Ultim^® Extreme

Ultim Extremeは超高分解能FEG-SEMのための画期的なソリューションです。この独自の検出器で初めて、SEMの最高分解能でナノ材料や表面を分析するという条件下で元素分析を実行するため、非常に低い加速電圧（例えば1〜3kV）と非常に短い作動距離でのEDSデータ収集を実現しています。

最新の超高分解能 FEG-SEM には、より小さいナノ構造、界面、表面を観察するための新しい機能が提供されています。一方、非常に短い作動距離、非常に低い加速電圧、最小の電子ビーム電流という条件下で、インレンズ検出器からの新しい電子像コントラストを利用するべく、元素の特性評価を実現できるものは現状の EDS では存在しません。Ultim Extreme はこの状況を変えるため、この分析条件で動作するよう以下のように特別に設計されています。

• 独自の構成
  • より短い作動距離で動作可能な設計
  • 従来のポート取付型EDS検出器のための最も大きな立体角で設計（通常、Ultim Max 170 に比べ 5 倍大きい立体角でセンサと試料の垂直距離は半分）
    
    
• ウィンドウレス動作
  • 他のどの大面積検出器と比較しても、低エネルギーX線に対して感度が 10∼30 倍高い立体角との組み合わせ
• 超低エネルギーX線に対する感度を増加させ、より高い計数率における低エネルギー分析性能を拡大するための新しい検出器エレクトロニクス
• AZtec Live とその its Tru-Q^®分析エンジンとの統合による低加速電圧でのデータ処理と分析
  • 低加速電圧でのオーバーラップ補正のための TruMap 最適化

この独自の構成を実現するために、Ultim Extremeは、TEM での感度最適化のために X-Max^N 100TLE で、すでに成功裏に使用されている、非円形 100mm² センサーおよびウィンドウレスの構造で設計されています。さらに、この検出器は、より高エネルギーでの定性的元素分析とともに最大7kVのビーム電圧まで正確な定量的分析を可能にするための新しい、装置面積の縮小された電子トラップによる構成を特長としています。

2kV 以下での材料特性評価

• 完全に統合された EDS であり、超低加速電圧電子顕微鏡法による試料の特性評価に有用
  • シグナルコントラストの強化
  • 高分子材料やソフトな被覆などにおける試料損傷の低減
  • チャージアップの低減、あるいはチャージバランス状態の実現

例：加速電圧を 10kV から 1.5kV に下げると、電子像のコントラストにより酸化物粒子の分布を示すことができるようになります。同じ条件下のＸ線マッピングは、析出物を MnOB と特定しています。マップ取得時間 15 分。