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拡張
Aztec Live

AZtecLive および Ultim Max

AZtecLive は、SEM を用いた試料の分析方法を根本的に変える、EDS 分析の革新的な新しいアプローチです。ライブの電子像をライブのX線化学組成画像と組み合わせ、直感的で新しい方法により、試料を観察し、分析することができます。

AZtecLive は、最大のセンササイズを Extreme エレクトロニクスと組み合わせることで、比類のない速度と感度を実現する次世代のシリコンドリフト検出器 (SDD) Ultim Maxで動作します。

  • リアルタイムの化学組成画像。
  • Live Trace により、分析の全過程を記録。
  • 最大 170 mm2のセンサ面積。
  • 400,000 cps での定量分析。
  • >1,000,000 cps でのEDS マッピング。
価格のお問合せ AZtecLive の事例 ウェビナーはこちら 製品カタログ(英語)のダウンロード

特長

ライブ
マッピング 

ビデオレートの電子像と化学組成画像により、化学組成によるリアルタイム位置探索を初めて実現しています。

ライブ
トレース 

関心のある注目部分を決して見失うことがないように、過去の探索位置、検出された元素の種類が自動的に記録されます。⌈ホットスポット⌋を素早く見つけ出すには、元素の位置と濃度の両方を調べる必要があります。

ULTIM MAX SPEED

ULTIM MAX
速度 

Extreme のエレクトロニクスと X4 パルスプロセッサの組み合わせにより、Ultim Max は 1,500,000 cps の計数率で試料をマッピングし、400,000 cps で化学組成を高精度に定量することができます。

ULTIM MAX SENSITIVITY

ULTIM MAX 
感度 

検出器サイズは非常に重要です。最大 170 mm2の広い Ultim Max センサ面積を使用して、最も要求の厳しい分析条件下で比類のない計数率を実現します。

速度および感度

リアルタイム化学組成画像分析

試料を観察し、分析する方法が変わります。

AZtecLive インターフェースを介した、リアルタイムの化学組成のフィードバックにより、AZtecLive は、試料の迅速かつ総合的な分析を実現することができます。電子顕微鏡と EDS ソフトウェアの間を往復する必要はありません。ライブのTVレートの電子像とX線マップを見ながら、関心のある注目部分を見出すまで試料上を位置探索し、目的の場所で停止すると、AZtecLive が自動的に積算モードに切り替わり、高品質の画像とX線マップのデータが収集され、試料の詳細を観察することができます。

サイズは間違いなく重要です

同一時間内に 17 倍のデータを収集します

Ultim Max の大型 SDD センサを使用することにより、精度を犠牲にすることなく、同一時間内に最大 17 倍も多いデータを収集することが可能となります。より広い領域のマップ、各データポイントの統計精度の向上、データのより迅速な収集、あるいは最小のナノ構造の解析など、いずれの場合においても SEM におけるX線分析のための究極のソリューションです。

AZtecLive 製品概要

Product Overview Azteclive

1 - ライブ画像

2 - ライブX線マップ

3 - 高品質画像とX線マッピングへの移行

4 - Tru-Q スペクトル処理

5 - パルスパイルアップ補正

6 - ライブ状態でのスペクトルデータ更新

7 - ライブ状態での階層化マッピング

9 - 縮小範囲の走査

10 - データの保存

11 - Live Trace - 観察位置の特定

12 - Live Trace - 元素位置の特定

13- 観察位置への再帰

14 - 画像のインポート

15 - インターフェース画面のカスタムレイアウト

17 - More Detailed Analysis

Ultim Max 製品概要

1 - センサ面積

2 - 低ノイズX線検出

3 - SEM とのベローズインターフェース

4 - モータースライド機構

5- >400,000CPS での定量分析

6- >1,000,000CPS でのX線マッピング

7- 間違いなく重要なセンササイズ

8- センササイズに依存しない性能

9- 試料損傷

10- 試料汚染

11- TruMap

12- 真の化学組成変化の強調表示

13- 低濃度元素のマッピング

14- 軽元素分析

15- 低加速電圧分析

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Ultim Extreme Title Ultim Extreme Device

SEM 用 EDS における究極の空間分解能と低加速電圧での性能。Extreme のエレクトロニクスと最適化された構成およびセンサ設計のウィンドウレス構造を組み合わせることにより、従来の大面積 SDD の最大 15 倍の感度を実現することができます。

  • Li 特性 X 線の検出とマッピング。
  • 2kV 以下の加速電圧で動作し、バルク試料で 10nm 以下の空間分解能を実現。
  • 1kV 以下の加速電圧で材料特性評価が可能。
  • 液浸の光学系と組み合わせ、妥協することなく最大 30kV の加速電圧まで高感度データを収集
価格のお問い合わせ 製品紹介

製品の動画

AZtecLive / Ultim Max 開発の背景

AZtecLive:リアルタイム化学組成分析

Ultim Max: SDD 技術の革命

Application Videos

SE検出器では発見が難しい粒子の観察

このアプリケーションビデオは、電子顕微鏡において標準的な検出器で取得する画像では見えない粒子を観察するために、AZtecLiveを使用した事例です。

喘息治療吸入器中の混入物の解析

このアプリケーションビデオは、喘息治療のための吸入器で、定量噴霧器中の混入物を、AZtecLiveを使って観察した事例です。

不良ポリマーパウチ製品の解析

このアプリケーションビデオは、AZtecLiveとUltimMaxを使用して、ポリマー中の不良要因を簡単かつ迅速に発見した事例です。

アプリケーションノート

Analysing a NAND Flash memory device using low kV EDS

The combination of X-Max Extreme with GeminiSEM 500 provides a uniquely convenient and powerful imaging and analysis tool for investigating the morphology and chemistry of nano-structures down to less than 10nm. Using the example of ferrocerium nano-particles and GaInAs quantum dots this capability is demonstrated in practice…

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AZtecLive In Depth: TruQ

This application note describes the unique approach and technology used in AZtecLive EDS systems to provide automatic real-time element identification and composition determination

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AZtecLive In Depth: TruMap

This application note shows how TruMap displays in real-time the real variations of elements in a sample. It describes how minor element variations in a refractory oxide containing slag sample created during clean steel manufacture can be studied.

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AZtecLive & Ultim Max

AZtecLive takes the EDS technique from the static to the dynamic with real-time chemical imaging. AZtecLive is powered by Ultim Max, the next generation SDD detectors combining the largest sensor sizes (170 mm2 and 100 mm2) with Extreme electronics to deliver unparalleled speed and sensitivity.

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AZtec EDS ソフトウェア

AZtecTEM 粒子解析 薄膜解析 3D EDS 特定アプリケーション向け製品
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