オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ
AZtecWaveは、スピーディでフレキシブルなEDS分析に、WDS独自のピーク分離や微量元素定量の能力を組み合わせます。Wave WDSは、SEM用として最高のスペクトル分解能を持ち、X線ピークのオーバーラップ解決や、より低い検出限界を実現します。高カウントレート条件下でも最高の精度を発揮するEDS検出器Ultim Maxは、Waveとの組み合わせにより、マイクロアナリシスシステムとして世界最高レベルの性能を発揮します。
ローランド円ジオメトリと湾曲分光結晶を採用した完全集光型のWaveスペクトロメーター
隣接したX線ピークを完全に分解する卓越したスペクトル分解能
良好なピークバックグラウンド比による100ppm以下の検出限界
ピーク分解能とピークバックグラウンド比を最適化するモーター駆動のX線カウンターのエントランススリット
高速で再現性が高く、試料位置決めも容易な傾斜したジオメトリ
S Kα = 2.307 keVやMo Lα = 2.293 keVなどの間隔の狭いラインの分離には、SEM-WDSの高い分解能が必要です。
Waveスペクトロメーターは、SEM搭載WDSのための独自のジオメトリを使用しています。このジオメトリでは、試料・分光結晶・X線カウンターが常にローランド円上に配置されます。
| WDS ハードウエア - Waveスペクトロメーターと W1 エレクトロニクス | |
| ジオメトリ | 完全集光型ローランド円 |
| 定量分析 | Wave 500: 0.17- 10.84 keV、B (5) - Pu (94) | Wave 700: 0.07 – 10.84 keV Be (4) - Pu (94) |
| スペクトル分解能 | SiKα <2eV | FeKα <25eV |
| 検出下限 | SiKα – 9ppm | FeKα – 15ppm |
| X線カウンター | P10 (Ar-CH<sub>4</sub>) フロー型 およびXe封入型 |
| モーター駆動ゲートバルブ | 標準装備 |
Max+インターフェースには、大電流条件下で操作する際にEDS検出器のX線カウントレートを低く抑えるための様々なサイズのアパーチャーが搭載されています。
波長分散型分析装置（WDS）は、固体試料から定量的な組成を求める用途、特に微量元素の濃度を正確に測定する必要のある用途に適しています。金属学、地質学、電子工学、半導体、科学捜査、エネルギー生成と貯蔵など、幅広い分野で応用されています。AZtecWave を用いて WDS と EDS 分析を組み合わせることで、SEM での非破壊組成分析が可能な汎用性の高いシステムを提供します。
詳細な応用事例をご覧いただけます。
© オックスフォード・インストゥルメンツ 2024