EBSD Explained

EBSD Explainedは24ページのチュートリアルで、新規参入者にこのテーマの基礎となる科学の確固たる基礎を与えるだけでなく、信頼性の高い正確なEBSDの結果を得るために理論がどのように実際に適用されているかを示しています。

Introduction
電子線後方散乱回折（EBSD）は、走査型電子顕微鏡（SEM）をベースにした技術で、試料の微細構造に関する結晶学的情報を提供します。EBSDでは電子ビームが傾斜した結晶試料と相互作用し、回折された電子線が蛍光スクリーンで検出可能なパターンを形成します。 この回折パターンは、それが生成された領域の結晶構造と方位が解析されます。 したがって回折パターンは、結晶方位の決定、結晶学的に異なる相間の識別、結晶粒界の特徴付け、局所的な結晶の完全性に関する情報を提供するために使用することができます。

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