OmniProbe 400

OmniProbe 400 は第 9 世代のナノマニピュレータで、最新技術のピエゾ駆動方式を採用し、このクラス最高のナノスケール位置決め精度を実現しました。フレキシビリティを重要視するとともに、高い解像度と高いスループットが求められるアプリケーションに最適なナノマニピュレータです。

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第9世代のナノマニピュレーターであるOmniProbe 400は、クラス最高のナノスケールの位置決めを実現するために革新的な圧電アクチュエータを採用しています。柔軟性と性能を最大限に高めるために最適化されたOmniProbe 400は、高分解能で高スループットのアプリケーション向けの究極のナノマニピュレーターです。

4³ パフォーマンス

SEMでのナノスケールの操作や検査、FIBでの様々なリフトアウトTEM試料の前処理が、最適化された作業距離を保ちながら簡単に行えます。

4つの自由度 (X, Y, Z, R)
4 mm の最小作動距離
4つの優れた機能: エンコーダ分解能、モータ分解能、再現性、リニアリティ

正確性

ナノメーター分解能のピエゾアクチュエーターと10nmクローズドループエンコーダーが、業界をリードする正確さとリニアリティ、スムーズな動作を実現します。

スピード

自動制御が最小限のステップで結果を出せます。

挿入位置の再現性がチップの再アライメントが必要ありません。
チャンバーベントすることなく3分でチップを交換。
同心円回転がチップ先端を尖らせたり、クリーニングすることができる他、試料の再ポジショニングを可能にします。
試料に近接した保存済の位置やパーク位置へ、安全かつ正確にナビゲート。

正確なクローズドループフィードバック制御

OmniProbe 400はクローズドループ制御を採用し、滑らかな動きと正確性、高度なインテグレーションを実現しています。さらに非常に高い動作分解能のために、OmniProbe 400はモーター制御の同心円回転機構と、チャンバー内での素早いチップ交換を標準で搭載しています。:

非空気圧式の挿入と格納で不安定な試料にも穏やかな制御
高い信頼性、リニアリティ、再現性
任意の対角線方向への動作 (omnidirectionality)
任意の試料傾斜に対して直角にナビゲート
特定の角度に試料を素早く位置決め
長距離にわたって滑らかで正確にマニピュレーションを実行
プローブが視野の外側にいたとしても、プローブチップがどこにいるかを常に把握
どのポートに搭載しても予想通りの動作
位置を設定可能でオペレータの負担を軽減し、成功率を向上
衝突を回避
同心円状に回転
チャンバー内でチップ交換

In-situ チップ交換

電子顕微鏡のチャンバーをベントすることなく、プローブニードルを3分で交換可能です。
大気によるコンタミを防ぎ、最高性能を発揮するために高真空を維持できます。
チップに取り付けた試料は後々の使用のために安全に格納でき、複数ユーザーでも処理能力を維持します。

同心円回転

チップは視野内に維持され、試料の喪失や不意なベントの危険性が無く素早くチップ先端を先鋭化や試料方向の再設定ができます。

1度以下の位置正確性
ニードル寿命を拡張
オーミックの性質を示すように鋭いチップを生成
ファンデルワールス力を使ったナノ粒子のマニピュレーションのマイクロチップを準備
Plain-View、Side-View、裏面処理のために試料方向を設定

お客様のアプリケーションに最適なOmniProbeを選択し、仕様を比較するために、以下の比較表をご覧ください。

仕様	OMNIPROBE
	Cryo	OmniProbe350	OmniProbe400
リニアリティ	500 nm	500 nm	250 nm
エンコーダー分解能	<50 nm	<50 nm	10nm
挿入再現性	15 μm*	5 μm	2 μm
最小速度	50 nm/s	50 nm/s	10 nm/s
最高速度	250 μm/s	250 μm/s	500 μm/s
同心回転	✘	✘	✔
温度センサー内蔵	✔	✘	✘
アプリケーション
Site specific lift-out	✔	✔	✔
Plan-view	P	P	✔
Vent free plan-view	✘	✘	✔
Backside Thinning	✘	✘	P
アトムプローブトモグラフィー試料の前処理	P	P	✔
極低温リフトアウト	✔	✘	✘
電圧コントラストイメージング	✔	✔	✔
チャージの中和	✔	✔	✔
On-Tip分析	✘	✘	✔
EBIC測定	✘	O	O
EBAC測定	✘	O	O
in Situチップ交換	✘	O	✔