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AZtecLive SmartMap & ラインスキャン

サンプルに含まれる元素の分布を理解することは、サンプル検査の鍵となります。AZtecLiveには、サンプルの特性評価をサポートする強力な専用ツールが搭載されています。これらのツールの中心となるのが、AZtec SmartMap スペクトルマッピングです。X線データを1ピクセルごとに記録し、分析後でも再分析可能な「仮想」サンプルを作成します。


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EDS 元素マッピング - Autolayer、TruMapおよびSpectrum Examiner

電子顕微鏡像にEDS元素マップを重ね合わせ、1枚のカラー画像にすることは、試料内の元素分布を簡単に表示するための一般的な方法になりつつあります。そして、この画像の背景となるデータの正確さを知ることはさらに重要です。

Layered image gives complete picture of composition and phase distribution.

SmartMap 

SmartMapのスペクトルマッピングは、自動で元素を識別する定性分析を行い、その分布を表示します。 全元素の分布を観察することができます。

  • 解析についての事前知識は必要なし
  • 全元素を自動で識別し、マップを生成
  • レイヤーイメージが組成と相の分布を数秒で強調表示
  • 最大4KのSmartMap解像度で、広い領域で高解像度解析

AutoLayer - 複雑なストーリーをシンプルに

ボタンのクリック一つで、AutoLayerがX線マップに含まれる複雑な情報を提供し、単一のイメージで相と元素分布を可視化します。

  • 試料を簡単・自動で解釈
  • 単一イメージで何が重要かを強調
  • 試料の複雑さを解明
  • レイヤーイメージの色表示はX線マップと関連付け

TruMap

TruMapは特長的なリアルタイムマッピングソリューションです。大面積SDDで得られる大量のX線カウントを生かして整合性のあるハイレベルな情報を提供します。真の元素分布を観察することができます。

  • アーチファクトの除去
  • ピークオーバーラップの補正
  • X線バックグラウンドによる誤った分布を除去
  • 全てをリアルタイム操作

Map sum spectrum

Spectrum Examiner

Spectrum Examiner は、見過ごされがちな小さな化学相を検出します。

  • マップデータの自動解析
  • 全体のスペクトルから、ピクセル毎のX線カウント変化が大きいエネルギー領域をハイライトします。

相分析 - AutoPhaseMap

試料の特性評価は時間がかかることがよくあり、データを丁寧に調べるためには高度に熟練したオペレータが必要とされます。AutoPhaseMap はボタンを押すだけで、X線マッピングデータからさまざまな特徴的な組成の領域を自動的に見つけ出し、分布、領域、構成元素を特定し、解釈しやすい相画像を生成します。

AutoPhaseMap は、試料の相分布図を自動的に作成する新しい方法です。

データ取得中またはデータ取得後に、AutoPhaseMap は自動的に以下の処理を行います。

  • X線マップデータを数秒で相マップデータに変換。
  • 以下を計算して表示:
    • 各相の分布
    • 各相のスペクトルと組成
    • 各相の面積比率
  • ナノ材料を含むすべてのサイズの範囲で相を探索
  • 隠れている相を探索、存在が微量で見えていない元素を強調表示

大面積自動データ収集を毎日の業務に

  • 簡単に使用できるウィザードが設定プロセスをガイドし、装置を頻繁に使用しないユーザーでも大面積マップ収集ができます。
  • 傾斜試料でも画像のフォーカスが合うように調整します。
  • 画像は収集中でも自動でアライメントされ、モンタージュ前でも後でもつなぎ目のないシームレスなLAMデータを作成できます。
  • 最大1500視野まで収集可能で、各視野は最大8K x 8Kの解像度、そして最大4K x 4KのX線マップを収集可能で、最大960億ピクセルの電子顕微鏡像と最大240億ピクセルのX線マップを作成できます。
  • LAMは収集中は完全なインタラクティブ操作 : 結合したデータやズームして微細な構造を観察可能です。
  • 各視野はそれぞれ解析可能で、X線マップの設定を変更できます。 その変更は収集中でもLAMでの全ての視野に適用されます。
  • フィラメント切れを検知すると自動で一時停止となります。フィラメントを交換して収集を再開できます。

LAMは全ての収集データを最大6400万ポイントの一つのSmartMapデータセットに結合します。

強力な64ビット処理で、標準的なSmartMapデータと同じように結合されたデータを解析できます。さらに:

  • マップの追加・除去が可能
  • SmartMapデータからスペクトルを再構築し、正確な定量結果を取得
  • TruMapと相マップを作成可能

元素分布をラインで観察

ラインスキャン
ラインスキャンはAZtecのリアルタイムデータ収集のコンセプトを元に、元素の直線状分布を出力します。

  • 明確、迅速、簡単にラインスキャンデータを可視化
  • 自由度のある表示が簡単なデータ解釈を可能に
  • ラインスキャンデータをスタック状またはタイル状に表示
  • 主要元素と微量元素の分布を簡単にノーマライズ表示


TruLine
TruMapテクノロジーを内包し、真の元素分布を観察できます。

  • 自動でピークオーバーラップを分離
  • X線バックグラウンドを除去し、元素の差異をより明確に
  • 画像とラインスキャンを整列表示し、見やすい比較表示
  • ノーマライズされた強度スケールで主元素と微量元素を簡単に比較


定量ライン
定量的な元素分布を解析するために、Tru-Qの正確性と再現性を活用しています。

  • 長時間のデータ処理を待つ必要がありません....定量ラインスキャンをライブ観察!
  • Wt%またはAt%で定量結果を表示
  • 結果を表形式でエクセルにエクスポート可能


General

  • 詳細解析のため、ラインスキャンの任意のポイントからスペクトルを再構築可能
  • データはグラフィカルまたは表形式で表示可能
  • 統計処理を改善するためのビニング処理可能
Standard X-ray maps and LineScans indicate that tungsten and silicon are concentrated in similar regions of the structure

AZtecLive & Ultim Max

AZtecLiveは、EDS分析を静的なものから動的なリアルタイムケミカル イメージングに変革します。AZtecLiveは、最大のセンサーサイズとExtremeエレクトロニクスを組み合わせた次世代のSDD検出器Ultim Maxを搭載しており、比類のないスピードと感度を実現しています。(日本語カタログ)

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AZtecLive In Depth: Tru-Q

このアプリケーションノートでは、AZtecLive EDSシステムで使用されている独自のアプローチと技術を説明しています。(英語アプリケーションノート)

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AZtecLive In Depth: TruMap

このアプリケーション ノートでは、TruMap がサンプル中の元素の実際の変動をリアルタイムで表示する方法を説明しています。このアプリケーション ノートでは、クリーンな鉄鋼製造中に作成されたスラグを含む耐火物酸化物サンプルの微小な元素変化を調査する方法について説明しています。(英語アプリケーションノート)

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Find small and discreet phases

このブログでは、Spectrum Examinerを使用して、小さくて不連続な化学相を検出して元素を特定する方法を紹介します。AZtecのSmartMapsでの詳しい操作法も説明しています。(英語ブログ)

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