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OmniProbe 200

FIB および SEM 用マニピュレータとして業界をリードする OmniProbe 200 は、ポート取り付け型で、位置決め精度向上のために 100nm リニアエンコーダ式フィードバック制御を採用しました。従来からのフレキシビリティと使い勝手の良さも兼ね備えたナノマニピュレータです

  • クローズドループシステム

  • 知的財産権取得済み


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FIB および SEM 観察用マニピュレータとして業界をリードする OmniProbe 200 は、ポート取り付け型で、位置決め精度向上のために 100 nm リニアエンコーダ式フィードバック制御を採用しました。従来からのフレキシビリティと使い勝手の良さも兼ね備えたナノマニピュレータです。クローズドループで制御されるマニピュレーション操作は、電子顕微鏡のステージの位置決め操作とは全く独立して行われ、サンプルマニピュレーションの自由度が加わりました。OmniProbe 200 はこれを活用して独自のステージ・プローブ連動制御技術 (CSP) を開発し、所定のサンプル角度への素早い位置決めを実現しました (特許取得済み) 。

特徴と利点
  • 8世代に渡るイノベーションの先進技術が内蔵されています。
  • ナノワイヤーの操作からTEMサンプルの前処理、電気的および機械的測定まで、多様なアプリケーションを可能にします。
  • 任意の方向に斜め移動(Omnidirectionality)
  • 任意のサンプルの傾きで直交方向にナビゲート
  • 特定の角度にサンプルを迅速に配向
  • 長距離をスムーズで正確な操作
  • 視野外にいても、プローブの先端がどこにあるかを常に検知
  • すべてのポートのインストールに対して予測可能な動き
  • ストア位置のリコールが容易で、オペレーターの疲労を軽減し、成功率を向上
  • 衝突を回避
  • 顕微鏡ソフトウェアへの空気圧による挿入/退避リンク(OEM依存)
  • 電圧コントラストやその他のアプリケーションのために、最大±10Vの範囲で針にバイアスを印加する機能を内蔵

同心回転(オプション)

0.1度の分解能で補正された回転により、回転中の試料を水平視野60um相当の倍率で撮像することができます。

  • サンプルの回転は衝突の危険性がなく、回転後にサンプルやプローブの先端を再配置するために常に注意を払う必要がなく、安全に行うことができます。
  • FIB内では、回転は電気的特性を改善したり、20nm以下の分析箇所と相互作用したりするために、迅速かつ容易にチップをシャープにするための手段を提供します。

自動システム
  • コンピューターとフラットパネルモニター
  • 2Uラックにマウントされたイーサーネットコントローラー
  • 100nmリニアエンコーダフィードバックによる3軸ステージ
  • モーション・コントロール・ソフトウェア・インターフェース
  • ユーザーマニュアルとインストールガイド

オプション

オプション機能: 同心回転

  • 0.1°の分解能で同心回転に補正することにより、回転中も水平 60µm 視野に相当する倍率での画像取得を可能としました。
  • サンプル回転を衝突リスクもなく安全に実行します。また回転後のサンプルまたはプローブチップの微調整の必要もありません。
  • FIB で使用される場合、この回転機構を利用して、電気的特性を向上させるためまたは 20 nm 以下の微細サンプルへ適用するためのチップ先鋭化を素早く簡単に実施できます。

自動化システム

  • コンピュータおよびフラットパネルモニタ
  • 2U ラック取り付け型 Ethernet コントローラ
  • 100nm リニアエンコーダフィードバック付き 3 軸ステージ
  • マニピュレーション動作制御ソフトウェアインタフェース
  • ユーザマニュアルおよび取り付け用説明書

関連情報

その他アプリケーション

積層造形(3Dプリンター)自動車用センサバッテリー技術太陽電池|構造特性評価コンポジット・構造故障解析LED製造・特性評価ロックコア分析電子顕微鏡