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AZtecWaveは、スピーディでフレキシブルなEDS分析に、WDS独自のピーク分離や微量元素定量の能力を組み合わせます。EDSとWDSのスペクトロメーターはAZtecのソフトウエア中で統合させた形で操作することができます。様々な分野の方にも使いやすく、さらにTru-Q®スペクトル処理技術で正確な解析ができます。AZtecWaveは微小領域分析の中で特に難しい分析に対しても、正確な結果を迅速に提供することができます。
さらに正確な定性・定量分析
数十ppmまでの微量元素の検出と計測
すべての元素の正確な定量分析
EDSとWDSを完全に統合させたAZtecプラットフォームのワークフロー
EDSとSEMの条件から、最適なWDS分析条件を自動計算
AZtecWaveとWave WDSスペクトロメーターは、SEM上で真の電子線マイクロアナライザの能力を発揮します。
AZtecLive EDSソフトウエアと統合した解析
AZtecWaveのEDSとWDSの組み合わせで測定されたステンレス鋼の組成。
0.1 wt%のCoを含む超合金に存在するCo KαピークのWDSスキャン。
Tru-Q技術により、最大400,000cpsのEDSカウントレートで電子線マイクロアナライザレベルの定量精度を提供します。
性能試験レポートの出力（例：公認機関への報告など）
Waveスペクトロメーターを使ったWDSスペクトルスキャンの簡単なセットアップと収集のための一連の手順
EDS/WDSを組み合わせたデータ収集と定量分析に特化した専用ワークフロー
正確な定量分析のために、標準試料でシステムを校正するためのガイド付きワークフロー
| AZtecWave | |
| スペクトロメーターの設定 | ✔ |
| 定性スペクトルスキャン | ✔ |
| 定量分析 | ✔ |
| イメージ登録とナビゲーション | ✔ |
| スタンダード化 | ✔ |
| 試料交換とスペクトロメーター終了のためのフロー | ✔ |
| WDSスペクトルシミュレーション | ✔ |
| WDS収集タイムライン | ✔ |
| EDSによる収集条件自動設定 | ✔ |
| 電流量/収集時間/分析精度による設定 | ✔ |
| WDS X線マップ | INCA Energy+ (オプション) |
波長分散X線分析装置(WDS)は、固体試料の組成の定量的評価、特に微量元素濃度の正確な計測が求められるアプリケーションに適しています。冶金学、地質学、電子工学、半導体、法医学、エネルギー生成・貯蔵など幅広い分野で使用されています。AZtecWaveは、WDSとEDSの分析を組み合わせ、SEMをベースとした汎用性の高い非破壊組成分析を可能にします。
詳しいアプリケーションを見るSEMの難しい課題に対して、AZtecWaveがどのようにしてすべての元素を正確かつ迅速に検出する完璧なソリューションであるかをご紹介します。高品質な結果を得るためにAZtecWaveがどのように役立つのかをご覧ください。
電子線マイクロプローブの分解能と性能をSEM上で実現した唯一のWDSスペクトロメーターであるAZtecWave WDS Scanの最新機能をご紹介しています。SEM-EDSからのデータを新たなレベルで確実なものにする方法をご紹介します。すべてのピークオーバーラップを完全に解決して表示し、微量に存在するものを含むすべての元素を正確に測定します。
EDSとWDSは、電子ビームが物質に衝突したときに発生するX線を利用して元素組成を調べる技術です。EDSはすべてのX線エネルギーを同時に収集することができ、WDSは1つのX線エネルギー（＝元素ライン）を同時に収集することができるため、EDSの方が高速であり、SEMを用いた組成分析にはEDSが多く用いられています。しかしWDSはEDSに比べていくつかの大きな利点があります。
このチュートリアルでは、WDSとAZtecWave（SEMベースのEDS-WDS複合分析のための新しいソフトウェア）について実践的に紹介します。
AztecWaveは、結果を出すまでの時間を短縮し、圧倒的な精度と確実性で、より多くのことをより短時間で達成することを可能にします。このチュートリアルでは、AZtecWaveがどのようにしてWDSの検出とEDSのスピードを、正確さとアクセス性とともに提供するかをご覧ください。
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