AZtecWave

AZtecWaveは、X線ピークを分離し微量元素を定量できるWaveスペクトロメーターの高いスペクトル分解能と、EDSのスピード・柔軟性を兼ね備えています。これにより、高度で完全なSEMによる組成分析ソリューションが実現します。

EDSとWDSはAZtecWaveソフトウェアで完全に統合されています。高速かつ高精度なEDS（Tru-Q^®搭載）で主要元素を迅速に計測し、EDSの解析能力が限界に達するような分析において有効にWDSを活用することができます：

微量元素（<1000 ppm）の検出と正確な定量分析
重複したX線ピークを分離し、確実な元素同定と高い定量精度を実現

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インテグレーション

AZtecWaveは、EDSとWDSの利点であるスピードと感度を融合させることで、正確な答えを素早く提供します。冶金、地質、エレクトロニクス、セラミックス、半導体、バッテリーなど、さまざまな分野の微細領域分析における真の課題を解決します。

WDSとEDSを組み合わせて操作するために特別に設計されたワークフロー
ローランド円による完全集光型のWaveスペクトロメーターの優れたスペクトル分解能により、EDSの限界を超えた分析SEMの能力を提供（10倍以上のスペクトル分解能）
分析法の併用‐EDSによる主要元素の測定と、WDSによる微量元素またはピーク重複元素の測定

分析精度

すべての元素（Be～Pu）の組成を、あらゆる濃度レベル（主要～微量）で正確に測定
分析に最適なX線ラインを選択（最大エネルギー範囲＝0.07～15.33keV）
微量元素の確実な検出・定量により、多くの元素でWDS検出限界100ppm以下（例：Si Kα = 9 ppm、Fe Kα = 15 ppm）を達成
正確な元素同定‐特にEDSでピークが重複する場合に有効（例：遷移金属K線）

操作性

独自技術により起動時と分析時にはWDS（＋EDS）を最適な状態へと自動調整。ユーザーの習熟度にかかわらず優れた分析結果を保証します
分析開始ボタンを押す前に、WDSの結果（定性スキャン等）予測を確認・評価。これにより分析時間が節約できます。
ステップバイステップの取扱説明、埋め込み式のヘルプビデオ、操作に組み込まれたスペクトロメーター性能チェック機能により、直感的な操作ができます。

AZtecWaveではWDSバックグラウンドの測定位置を自動的に決定し、他の元素ピークとの重複を回避。

AZtecWaveは、EPMAレベルの元素分析性能をSEMに搭載します ‐ 精度の高い定量分析と、高解像度電子イメージングに代表されるSEMベースの技術（EBSDなど）を効果的に組み合わせることができます。

| AZtecWaveのEDSとWDSの組み合わせによるステンレス鋼の組成計測結果

AZtecWaveの機能：


定量分析	✔
定性スペクトルスキャン	✔
X線マップ	✔
EDS/WDSの同時自動点分析	✔(オプション)
スタンダード化	✔
スペクトロメーターのセットアップ	✔
イメージ登録	✔(アップグレードの場合はオプション)
電流安定性モニタリング	✔
EDS/WDS分析条件の関連付け	✔
WDS収集シミュレーション	✔
試料交換ガイダンス	✔
スペクトロメーター終了ガイダンス	✔

定量分析

専用のナビゲーター・ワークフローによるWDS/EDSを完全に統合させた定量分析。
EDSおよびSEMのシステム情報から分析条件を自動で選択/最適化するスマートソフトウェア技術：
- ピークとバックグラウンドの収集時間
- X線ライン（WDS）とラインシリーズ（EDS）
- 分光結晶
- WDSバックグラウンド位置
- EDS検出器の位置
- EDSの収集条件設定

収集タイムラインでは、WDSの推定分析時間、および分析中のWaveスペクトロメーターの状態を表示
既存の分析ポイントにWDSおよびEDSスペクトルを追加するフレキシブルなオプション
単一または複数点のWDS-EDS定量データを一括閲覧するための専用ステップ

定性スペクトルスキャン

スペクトル分解能の高いWDSスキャンの専用ワークフロー - 試料に含まれる元素を視覚的に識別
スキャン範囲は、スペクトルスワイプツールを使って簡単に設定。目的元素のX線ラインからの選択も可
選択したエネルギー範囲に基づき、WDSスキャンに最適な結晶、スリットサイズ、スリット位置、デュエルタイムをAZtecWave技術が自動的に選択
データ取得前に理論的なWDSスキャンを表示。収集開始前に分析条件を検証・調整ができます
デュエルタイムは0.005～50秒の間で設定可。主要元素から微量元素までスキャンで識別できます
複数のWDSスペクトルとEDSスペクトルを専用の画面で確認・比較表示可

超合金中の微量CoのWDSスキャン。Coの含有量はEDSスペクトルでは確認できないレベルの0.1wt%。

X線マップ

バビット合金のWDS元素マップと二次電子像の重ね合わせ

WDS/EDSを組み合わせたX線マップ収集のためのガイド付きワークフロー
1つまたは複数の元素をWDSでマッピング。EDSで収集した元素マップと同時に取得/合成可
WDSマップ収集の際には最適な分光結晶とX線ラインを自動で選択
ピクセルデュエルタイム100～65,000μsのマルチフレームマッピング。主要元素から微量元素まで効果的なマッピング取得
WDSおよびEDSの元素マップは、関連する電子画像と重ね合わせ表示可
取得済み元素マップセットにマップを追加するフレキシブルなオプション

EDS/WDS自動点分析（オプション）

あらかじめ設定した試料上のポイント（ステージ位置）から、WDSやEDSのデータを自動的に取得
以下の自動解析ができます：
- 各ステージ位置でのデータ取得
- ライン上の多点分析 - 開始と終了のステージ位置でラインを定義。分析のポイント数または点の間隔で設定

分析結果はリアルタイムでテーブルに表示。取得中または取得後にすべてのデータ参照が可
電流量とWDSバックグラウンドの再測定の頻度を定義するオプション- 最適なデータの質を確保し、時間を節約するため
SEMと離れた場所からでも分析実行可。装置を使用する時間の有効活用に

スタンダード化

正確な定量元素分析を行うために標準物質を用いたキャリブレーションのワークフロー
電流条件を設定すると、必要とされる分析精度を維持するために最適なX線ライン、分光結晶、ピークおよびバックグラウンドの収集時間がAZtecWaveソフトウェア技術によりに自動で設定されます。
37種および55種の標準物質を含むブロックの情報があらかじめ登録済み。登録と分析の操作を簡素化
EDS-WDSを統合した絶対定量を行うための電流測定とEDSカウントレートの関連付け

スペクトロメーター設定

Waveスペクトロメーターの設定と性能確認のためのステップバイステップのワークフロー
装置経験の少ない方でも迷わず操作できる明快な設計
安全な操作と迅速な装置の起動を可能に
最適なスペクトロメーター性能を保証
性能試験報告書の作成可（認証施設での使用を想定）
定量分析前の電流状態を確認するための電流安定性モニター機能を搭載

イメージ登録

試料や標準試料ブロックの画像、マップ、模式図をAZtecに読み込み、ステージ位置と併せて登録できます。
登録された画像上をクリックするだけで、ステージを移動。試料や標試料準ブロック上のナビゲーションを素早く簡単に行うことができます
複数の画像を登録可能（異なる試料を複数分析する場合に）
オックスフォード・インストゥルメンツの標準試料ブロック(37試料/55試料)の模式図を搭載済み。画像の登録と標準試料ブロックのナビゲーションがより簡単に

WDS 収集シミュレーション

EDSスペクトルデータを高分解能、高ピーク／バックグラウンドへと変換する独自のソフトウェア技術。EDSスペクトルから合成WDSスペクトルを生成
AZtecWaveはこの技術によりピークの重複を自動的に調査し、WDS分析に最適なX線ラインとバックグラウンドの位置を決定

WDSのアプリケーション

波長分散型X線分析装置（WDS）は、固体の試料から定量的な組成を求める用途に適しており、特に微量元素の濃度を正確に計測することができます。冶金学、地質学、電子工学、半導体、科学捜査、エネルギー生成・貯蔵など、幅広い分野で応用例があります。AZtecWaveはWDSとEDS分析を組み合わせることで、SEMでの非破壊組成分析のための多用途なシステムを提供します。

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AZtecWave

AZtecWave - extend the capability of your SEM

SEMの難しい課題に対して、AZtecWaveがどのようにしてすべての元素を正確かつ迅速に検出する完璧なソリューションであるかをご紹介します。高品質な結果を得るためにAZtecWaveがどのように役立つのかをご覧ください。

AZtecWave - WDSスキャン

電子線マイクロプローブの分解能と性能をSEM上で実現した唯一のWDSスペクトロメーターであるAZtecWave WDS Scanの最新機能をご紹介しています。SEM-EDSからのデータを新たなレベルで確実なものにする方法をご紹介します。すべてのピークオーバーラップを完全に解決して表示し、微量に存在するものを含むすべての元素を正確に測定します。

WDSとAZtecWaveによるX線ラインオーバーラップの解消

EDSとWDSは、電子ビームが物質に衝突したときに発生するX線を利用して元素組成を調べる技術です。EDSはすべてのX線エネルギーを同時に収集することができ、WDSは1つのX線エネルギー（＝元素ライン）を同時に収集することができるため、EDSの方が高速であり、SEMを用いた組成分析にはEDSが多く用いられています。しかしWDSはEDSに比べていくつかの大きな利点があります。