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卓上型走査電子顕微鏡での粒子解析

粉末試料中の粒子は、あらゆる形状、サイズ、組成のものがあり、その分析や特性評価に必要な要件も様々です。粒子分析タスクでは、単一の視野からの形態学的測定のみを必要とする場合もあれば、大規模なサンプルエリアからの何千もの粒子からの形態学的データと化学的データの組み合わせを必要とする場合もあります。 AZtecFeature X線エネルギー分散分析法(EDS)システムを搭載した卓上顕微鏡(TTM)は、あらゆる粒子分析アプリケーションを実行するための非常に汎用性の高いプラットフォームを提供します。

AZtecFeatureはTTMの機能を利用して、サンプル中の粒子の位置を特定するための画像を取得します。その後X線 EDS検出器を使用して、それぞれの位置にある粒子からスペクトルを収集します。 TTMの電動ステージを制御することで、AZtecFeatureはサンプルの大面積領域でこの分析を実行し、分析対象となる粒子の母集団を増やしたり、サンプルにまばらに分布する粒子を見つけたりします。 粒子は実行中または実行終了後に、その形態学的および/または化学的パラメータの観点から分類することができます。解析実行中に得られた分類結果は、検出された粒子の種類を提供します。 これらの分類は、個々の粒子に対して追加の分析を行うかスキップするかを決定するためにも使用することができます。 最後に特定の解析目標が達成された場合に、解析セッションの終了を制御するために使用することができます。

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