High temperature EDS analysis - enabling in situ heating for direct observation of phase transformations in the SEM

金属学会　2023年春期　技術セミナー

SEMでは、専用の加熱・引張ステージを用いて、チャンバー内で加熱・機械的な試験を行うことが可能です。金属、セラミックス、複合材料、ポリマーなど、さまざまな材料の析出や相変態、拡散、偏析などの現象を理解するのに役立ちます。金属学者や材料科学者が、より優れた特性を持つ新材料を開発することを可能にします。

エネルギー分散型分析法（EDS）は、SEMで試料内の元素分布や組成を分析するための一般的な技術です。高温でのEDSの使用は、EDS検出器の性能を著しく低下させる可視および赤外放射の放出などの技術的な課題を伴っています。オックスフォード・インストゥルメンツは、このほどSEMでの高温EDS分析を可能にする独自のソリューションを開発し、高温での化学変化を直接観察できるシステムを実現しました。

このウェビナーは、マンチェスター大学、Tescan社、NewTec社の協力のもと開催されました。オックスフォード・インストゥルメンツの分析装置（EDSおよびEBSD）を搭載した最先端の自動In situ SEMシステム（TANIST）を開発するために提携を結びました。このウェビナーでは、このシステムがどのようにin situテストを使いやすく、そしてセットアップを迅速化し、スループットとデータ品質を向上させるかをご覧いただけます。

今回は、マンチェスター大学実験担当のJack Donoghue博士をお招きし、TANISTプラットフォームとin situ SEMの最新開発についてご紹介いただきます。また、TESCAN社のR&DアプリケーションエンジニアであるAlbert Smith博士にもご参加いただき、TANISTシステムが実際に稼働している様子をご覧いただきます。その後、高温でEDSを使用して材料特性を理解する2つの実例をご覧いただきます。

講演内容：

• SEMにおける自動in situテストの重要性とその仕組み 
• SEMにおけるEDS in situ加熱の課題と解決策 
• EDSおよびEBSDを用いたin situ加熱は、材料の特性をより深く理解するために、実例を挙げてどう活用されるのか？ 

講演時間:　50分