Symmetry - 電子線に敏感な材料の解析

電子ビームに敏感な材料は、電子顕微鏡での研究が困難です。特にEBSD技術を用いて分析する場合は、各ピクセルでの比較的長いデュエルタイムが必要となり、プローブ電流とビームエネルギーが高いため、試料に大きなダメージを与える可能性があります。解決策としては、低加速電圧（通常は8～15kV）でスキャンすることがよくありますが、高品質のEBSDパターンを収集するために必要な露光時間が長いため、分析に時間がかかるという問題があります。多くの軟体動物の貝殻に見られるアラゴナイト結晶のサブミクロンスケールの積層である貝殻真珠層は、電子線に敏感な材料の中でも最も困難なものの一つです。

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• Symmetry EBSD検出器が、どのようにして敏感な材料を分析するEBSDの能力を飛躍的に向上させているか。

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