オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ
AZtecWaveは、X線ピークを分離し微量元素を定量できるWaveスペクトロメーターの高いスペクトル分解能と、EDSのスピード・柔軟性を兼ね備えています。これにより、高度で完全なSEMによる組成分析ソリューションが実現します。
EDSとWDSはAZtecWaveソフトウェアで完全に統合されています。高速かつ高精度なEDS（Tru-Q®搭載）で主要元素を迅速に計測し、EDSの解析能力が限界に達するような分析において有効にWDSを活用することができます：
微量元素（<1000 ppm）の検出と正確な定量分析
重複したX線ピークを分離し、確実な元素同定と高い定量精度を実現
AZtecWaveは、EDSとWDSの利点であるスピードと感度を融合させることで、正確な答えを素早く提供します。冶金、地質、エレクトロニクス、セラミックス、半導体、バッテリーなど、さまざまな分野の微細領域分析における真の課題を解決します。
AZtecWaveではWDSバックグラウンドの測定位置を自動的に決定し、他の元素ピークとの重複を回避。
AZtecWaveは、EPMAレベルの元素分析性能をSEMに搭載します ‐ 精度の高い定量分析と、高解像度電子イメージングに代表されるSEMベースの技術（EBSDなど）を効果的に組み合わせることができます。
| AZtecWaveのEDSとWDSの組み合わせによるステンレス鋼の組成計測結果
| 定量分析 | ✔ |
| 定性スペクトルスキャン | ✔ |
| X線マップ | ✔ |
| EDS/WDSの同時自動点分析 | ✔(オプション) |
| スタンダード化 | ✔ |
| スペクトロメーターのセットアップ | ✔ |
| イメージ登録 | ✔(アップグレードの場合はオプション) |
| 電流安定性モニタリング | ✔ |
| EDS/WDS分析条件の関連付け | ✔ |
| WDS収集シミュレーション | ✔ |
| 試料交換ガイダンス | ✔ |
| スペクトロメーター終了ガイダンス | ✔ |
超合金中の微量CoのWDSスキャン。Coの含有量はEDSスペクトルでは確認できないレベルの0.1wt%。
バビット合金のWDS元素マップと二次電子像の重ね合わせ
波長分散型X線分析装置（WDS）は、固体の試料から定量的な組成を求める用途に適しており、特に微量元素の濃度を正確に計測することができます。冶金学、地質学、電子工学、半導体、科学捜査、エネルギー生成・貯蔵など、幅広い分野で応用例があります。AZtecWaveはWDSとEDS分析を組み合わせることで、SEMでの非破壊組成分析のための多用途なシステムを提供します。
SEMの難しい課題に対して、AZtecWaveがどのようにしてすべての元素を正確かつ迅速に検出する完璧なソリューションであるかをご紹介します。高品質な結果を得るためにAZtecWaveがどのように役立つのかをご覧ください。
電子線マイクロプローブの分解能と性能をSEM上で実現した唯一のWDSスペクトロメーターであるAZtecWave WDS Scanの最新機能をご紹介しています。SEM-EDSからのデータを新たなレベルで確実なものにする方法をご紹介します。すべてのピークオーバーラップを完全に解決して表示し、微量に存在するものを含むすべての元素を正確に測定します。
EDSとWDSは、電子ビームが物質に衝突したときに発生するX線を利用して元素組成を調べる技術です。EDSはすべてのX線エネルギーを同時に収集することができ、WDSは1つのX線エネルギー（＝元素ライン）を同時に収集することができるため、EDSの方が高速であり、SEMを用いた組成分析にはEDSが多く用いられています。しかしWDSはEDSに比べていくつかの大きな利点があります。
このチュートリアルでは、WDSとAZtecWave（SEMベースのEDS-WDS複合分析のための新しいソフトウェア）について実践的に紹介します。
AztecWaveは、結果を出すまでの時間を短縮し、圧倒的な精度と確実性で、より多くのことをより短時間で達成することを可能にします。このチュートリアルでは、AZtecWaveがどのようにしてWDSの検出とEDSのスピードを、正確さとアクセス性とともに提供するかをご覧ください。
© オックスフォード・インストゥルメンツ 2024