電子線誘起電流　Electron Beam Induced Current (EBIC)

電子ビーム誘導電流は、SEM（時にはSTEM）における電気活動の解析方法として確立されています。非常に高い空間分解能で電気的・構造的特性の独自の相関関係を提供します。 代表的な用途としては、半導体デバイスの電気的欠陥（粒界や単一転位など）の同定や、非放射性再結合活性や少数電荷キャリアの拡散長の測定などが挙げられます。

アプリケーションノートをダウンロードすることで得られる情報:

• オックスフォード・インストゥルメンツは、電気的プローブと自動化された定量的な信号収集のためのナノプローブと統合されたEBICハードウェアおよびソフトウェアシステムをどのように提供しているか。
• ポートマウント型ナノマニピュレーターを用いた多くのナノプローブ構成が紹介され、説明されています。

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