SEM-EDS 法は、各種材料の特性評価に幅広く利用される手法ですが、ポリマーの研究および製造においても特性評価に関連する難易度の高い要求を満足する解析手法としてその利用が増えつつあります。SEM（走査型電子顕微鏡）でサンプル表面の形態観察をおこない、EDS（エネルギー分散型X線分光器）で構成元素の組成および濃度を特定します。主要構成元素の濃度がポリマーの特性に大きな影響を与える場合、EDS が重要な役割を果たします。

この 10 年の間、EDS 法は最大 170 mm2 の広域 SDD 検出器の導入により大きく進化し、EDS 分光器の感度が 20 倍以上アップしました。感度が上がったことにより、電子線量を下げて短時間で解析できるようになります。これは SEM の電子ビームによって変化を起こしやすいポリマーのようなサンプルにとって大きなメリットです。