Ultim^® Max

大面積SDDセンサー搭載EDS検出器

UltimMaxは、次世代のシリコンドリフト検出器（SDD）です。最大のセンサーサイズと Extreme エレクトロニクスを組み合わせることで、比類のない速度と感度を実現します。

Ultim Max は、次世代のシリコンドリフト検出器（SDD）です。最大のセンサーサイズを Extreme エレクトロニクスと組み合わせることで、比類のない速度と感度を実現します。

Ultim Max の大型 SDD センサを使用することにより、精度を犠牲にすることなく、同一時間内に最大 17 倍も多いデータを収集することが可能となります。より広い領域のマップ、各データポイントの統計精度の向上、データのより迅速な収集、あるいは最小のナノ構造の解析など、いずれの場合においても SEM におけるX線分析のための究極のソリューションです。

Speed - ExtremeエレクトロニクスとX4パルスプロセッサの組み合わせにより、Ultim Maxは1,500,000 cpsでのマップ分析と400,000 cpsでの正確な定量分析を実現します。

Sensitivity - 検出器サイズが重要です。Ultim Maxの100mm2と170mm2の大面積センサーを使うことにより、最も厳しい分析条件においても高いカウントレートを実現します。