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EBSD
Electron Backscatter Diffraction

電子後方散乱回折(EBSD) - EBSD分析法は微細構造の特性評価のための非常に強力なツールです。

電子後方散乱回折(EBSD)は、走査型電子顕微鏡(SEM)による手法のひとつであり、試料の微細構造に関する結晶系の情報を得ることができます。EBSDでは、静止した電子ビームが傾斜した結晶試料と相互作用し、回折した電子がパターンを形成、蛍光スクリーンで検出されます。回折パターンは生成された試料の領域における結晶構造および結晶配向に特有なものになります。従って、回折パターンは、結晶配向の特定、結晶系の異なる相の識別、結晶粒界の特徴、および結晶の局所的完全性についての情報などを明らかにするために利用することができます。

AZtec EBSDシステムは、世界最速で最も高感度のEBSD検出器であるSymmetryの速度と感度をAZtecHKLソフトウェアの優れた分析性能と組み合わせて、電子後方散乱回折(EBSD)と透過菊池パターン(TKD)解析のための強力で用途の広いツールとして構築されています。

 

産業分野

材料

EBSD解析項目

金属研究と金属加工金属、合金粒度
航空宇宙金属間化合物結晶粒界の特性評価
自動車介在物 / 析出物 / 第二相全体集合組織
原子力セラミックス局所的集合組織
マイクロエレクトロニクス薄膜対応粒界の特性評価
地球科学太陽電池再結晶/変形分率
学術研究地質下部構造解析
半導体結晶相同定
超電導結晶相分率 / 分布
氷雪結晶相変態
金属 / セラミクス混合物破壊解析
骨、歯結晶粒間/相間の結晶方位および結晶方位差の関係

弊社分析装置ユーザーのお客様向けに装置講習会を開催しております。ご興味・ご関心のある方は装置講習会のページをご覧ください。

ダウンロードセンター

AZtecHKL

EBSD解析プラットフォームAZtecHKLは、高速CMOSカメラ搭載EBSD検出の性能を発揮し、結晶方位や結晶相を高速・正確に測定します。(日本語カタログ)

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Symmetry S2

CMOSセンサ技術をベースにした世界初のEBSD検出器であるSymmetryは、EBSD解析に革命をもたらします。(英語カタログ)

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CMOS EBSD Detector Range

CMOS技術をベースにしたEBSD検出器の市場をリードする製品群をご覧ください。(英語カタログ)

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EBSD Explained

EBSD Explainedは24ページのチュートリアルで、新規の方にはこのテーマの基礎となる科学的な基礎を与えるだけでなく、信頼性の高い正確なEBSDの結果を得るために理論がどのように実際に適用されるかを示しています。(英語技術資料)

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