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NanoAnalysis | Blog
ケミカルイメージングに革命をもたらす

18th August 2021 | Author: Anthony Hyde

"サンプルの形態と元素分布の両方を、サンプル周辺を移動しながら連続的に見ることができる"

走査型電子顕微鏡を日常的に使用している方であれば、サンプルの分析は、まず高速スキャンのライブ電子像を見ることから始まることをご存知でしょう。試料上の任意の対象物を選んで焦点を微調整し、試料周辺を移動して構造や形状を確かめます。

ライブ二次電子画像

そして、何らかの変化や興味深い対象物を見つけたら、ステージの動きを止めてその対象物を拡大し、スロースキャンで電子画像を取得します。その後、EDSシステムに切り替えて再度画像を取得し、スペクトルやX線マップを取得して、元素の組成や分布を調べることになるでしょう。

十分な情報が得られたと判断したら、SEMをライブスキャン電子像に切り替えて、次の対象物を見つけるまで目視での検査を続けるのです。

Screenshot of AZtec Interface with standard analysis

一般的なEDSシステムは、この古典的なストップ・スタート・ワークフローをサンプル分析の際には使用しなければなりません。ライブ電子画像を使用して形態学的に興味深い対象物を見つけ、X線マップを取得するためにステージを停止しなければなりません。それが終わると、次の領域に移動し、このプロセスが繰り返されます:

  • 探していたものが見つかった
  • サンプルの代表的な視野を確認できた

この作業には時間がかかり、時には結果が得られないこともあります。EDS分析の領域ランダムに選択されます。ユーザーがある領域から次の領域に移動すると、移動中に元素の分布情報を見逃してしまいます。

もっといい方法はないの?

同じ調査をするにしても、ライブカラーの画像を使って、その画像の色がサンプルに含まれる元素に対応していることを想像してみてください。

このように、サンプルの中を移動しながら、構造や形状だけでなく、元素の構成や分布を知ることができます。

ライブカラースキャン画像

AZtecライブケミカルイメージングを使えば、それが可能になります。これにより、サンプル調査が簡単かつ強力になります。高度なサンプル知識は不要となり、EDS分析のためにSEMステージを停止する必要もなく、また、サンプルのある領域から次の領域へ移動する際に化学情報を見逃すこともありません。

サンプルに関する予備知識がないことは、受託分析を行う研究所ではよくあることです。そのため、SEM-EDSシステムには、できるだけ多くの情報とサポートが必要です。

この例では、3Dタングステンプリンターの粉末サンプルをライブで調査し、ライブケミカルイメージングを使ってサンプルに汚染がないかどうかを迅速に判断しています。

解析を開始すると、ソフトウェアが自動的にチタンマップ(青)とタングステンマップ(赤)を検出し、カラー画像に追加します。

ライブ分析での元素自動検出

サンプル周辺を移動する間にニッケルの汚染が検出され、そのマップ(緑)も自動的にカラー画像に追加されます。

このように、SEMの電子線照射を開始してから数秒後には、サンプルの形態と化学的性質を包括的に理解することができます。AZtecライブケミカルイメージングは、サンプル周辺を移動しながら連続的に情報フィードバックし、一時停止すると自動的に積分モードに入り、十分な時間で積算したスペクトルから低濃度の元素を検出することができます。

AZtecライブケミカルイメージングのユニークな機能については、最近行われたウェビナーをオンデマンドでご覧ください。

AZtecライブケミカルイメージングのユニークな機能については、 最近行われたウェビナー をオンデマンドでご覧ください。

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Anthony Hyde
EDS Product Manager

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