オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ
OmniProbe 350は、クローズドループフィードバック付きピエゾモーターを搭載した3軸、ポートマウント型マニピュレーターで、ルーチンのTEMラメラ作成に最適です。精密で直感的なコントロールにより、ダメージやサンプルの損失のリスクなく、迅速かつ確実な作業を行うことができます。
第9世代のプローブ設計をベースにしたOmniProbe 350は、他の検出器やアクセサリーとの干渉を最小限に抑えたコンパクトなポートマウントの設置面積で、正確なナノスケール制御を実現します。 安定したプローブプラットフォームとサブナノメートルの圧電モーターを搭載した現行世代のプローブは、低振動、低ドリフト、優れた位置決め精度を備えており、画像に合わせて移動方向が調整される直感的なユーザーインターフェースと組み合わされています。
その結果、日常的なリフトアウトではクラスをリードする性能を発揮し、可変チルトグリッドホルダーと組み合わせることで、OmniProbe 350は、グリッドや複雑な多段リフトアウトを直接処理することなく、平面やTKDサンプルを作成することができます。
優れた直線性 - 直線性とは、要求された移動方向からのプローブ先端の偏差の尺度です。 すべての方向に直線的に移動するプローブは、以下のことができます。:
直感的なユーザーインターフェース - 電子顕微鏡像の中のプローブの動きを直接反映した制御
スムーズな連続動作 - ラメラ前処理ワークフローでは、プローブを物理的に接触させる必要がありますが、スムーズな動きにより、サンプルを落下させたり、損傷させたりするリスクなく行うことができます。
正確な動き （位置保存含む）
安定したプローブプラットフォーム - 安定性は振動とドリフトの組み合わせです。 プローブ先端へのサンプルの取り付けは、数分かかることもあるガスデポジションプロセスによって行われます。 このプロセス中にプローブ先端のドリフトや振動が発生すると、サンプル内に応力が発生したり、サンプルが切断された時点で急激に移動したりする可能性があります。
ポートマウント設計 - 顕微鏡を使用していない時には完全にチャンバー内に収納
プローブの電気的接続 - 電圧コントラストイメージングのための +/-10V 電源供給
以下の便利な比較表を使用して、アプリケーションに最適なOmniProbeを選択し、仕様を比較してください。
| 仕様 | OMNIPROBE | ||
| Cryo | OmniProbe 350 | OmniProbe 400 | |
| リニアリティ | 500 nm | 500 nm | 250 nm |
| エンコーダー分解能 | <50 nm | <50 nm | 10 nm |
| 挿入再現性 | 15 μm* | 5 μm | 2 μm |
| 最小速度 | 50 nm/s | 50 nm/s | 10 nm/s |
| 最高速度 | 250 μm/s | 250 μm/s | 500 μm/s |
| 同心回転 | ✘ | ✘ | ✔ |
| 温度センサー内蔵 | ✔ | ✘ | ✘ |
| アプリケーション | |||
| Site specific lift-out | ✔ | ✔ | ✔ |
| Plan-view | P | P | ✔ |
| Vent free plan-view | ✘ | ✘ | ✔ |
| Backside Thinning | ✘ | ✘ | P |
| アトムプローブトモグラフィー試料の前処理 | P | P | ✔ |
| 極低温リフトアウト | ✔ | ✘ | ✘ |
| 電圧コントラストイメージング | ✔* | ✔ | ✔ |
| チャージの中和 | ✔ | ✔ | ✔ |
| On-Tip分析 | ✘ | ✘ | ✔ |
| EBIC測定 | ✘ | O | O |
| EBAC測定 | ✘ | O | O |
| In Situチップ交換 | ✘ | O | ✔ |
P: OmniPivotホルダが必要 O: オプション * 一定温度において
© オックスフォード・インストゥルメンツ 2025