SEM / FIB用EDS/EDX

オックスフォード・インストゥルメンツは、SEMやFIBでのEDS分析のために、AZtec分析ソフトウェアと各種SDD検出器を提供しています。

高いスループットが要求される日常的なEDSマイクロアナリシスから、パフォーマンスが重視される最先端のナノアナリシスまでのソリューションを提供します。

• Ultim Maxは、世界最大の検出素子面積を誇る170mm²のSDDをはじめとした次世代型シリコンドリフト検出器を搭載しています。 
• ライブEDS分析のための迅速なデータ収集を実現するXplore は、ルーチン分析のアプリケーションに必要な信頼性の高い結果を保証します。

• 射撃残渣、鉱物リベレーション、薄膜分析...などの各分野に特化して簡単にご使用いただけるソリューションを提供します。

• ライブケミカルイメージング は革新的な元素分析ソリューションです。