オックスフォード・インストゥルメンツツの一部
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EDS
エネルギー分散型X線分析装置

エネルギー分散型X線分析(EDS)は、SEM、TEM、FIB 内の試料の元素分析および化学組成分析を行う手法です。オックスフォード・インストゥルメンツは、マイクロスケールやナノスケールで高精度なデータを収集する新しい革新的な材料特性評価システム、AZtec を提供しています。

  • AZtecLive  - SEM を用いた試料の分析方法を根本的に変える、EDS 分析の革新的な新しいアプローチ。
  • AZtecTEM  - 先端的な TEM アプリケーション向けに特別に最適化された、革新的な EDS ソフトウェア。
  • AZtecOne - EDS のような複雑なタスクを可能な限り、迅速かつ簡単に実行するための最適なソリューション。
  • 当社は粒子解析発砲残留物 (GSR) 分析薄膜評価および鉱物リベレーション分析など特定用途向けのソルーションも用意しています。

弊社分析装置ユーザーのお客様向けに講習会を開催しております。 ご興味・ご関心のある方は装置講習会のページをご覧ください。

ダウンロードセンター

SDD Explained

This guide describes how SDD hardware detects and measures the X-rays and converts them into signals which can be used by EDS software to provide accurate and reliable analysis.

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EDS in the TEM Explained

This 12 page document gives an introduction to EDS applications in the Transmission Electron Microscope (TEM). It covers the theory of the SDD operation and X-ray analysis.

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AZtecLive & Ultim Max

AZtecLive takes the EDS technique from the static to the dynamic with real-time chemical imaging. AZtecLive is powered by Ultim Max, the next generation SDD detectors combining the largest sensor sizes with Extreme electronics to deliver unparalleled speed and sensitivity.

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Ultim Max TEM

Ultim Max is the next generation of Silicon Drift Detectors (SDD) utilising our Extreme electronics to generate maximised sensitivity with increased throughput. This powers AZtecTEM, the market-leading software that delivers unparalleled elemental characterisation performance in the TEM.

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SEM および FIB 向け EDS


TEM 向け EDS

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