Electron Backscatter Diffraction - EBSD

電子後方散乱回折（EBSD） - EBSD分析法は微細構造の特性評価のための非常に強力なツールです。

電子後方散乱回折（EBSD）は、走査電子顕微鏡（SEM）による手法のひとつであり、試料の微細構造に関する結晶系の情報を得ることができます。EBSDでは、静止した電子ビームが傾斜した結晶試料と相互作用し、回折した電子がパターンを形成、蛍光スクリーンで検出されます。回折パターンは生成された試料の領域における結晶構造および結晶配向に特有なものになります。従って、回折パターンは、結晶配向の特定、結晶系の異なる相の識別、結晶粒界の特徴、および結晶の局所的完全性についての情報などを明らかにするために利用することができます。