータのアライメントとスティッチング | ✔ | ✔ |
AZtecWaveで収集したデータ(WDS datasets)の表示と処理 | ✔ | ✔ |
AZtec Feature(粒子解析):
• 粒子解析で収集したフルデータセットの読み込み
• 粒子解析機能で各画像を処理 | ✔ | ✔ |
AZtecFeature アプリケーション特化アドオンパッケージ:
• AZtecAM
• AZtecBattery
• AZtecClean
• AZtecGSR AZtecMineral
• AZtecPharma
• AZtecSteel | ✘ | ✘ |
AZtec LayerProbe & スペクトルシミュレータ | ✔ | ✔ |
AZtecHKL:
• AZtec EBSDデータの読み込み
• AZtec Crystalへのデータエクスポート
• 保存済パターンからデータの再解析* | ✘ | ✔ |
AZtecCrystal:
• EBSDマップの作成
• グレインサイズ解析
• 極点図を使った集合組織解析
• 包括的な粒界分析
• SEMイメージ – EBSDマップ相関 | ✘ | ✔ |
AZtecCrystal advanced:
• ODFを使った高度な集合組織解析
• ペアレントグレイン再構築
• 高度な結晶相クラス分けツール
• 弾性特性の計算と表示 | ✘ | ✔ |