製品
FIB-SEM
ナノマニピュレーター
OmniProbeOmniProbe Cryoソフトウェア
AZtec 3DAZtecFeatureAZtec LayerProbeTEM
ハードウェア
EDSUltimMaxXploreソフトウェア
AZtecTEM
AZtecWaveは、スピーディでフレキシブルなEDS分析に、WDS独自のピーク分離や微量元素定量の能力を組み合わせます。EDSとWDSのスペクトロメーターはAZtecのソフトウエア中で統合させた形で操作することができます。様々な分野の方にも使いやすく、さらにTru-Q®スペクトル処理技術で正確な解析ができます。AZtecWaveは微小領域分析の中で特に難しい分析に対しても、正確な結果を迅速に提供することができます。
さらに正確な定性・定量分析
数十ppmまでの微量元素の検出と計測
すべての元素の正確な定量分析
EDSとWDSを完全に統合させたAZtecプラットフォームのワークフロー
EDSとSEMの条件から、最適なWDS分析条件を自動計算
収集時間
AZtecWaveとWave WDSスペクトロメーターは、SEM上で真の電子線マイクロアナライザの能力を発揮します。
AZtecLive EDSソフトウエアと統合した解析
Tru-Q技術により、最大400,000cpsのEDSカウントレートで電子線マイクロアナライザレベルの定量精度を提供します。
性能試験レポートの出力(例:公認機関への報告など)
EDS/WDSを組み合わせたデータ収集と定量分析に特化した専用ワークフロー
正確な定量分析のために、標準試料でシステムを校正するためのガイド付きワークフロー
AZtecWave | |
スペクトロメーターの設定 | ✔ |
定量分析 | ✔ |
イメージ登録とナビゲーション | ✔ |
スタンダード化 | ✔ |
試料交換とスペクトロメーター終了のためのフロー | ✔ |
WDSスペクトルシミュレーション | ✔ |
WDS収集タイムライン | ✔ |
EDSによる収集条件自動設定 | ✔ |
電流量/収集時間/分析精度による設定 | ✔ |
定性スペクトルスキャン | INCA Wave |
WDS X線マップ | INCA Energy+ (オプション) |
波長分散X線分析装置(WDS)は、固体試料の組成の定量的評価、特に微量元素濃度の正確な計測が求められるアプリケーションに適しています。冶金学、地質学、電子工学、半導体、法医学、エネルギー生成・貯蔵など幅広い分野で使用されています。AZtecWaveは、WDSとEDSの分析を組み合わせ、SEMをベースとした汎用性の高い非破壊組成分析を可能にします。
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