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OmniProbe 200

FIB および SEM 用マニピュレータとして業界をリードする OmniProbe 200 は、ポート取り付け型で、位置決め精度向上のために 100nm リニアエンコーダ式フィードバック制御を採用しました。従来からのフレキシビリティと使い勝手の良さも兼ね備えたナノマニピュレータです

  • クローズドループシステム

  • 知的財産権取得済み


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FIB および SEM 観察用マニピュレータとして業界をリードする OmniProbe 200 は、ポート取り付け型で、位置決め精度向上のために 100 nm リニアエンコーダ式フィードバック制御を採用しました。従来からのフレキシビリティと使い勝手の良さも兼ね備えたナノマニピュレータです。クローズドループで制御されるマニピュレーション操作は、電子顕微鏡のステージの位置決め操作とは全く独立して行われ、サンプルマニピュレーションの自由度が加わりました。OmniProbe 200 はこれを活用して独自のステージ・プローブ連動制御技術 (CSP) を開発し、所定のサンプル角度への素早い位置決めを実現しました (特許取得済み) 。

Features and Benefits
  • Includes advanced technology from 8 generations of innovation
  • Enable diverse applications from nanowire manipulation to TEM sample preparation to electrical and mechanical measurements
  • Move diagonally in ANY direction (omnidirectionality)
  • Navigate orthogonally at any sample tilt
  • Rapidly orient samples to specific angles
  • Perform smooth and precise manipulation over long distances
  • Always know where the probe tip is, even when outside the field of view
  • Move predictably for all port installations
  • Reduce operator fatigue and increase success rates with easy recall of stored locations
  • Avoid collisions
  • Pneumatic insertion/retraction links to the microscope software (OEM dependent)
  • Built-in capability for applying a bias to the needle ranging up to +/- 10 V, for voltage contrast or other applications.

Optional Concentric Rotation

Concentrically-corrected rotation with 0.1degree resolution enables the sample to be imaged during rotation at a magnification equivalent to a 60um horizontal field of view.

  • Sample rotation is accomplished safely without risk of collision and without constant attention to reposition the sample or probe tip after each rotation.
  • Within a FIB, rotation provides a means for fast and easy tip sharpening to improve electrical characterization or interact with sub-20nm sample features.

Automation System
  • Computer and flat panel monitor
  • 2U rack-mounted Ethernet controller
  • 3-axis stage with 100nm linear encoder feedback
  • Motion control software interface
  • User manual and installation guide

オプション

オプション機能: 同心回転

  • 0.1°の分解能で同心回転に補正することにより、回転中も水平 60µm 視野に相当する倍率での画像取得を可能としました。
  • サンプル回転を衝突リスクもなく安全に実行します。また回転後のサンプルまたはプローブチップの微調整の必要もありません。
  • FIB で使用される場合、この回転機構を利用して、電気的特性を向上させるためまたは 20 nm 以下の微細サンプルへ適用するためのチップ先鋭化を素早く簡単に実施できます。

自動化システム

  • コンピュータおよびフラットパネルモニタ
  • 2U ラック取り付け型 Ethernet コントローラ
  • 100nm リニアエンコーダフィードバック付き 3 軸ステージ
  • マニピュレーション動作制御ソフトウェアインタフェース
  • ユーザマニュアルおよび取り付け用説明書

ご興味ございますか?

その他アプリケーション

バッテリー技術発光デバイスの製造と評価