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NanoAnalysis | Blog
EBSDチームに新しい仲間を迎える

14th July 2021 | Author: Dr Pat Trimby

電子線後方散乱回折(EBSD)は中毒性のある技術です。他の広く普及している分析技術とは異なり、EBSDはなぜかあなたの肌に馴染むのです。 英国のRoyal Microscopical Societyや米国のMicroanalysis Societyなどが主催するEBSDの専門会議に参加すると、1990年代から2000年代初頭にかけてEBSD開発の最前線で活躍していた人たちの顔を見ることができます。 

実際、オックスフォード・インストゥルメンツのような企業で活躍するEBSDのスペシャリストの多くは、初期の商用EBSDの華やかな時代にも関わっていました。; 私たちが前に進むのは非常に難しいようです。同じような感覚を持っている他の顕微鏡分野は、電子顕微鏡のコミュニティだけだと思います(ただし、透過型電子顕微鏡、原子間力顕微鏡、アトムプローブ顕微鏡の関係者の多くは、私の意見に反対すると思います)。

What makes EBSD so special?

それにはいくつかの要因があると考えています。まず、比較的複雑な技術であり、少なくとも結晶学、電子回折、3次元配向情報などについてある程度の理解が必要です。 EBSDを使いこなし、サンプルの理解を深めるためのテクニックを知るには、ある程度の努力が必要です。 そして第二に、EBSDコミュニティには多くのイノベーションがあります。 10年前、15年前には考えられなかったような技術で、人々が何をしているかを見てみましょう。; 透過型菊池回折(TKD)、動的EBSDパターンシミュレーションおよび関連するパターンマッチング技術、辞書および球形インデックス、機械学習ベースの分類、高度な転位解析、いわゆる「高解像度」EBSD… まだまだ続きます。 

商業的な観点から見ると、これは多くの機会を生み出しますが、同時に多くの課題も生み出します。どこに力を注ぐべきか?もちろんすべての技術開発を追求することはできませんし、そうすべきでもありませんが、商用EBSDの最前線での地位を維持するためには、継続的なイノベーションに取り組む必要があります。

オックスフォード・インストゥルメンツでは、次世代のEBSD製品を定義するために、常にEBSD技術者とソフトウェア開発者の専門チームを持っています。 このチームは、EBSDに革命をもたらしたSymmetry CMOS検出器を開発しただけでなく、AZtecのEBSD取得プラットフォームとしての地位を維持するための多くの改良を担当してきました。しかし私たちにはもう一つの秘密兵器があります。 

10年以上前から、私たちはST Developmentという小さな会社のEBSDに関する専門知識を活用してきました。HKLテクノロジーの創業者であるNiels-Henrik Schmidt氏と彼の同僚であるKnud Thomsen氏によってデンマークで設立されたST Development社は、特許を取得したRefined Accuracy indexingやTKDの強化されたバンド検出、そして最近リリースされたAZtecのダイナミックシャドウマスキングツールなど、エキサイティングな新技術を提供する上で非常に重要な役割を果たしています。 

2014年、ST Development社はEBSDの初期の開発者の一人であるKlaus Mehnert博士をチームに迎え、Klaus氏は過去4年間のほとんどをEBSDデータ処理に費やしてきました。

KnudとNiels-HenrikはST Developmentから引退しましたが、著名なEBSDの専門家であるAimo Winkelmann博士が最近着任したことで、STチームはパワーアップしました。実際、彼はEBSDパターンの動的シミュレーションの最初のパイオニアであり、2003年に電子シャネリングパターンのシミュレーションを開始し、今日私たちがよく目にするEBSDパターンの精緻なシミュレーションへと発展しました(例えば、Winkelmann et al. Ultramicroscopy 107, 414-421)。)

球形の動的シミュレーションの例。EBSD(左の球)、CBED(右の球)、コヒーレント散乱とインコヒーレント散乱の組み合わせ(中央の球)を示す。Winkelmann, Journal of Microscopy, Vol.239, 2010, pp.32-45より引用。

Aimoはまた、半導体の極性の測定、マルテンサイトの単位胞の正方性のマッピング、薄膜の欠陥の性質の理解など、EBSD技術の斬新な開発と応用にも取り組んできました。物理学のバックグラウンドを持ち、プログラミングにも優れたスキルを持つAimoが入社してくれたことを、私たちは心から喜んでいます。

Welcome to our EBSD team, Aimo!

Ask me a question Pat Trimby

Dr Pat Trimby
EBSD Product Manager


"他の広く普及している分析技術とは異なり、EBSDはなぜかあなたの肌に馴染むのです。"


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