Imaging of Layered Polymer Structures and Failure Analysis

コンパクトなXploreシリコンドリフト検出器(SDD)は、SEMにおけるルーチン的なEDS分析に最適です。 Xploreの発表はオックスフォードインスツルメンツの包括的なEDS製品ラインナップを補完するもので、AZtecLiveリアルタイムケミカルイメージングがすべてのユーザーに利用可能になりました。

ウインドウレス型EDS検出器 SEM 用 EDS における究極の空間分解能と低加速電圧での性能。Extreme のエレクトロニクスと最適化された構成およびセンサ設計のウィンドウレス構造を組み合わせることにより、従来の大面積 SDD の最大 15 倍の感度を実現することができます。

LayerProbe は SEM での薄膜分析のための刺激的なソフトウェアツールです。AZtec EDS マイクロアナリシスシステムのオプションである LayerProbe は、薄膜測定専用のツールよりも高速で、より費用対効果が高く、高分解能です。

WDS分析ソフトウェア INCAEnergy+ は WDS と EDS を組み合わせて使用するソフトウェアで、WDS の高感度・高解像能、EDS の高生産性・使いやすさ、という両者の優れた機能を引き出します。 INCAWave は波長分散型分光器 (WDS) 用ソフトウェアで、WDS の高感度・高解像度という優れた機能を引き出しますが、合わせて情報生産性の強化も考慮しました。