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EDS/EDX

エネルギー分散型X線分析装置

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エネルギー分散型X線分析（EDS/EDX）は、SEM、TEM、FIB 内の試料の元素分析および化学組成分析を行う手法です。オックスフォード・インストゥルメンツは、マイクロスケールやナノスケールで高精度なデータを収集する新しい革新的な材料特性評価システム、AZtec を提供しています。

  • AZtecLive  - SEM を用いた試料の分析方法を根本的に変える、EDS 分析の革新的な新しいアプローチ。
  • AZtecTEM  - 先端的な TEM アプリケーション向けに特別に最適化された、革新的な EDS ソフトウェア。
  • AZtecOne - EDS のような複雑なタスクを可能な限り、迅速かつ簡単に実行するための最適なソリューション。
  • 当社は粒子解析、発砲残留物 (GSR) 分析、薄膜評価および鉱物リベレーション分析など特定用途向けのソリューションも用意しています。
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19
Blog: EDSの結果に自信を持ち、生産性を最大化します。

弊社分析装置ユーザーのお客様向けに講習会を開催しております。 ご興味・ご関心のある方は装置講習会のページをご覧ください。

ダウンロードセンター

SDD Explained

このガイドでは、SDD ハードウェアがどのように X 線を検出・計測し、EDS ソフトウェアで使用できる信号に変換して正確で信頼性の高い分析を提供しているかについて説明しています。（英語）

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EDS in the TEM Explained

この12ページのドキュメントでは、透過電子顕微鏡（TEM）におけるEDSのアプリケーションを紹介しています。SDD動作とX線分析の理論を説明しています。（英語）

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AZtecLive & Ultim Max

AZtecLiveは、EDS分析を静的なものから動的なリアルタイムケミカル イメージングに変革します。AZtecLiveは、最大のセンサーサイズとExtremeエレクトロニクスを組み合わせた次世代のSDD検出器Ultim Maxを搭載しており、比類のないスピードと感度を実現しています。（日本語カタログ）

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Ultim Max TEM

Ultim Maxは、当社のExtremeエレクトロニクスを採用した次世代のシリコンドリフト検出器（SDD）です。市場をリードするAZtecTEMは、TEMにおける比類のない元素分析性能を実現するソフトウェアとなります。（英語カタログ）

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SEMおよび FIB 向け EDS

AZtecLive
Ultim® Max
Ultim® Extreme
AZtecOne

TEM 向け EDS

AZtecTEM
X-MaxN 100TLE
X-MaxN TSR
X-MaxN 80T

ラーニング

EDS/EDX（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) とは、電子線やX線の照射により発生したX線のエネルギーと信号量から元素分析を行なう手法です。日本語では「エネルギー分散型X線分光法」と言います。

EDS/EDXとは

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