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拡張

AZtec LayerProbe

LayerProbe は SEM での薄膜分析のための刺激的なソフトウェアツールです。AZtec EDS マイクロアナリシスシステムのオプションである LayerProbe は、薄膜測定専用のツールよりも高速で、より費用対効果が高く、高分解能です。

  • SEM での薄膜分析

  • 試料表面下の複数の層の特性評価が可能

  • 非破壊分析

  • 2 nm から 2000 nm までの複数の層の厚さと組成の分析が可能

  • 200 nm までの横方向分解能

  • 定常的利用者向けの設定が簡単で、SEM または FIB-SEM の機能拡張として高い費用対効果

  • AZtecEnergy への拡張: シームレスに統合することができ、既存の装置に容易に組み込むことが可能


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LayerProbe は、試料の表層と表面下層の組成と厚さを分析、測定することができます。確立されたマイクロアナリシス技術に基づく非破壊的なツールであり、薄膜測定専用ツールよりも費用対効果が高く、高分解能でより高精度です。

LayerProbe は、表面下の個別の層の組成と厚さも計算することにより、従来の EDS 分析から得られる元素と相の情報を補完します。

ダウンロードセンター

LayerProbe

This 8 page brochure shows the features, benefits and operating principles of LayerProbe - and the many applications it is applied to.

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High quality TEM lamella preparation and on-tip analysis using LayerProbe

Here we present a new technique that enables measurement of the local thickness and composition of TEM lamellae and discuss its application to the failure analysis of semiconductor devices.

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Analysing Flexible Electronics

Research and development of electronic circuitry mounted on plastic substrates is gathering pace.

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Characterisation of all-oxide solar cells using AZtec LayerProbe

Photovoltaic (PV) cells are an attractive option for generating low carbon renewable energy but traditional designs often include undesirable toxic compounds and must be manufactured under special conditions.

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LayerProbe は、半導体製造の前工程および後工程、半導体の研究開発、光学用・工業用コーティング、ナノ電子デバイスなど、幅広い用途に最適です。

半導体の研究開発

  • メタライゼーションおよび絶縁膜の厚さと組成の測定
  • ボンディングパッド上の酸化物形成を高精度で評価 (例: Cu 上の Cu 酸化物)
  • 薄膜形成プロセス (CVD、ALD、スパッタリング、蒸着) を最適化

太陽電池

  • 薄膜太陽電池 (CIGS、CdTe) の活性層の特性評価
  • TCO 層の厚さと均一性を最適化
  • 反射防止膜の厚さと組成の特性評価


光学コーティング

  • 膜厚と組成を精密に特定して、光学コーティングの色と透明度を最適化
  • 化学組成分析により、従来の厚さ測定では確認できなかった不均一性を解明


工業用コーティング

  • 装飾用および構造用コーティングに最適
  • 最小限の試料前処理で表面下の欠陥を解明、正確に特性を評価


ナノサイエンス

  • ナノ粒子コーティングの均一性を測定
  • ナノデバイスへの接続を評価
  • 非破壊での層の測定により、デバイスの性能と構造の関連を解析

LayerProbe provides a new way to quantify TEM lamella thickness and quality in situ - as well as a complimentary technique to the cross-sectional analysis of layered specimens on FIB-SEMs.

  • LayerProbe takes only seconds to characterise the lamella thickness and to detect and measure any implanted Gallium
  • Its precise thickness measurement enables faster preparation of high-quality, ultra-thin lamellae
  • Sub-surface defects are pinpointed to identify locations where to cut with the FIB-SEM
  • LayerProbe can also characterise and optimise the quality of layers deposited or processed in the FIB using gas assisted deposition and etching

LayerProbe is based on proven technology and has significant benefits compared to alternative techniques

A comparison of LayerProbe with other techniques

LayerProbeEllipsometryFIB/TEMRBS
Non-destructiveYesYesNoYes
High spatial resolutionYesNo (>>1 micron)YesYes
Rapid analysisYes (each point takes seconds)YesNo (several hours)No
CostRelatively inexpensiveExpensiveVery expensiveExtremely expensive

How accurate is LayerProbe?

Comparison of ALD layers on silicon substrate

LayerProbe Thickness (nm)Density (gcm-3)Ellipsometry Thickness (nm)Refractive Index
HfO228.1 ± 0.19.433.6 ± 52.04
Al2O357.0 ± 0.23.052.8 ± 51.64

LayerProbe EDS and RBSD composition measurement

LayerProbe - Stoichiometric RatioRBS - Stoichiometric Ratio
Hf /O2.132.07
Al /O1.561.60

Example: PCB Application - Au on Ni on Si substrate

LayerProbe and XRF thickness measurement

LayerProbe Thickness (nm)Density (gcm-3)XRF Thickness (nm)
AU60.1 ± 0.719.361 ± 25
Ni123.5 ± 0.78.9141 ± 24

SEM cross section measurement confirms the result...

ご興味ございますか?

その他アプリケーション

ナノマテリアルの物性評価バッテリー技術太陽光発電技術低次元構造の物性評価発光デバイスの製造と評価