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プローブ
ナノマニピュレーション

OmniProbeマニピュレータは、FIBおよびSEM用マニピュレータとして1995年以来業界を牽引してきました。それぞれの予算規模および幅広いアプリケーションに対応可能な複数のモデルが発売されています。

例えば、開ループ制御から閉ループフィードバック制御に至るまで、またはサーボモータ駆動からピエゾ駆動に至るまで、いろいろな選択肢の中からニーズに合うものを選んでいただき、各研究現場でナノマニピュレーション導入による効果を実感いただけます。すべての製品に、OmniProbeエキスパートがTEMラメラ観察やその他のマニピュレーション操作で蓄積した技術が盛り込まれました。

OmniProbeナノマニピュレータは、多くの導入効果のみならず、取り付けやすさ、使い勝手の良さが好評です。OmniProbeを使って以下の操作を実行できます:

  • 被覆されていない絶縁試料上の高電荷領域の中和
  • ナノ構造部(EBIC、EBAC、電気プロービング)の電気的パラメータの測定
  • FIBで使用する場合の平面および背面ミリングのためのリフトアウト操作
  • TEMおよびSEMで使用する場合のナノワイヤサンプルに対する電子プローブ操作
  • TEM、EDS、その他解析用の高品質サンプルの製作
  • 冷凍サンプルのリフトアウト操作

OmniProbeは、ポート取り付け式のナノマニピュレータで、PCインタフェースからの操作が可能です。必要な時に取り付け、必要ない時は邪魔にならないよう取り外してください。ステージ傾動やアクセサリの付け替えなどと合わせて、顕微鏡の多彩な機能をフルに引き出します。ユニークな技術が組み込まれたOmniProbeナノマニピュレータによって対象物の3Dマニピュレーション操作が手助けされることで、顕微鏡による観察作業が容易になり、成功率がアップします。

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OmniProbe 400

This brochure goes into the features and benefits of our flagship nanomanipulator, the OmniProbe 400

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EBIC and EBAC analysis

The E3 quantitative nanoprobing microanalysis system enables the electrical characterisation (EBIC, EBAC and Electrical probing) of devices and materials in the SEM & FIB. This 8 page brochure gives an overview of the E3 product.

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High quality TEM lamella preparation and on-tip analysis

Here we present a new technique that enables measurement of the local thickness and composition of TEM lamellae and discuss its application to the failure analysis of semiconductor devices.

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ナノマニピュレータ

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