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AZtecHKL

EBSD分析ソフトウェア

AZtecHKL は、発売中の EBSD ソフトウェアの中でもっともパワフルなソフトウェアです。一般的な解析に必要な作業速度と結果の正確さを両立させたのみならず、EBSD の適用範囲のさらなる拡大に必要なフレキシビリティとパワーも兼ね備えます。

  • 先進的 EBSD ソフトウェア: データ取得と解析をすべてリアルタイムで実行

  • 世界初の CMOS 搭載 EBSD 検出器 Symmetry の潜在能力を引き出すソフトウェア

  • EBSD と EDS からのデータを同時にシームレスに取得 (AZtecSynergy)

  • 透過菊池回折 (TKD) を標準装備 (これまで t-ESBD と呼んでいたものと同じ)


お問い合わせ

バンド幅と精度のアンマッチングなど EBSD 解析にお悩みの方には AZtecHKL は必需品です。

一般的な EBSD 解析における実際の顧客ニーズに関して Oxford Instruments がこれまで理解していたことを、さらなる適用拡大に必要なフレキシビリティとパワーに結びつけたソフトウェアが AZtec です。

Aztec は、世界中のお客様に支持されながら 40 年以上ナノ解析に取り組んだ実績を持つ業界リーダーとして Oxford Instruments が総力をあげて開発しました。ナノ解析に要求されるかつてない厳しい条件も満足します。

高速でパワフル

  • 新世代 CMOS EBSD 検出器の高速高感度のデータ取得能力を最大限活用
  • データの取得・処理・表示を高速でリアルタイムに実行
  • 64-bit の処理能力およびマルチタスクソフトウェアを活用し、お手持ちのデータベースと照合が可能

使いやすさ

  • システム設定からデータ取得に至る各作業のガイダンス機能を備え、どの解析者も毎回正しく結果を得ることができます。
  • 自動バックグラウンド補正のようなインテリジェントツールによって、いかなるサンプルに対しても正確な結果を得ることができます。

フレキシブル

  • 難易度が高いアプリケーションの場合、エキスパートによる設定条件の調整も可能です。
  • パワフルな再解析ツールを使い、取得データの後処理が可能です。
  • データおよび解析結果をユーザ指定の書式に整理できます。

革新的

  • 独自の Tru-I® アルゴリズムによって、EBSP 指数付けの精度を最大限高めます。
  • よく似た結晶構造の判別に EDS データを活用するなど、EBSD 解析と EDS 分析を並行して実行します。
  • 高精度リファイン指数付け*機能によって、かつてない角度分解能 0.05° を実現します。0.05˚
  • TDK 最適指数付けルーチンや先進的データ解析モジュールのようなパワフルなツールが標準仕様として含まれます。

* 知的財産権出願中

ダウンロードセンター

AZtecHKL

EBSD解析プラットフォームAZtecHKLは、高速CMOSカメラ搭載EBSD検出の性能を発揮し、結晶方位や結晶相を高速・正確に測定します。(日本語カタログ)

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EBSD Explained

EBSD Explainedは24ページのチュートリアルで、初心者の方への基礎だけでなく、その理論を信頼性の高いEBSD分析結果を得るためにどのように使うかを示しています。(英語技術資料)

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Symmetry

CMOSセンサ技術をベースにした世界初のEBSD検出器であるSymmetryは、EBSD解析に革命をもたらします。(英語カタログ)

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CMOS EBSD Detector Range

CMOS技術をベースにしたEBSD検出器の市場をリードする製品群をご覧ください。(英語カタログ)

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EBSD 指数付けエンジン AZtec Tru-l を使って、高品質なパターンを収集し、それを正確・確実・自動的に解析します。パターンの収集と解析はリアルタイムに処理されます。

正確な EBSD データを取得するには、高品質なパターンの収集が不可欠です。
  • AZtec は、高速または高ビニングの条件下でも高品質のパターンを収集する最適なシステムに設計されました。
    • 信号強度およびノイズを定量化し、パターン品質向上手段として利用可能です。

ダイナミックバックグラウンド補正によりパターンごとのコントラストを最適化できます。
  • いかなる材料からも高品質のパターンが得られます。
    • 結晶相ごとの原子数が大きく異なる多相物質も同様です。
  • ダイナミックバックグラウンド補正によりスクリーンの不完全部が自動的にマスキングされます。
インテリジェントバンド検出

AZtec には、検出したバンドのどれを指数付けに使用すべきかを決定するインテリジェントバンド検出機能が含まれます。

  • インテリジェントバンド検出機能は、バンドの平均強度と関心領域中の位置の 2 つの情報を使用します。
  • 特にバンドが不明瞭な材料に対して、またはパターン品質が低い場合、正しく指数付けされるパターンの比率が向上します。

磁界補正によりパターンのゆがみを解消します。

アプリケーションによっては、SEM レンズが発する高磁界によって EBSD パターンがゆがむ場合があります。このゆがみが菊池バンドをゆがめ、パターンセンターをシフトさせます。AZtec を使えばこれが自動的に修正されます。

  • 磁界補正によってバンドを直線化し、パターンが正しく解読されるよう中心を移動させます。
  • Oxford Instruments 所有の US パテント 7442930B2 に記載の「ダイポール補正法」を適用します。
クラスインデクシング

EBSD 指数付けルーチンは、正確な結果を得るために不可欠ですが、AZtec は新しい手法Class Indexingを採用しました。

  • この方法はロバストで、基準リフレクタリスト中に対応するバンドが含まれない場合でも正しい解が得られます。
  • バンド数およびリフレクタを選択する解析者の技量には比較的鈍感です。
よく似た結晶構造の判別

AZtec はバンド幅を比較することにより、結晶構造が似た相を正しく特定します。

精度精緻化アルゴリズム

革新的なアルゴリズム ‘Refined Accuracy Algorithm*’ を新たに開発し、これまでにない精度及び細かさを実現して、いままでの EBSD 解析の適用範囲を拡大します。

  • 指数付け後に菊池バンドの位置を精査し、より正確な方位解析が可能です。
  • Hough 変換 (ハフ変換) が抱える実用上の限界を超えることができます。
  • 以下の Ni パターンによって最適化の効果が確認できます:
    • パターンAは Hough 変換によって検出された当初のバンドを示します。
    • パターンBは、新しい手法により精緻化した後のバンド位置を示します。

AZtec Refined Accuracy により次の効果が期待されます:

  • このクラス最高の方位解析精度
    • 粒界の特性評価性能を強化
    • 微細な亜結晶微細構造を特定
    • 取得パターンと解の間の適合性を最適化

AZtecHKLは多くのインテリジェントなEBSD収集ツールで、速く、簡単、そして正確なデータ収集を実現します。

AutoCal
収集条件を変更してもボタンクリックで高品質のEBSDパターンを収集します。
  • どんなワーキングディスタンスや検出器挿入距離でも正確なデータを収集可能 – 再キャリブレーションの必要無し
  • AutoCalはシームレスかつ自動で動作する洗練された幾何学的補正で、ジオメトリの変化をもとにキャリブレーションパラメータを計算
  • 低倍率においてビームの動きから生ずる投影パラメータの変化を補正
  • ユーザーの経験レベルによらず、システムを迅速かつ簡単に設定
AZtecは収集条件の変更を自動かつリアルタイムに補正します。

データ収集のためにシステムをこれまでよりも簡単に、自動で最適化します。

  • 自動露光時間設定
  • インテリジェントなダイナミックバックグラウンド補正
  • ユーザーインターフェースから検出器制御
  • 加速電圧、プローブ電流、倍率、ステージ傾斜等、SEM条件を変更しても、再キャリブレーション無しで補正
    • 正確に指数付けに最適なEBSPを収集

AutoLock

  • AutoLockは内蔵されたドリフト補正ツールで、EBSDとEDSの同時収集でも正確なマップを取得可能
  • 予測型と反応型の特長的なドリフト補正ルーチン
  • 傾斜の有無に関わらずドリフトを補正
  • 高倍率のナノスケールEBSD分析に必須
Image Registration

AZtecで収集したイメージは試料のナビゲーションと再配置に使用可能です。 - 収集した電子顕微鏡とは別の顕微鏡でも可能

  • AZtecは電子顕微鏡のステージを制御し、注目する領域に再配置
  • 収集した画像やマップ像は自動的に登録され、収集済の分析領域に簡単に再配置可能
  • 任意の画像をナビゲーションに使用可能です。 例:EBSDマップを使って、特定の元素が集中している領域へナビゲーション
  • 手動で登録したイメージして、後日に試料の特定領域のさらなる解析が可能になります。収集した電子顕微鏡とは別の顕微鏡でも可能

前方散乱電子検出ダイオード (FSD) を使用した微細構造イメージは、詳細に解析したい領域をハイライトします。 EBSD検出器とAZtecですべてのEBSDアプリケーションに強力なソリューションとなります。

CMOS検出器は最大5個の前方散乱電子検出ダイオードを内蔵できます。

  • AZtecは各ダイオードからそれぞれでイメージを収集可能
  • 各画像は任意に合成可能
  • 自動カラーFSD像はグレースケールイメージでは見落としがちな情報を強調表示します。

設定と再解析を最適化するので、データを再取得する必要はありません。AZtecHKL では、解析者は後処理とオフライン処理のいずれも選択できます。

AZtecHKL 再解析は極めて柔軟に使用できます:

  • 設定を最適化するかまたは新たな結晶相を追加し、データをオフラインで再解析します。
  • データ取得前にサンプルに存在する結晶相をすべて知っておく必要はありません。

AZtecの大面積マッピング機能は、試料の広い領域から高解像度データ(電子顕微鏡像とEBSD・EDS同時収集マップ)を無人で収集することができます。

  • ウィザードが設定プロセスを通してガイドし、大面積マッピング収集を日常業務に
  • チルトしたEBSDジオメトリ向けに設計され、収集中にフォーカスを維持
  • 収集中にイメージが自動でアライメントされ、モンタージュ前後でもシームレスなLAMデータセットを取得
  • 8K 電子顕微鏡像の解像度と4KのEBSDマップ解像度で最大1500視野まで収集でき、960億ピクセルの電子顕微鏡像と240億ピクセルのEBSDデータセットを作成可能
  • 収集中でも収集後でもインタラクティブに操作可能: イメージ全体の観察や微細領域へのズームが可能
  • 単一の結合データ(最大6400万のポイント数)が標準のサイトデータとして解析可能で、以下の項目を展開可能:
    • X線マップ・EDSレイヤーマップ・相マップ・スペクトル
    • IPFマップ・オイラーマップ・結晶相マップ・各EBSP

 

TKD (Transmission Kikuchi Diffraction, sometimes referred to as t-EBSD)は、SEMにおいて透過モードでEBSDデータを収集し、ナノスケールでの材料評価に応用され始めています。

近年の飛躍的な技術革新にもかかわらず、従来のEBSD技術はパターンの生成領域により、25-100nm解像度に制限されています。 これは(100nm以下のグレインサイズを持つ)ナノ構造材料を正確に計測するには不十分です。

SEMベースの電子線回折の新しいアプローチが使われるようになってきました。 これは電子線透過試料と従来のEBSDハードウェア・ソフトウェアを組み合わせて使用されます。 Transmission EBSD (t-EBSD: Keller and Geiss, 2012) やSEM Transmission Kikuchi Diffraction (TKD: Trimby, 2012)と呼ばれるこの技術は、10nmより良い空間分解能が可能であることが証明されました。

TKDの利点
  • 10nm以下の空間分解能
  • ナノ構造材料解析に理想的
  • 強く変形した試料のEBSD解析

AZtecはTKD解析に最適なシステムです。 ナノメータースケールにおいて最も正確なマップを収集するために標準でTKD最適化モードを内蔵しています。 透過モードで収集されたEBSPはgnomonicひずみを持っていますが、この革新的な技術はそれらのパターンにおいても正確にバンドを検出し、高いヒットレートを提供します。

関連情報

その他アプリケーション

ナノマテリアルの成長と特性評価積層造形(3Dプリンター)清浄度管理構造部材・コンポーネント自動車用エンジンEV技術バッテリー技術太陽電池|構造特性評価コンポジット・構造機械・電子特性金属清浄度故障解析検査・プロセス制御低次元構造の物性評価LED製造・特性評価品質管理・ケミカル判定ロックコア分析ロックストレス応答性電子顕微鏡