X-Max^N 100TLE

当社の主力製品である TEM 用 SDD 検出器、X-Max^N 100TLE は、ナノサイエンスの最前線で利用されている電界放出型および収差補正 TEM 向けに最適なソリューションです。

概要 >

The X-Max^N 100TLE は、新しいセンサー形状、ウィンドウレス構造、革新的な機械設計を活用して、真に⌈次世代の⌋ SDD 性能を実現。この組み合わせはすべての元素について比類のない感度の強化を実現。
例えば、従来の検出器と同一条件下でデータを取得した場合、はるかに低い濃度の元素の検出が可能。ナノスケールで不純物やドーパントを分析。
電子ビームがその影響を受けやすい試料を劣化させる前に、より多くのデータを収集。ナノ粒子とナノチューブを新しいレベルで詳細に分析。

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Overview
特徴

ウィンドウレス検出器

ウィンドウレス検出器は、比類のない低エネルギーでの性能とともに、すべてのエネルギー範囲でより多くの計数を検出。

収集効率は、薄膜ウインドウを使用する必要がある、同様の立体角をもつ検出器に比較して、著しく改善されています。

N Kα に対する感度がほぼ 3 倍に向上
O Kα に対する感度が 2 倍
Be Kα と Si Lα のピークを容易に検出
高エネルギーの感度が 40 ∼ 45%向上
妥協のないピーク/バックグラウンド比または分解能

特別に最適化された AZtecTEM Tru-Q^® 分析アルゴリズムは、あらゆるエネルギーで高精度な AutoID および定量分析を実現しています。

例えば以下のようなことが実現します。:

従来の検出器においてナノスケールの不純物やドーパントを分析する際の条件でも、より低濃度な元素を検出します。
電子線に敏感な試料が破壊される前により多くのデータを収集し、新しいレベルのナノ粒子やナノチューブ解析を実現します。

優れた性能

ナノスケール、またはピコスケールにおいてカウントレートを最大化
特長的なセンサー設計で、有効面積100mm2 のセンサーがより試料に近づき超高立体角を実現
ウインドウレス構成が全ての元素で最高の感度と比類なき低エネルギーX線検出を保証
正確なパイルアップ補正を内蔵し、100Kcps以上のカウントレートでも正確な定量分析

優れた実用性

既存のカラムに簡単に組み込み
電子線の大量入射による損傷を防ぐための、フラップ内への自動格納機構
圧力センサーが真空度低下時に検出器を自動的に保護
液体窒素フリー
立体角最適化のための試料傾斜は不要

原子列マッピング

高速の原子列マッピング

X-MaxN 100TLE の極めて優れた立体角、感度、および速度は、原子レベルの拡大率においてデータを収集するために極めて重要です。試料のドリフト、電子ビームによる損傷、および汚染 (過去には制限要因となっていた課題) が今では解決されています。

性能を犠牲にすることなく、X線マップとライン走査のデータを劇的に短時間で収集できるようになりました。この性能向上により、X-MaxN 100TLE は超高分解能分析が原子レベルまで実行され、かつ、シグナルが非常に低い場合には必須のものとなります。検出器は、高電子ビーム電流領域における計数率にも対応することができます。

オックスフォード・インストゥルメンツは、これらのデータの作成に協力していただいた、シカゴのイリノイ大学 EMS の教員およびスタッフの皆様に、感謝申し上げます。