オックスフォード・インストゥルメンツツの一部
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Symmetry: EBSD 検出器

EBSD – 後方散乱電子回折法 – は、結晶構造物質微細部の厳密な特性評価を可能にするパワフルなマイクロ解析技術です。その解析速度とデータ品質に大きな影響を及ぼすのが EBSD 用検出器の性能であり、解析技術の有効性を左右する重要な要素となります。

Oxford Instruments の Symmetry は、EBSD 用に最適化された CMOS センサを搭載した画期的な EBSD 検出器です。これまでにない性能と使い勝手の良さを実現しました。

  • 指数付け時の速さ 3000 ポイント/秒 (pps) 以上
  • 既存の CCD センサ搭載検出器と比べ最大 30 倍高速
  • 低電流・低 kV の下での解析でも極めて高い感度
  • 1244 x 1024 ピクセル解像度、高解像 EBSD アプリケーションに最適
  • 速度制約なく高解像パターンを収集可能
  • 操作の単純化を目指した斬新な設定機能

Symmetry ならば、いかなるアプリケーションにも 1 台の検出器で対応可能です。いずれかの性能を犠牲にする必要はありません。

製品カタログ(英語)のダウンロード

CMOS 速度と CMOS 感度を両立
妥協は不要です

 

CMOS SPEED

CMOS SPEED

1秒間で3000パターン以上の収集なSymmetryは世界最速のEBSD検出器です。 この1段階レベルの上がった性能は、ルーチン的な日常分析用途だけではなく、大面積マッピングや3D EBSD、in-situ実験も可能にします。

CMOS SENSITIVITY

CMOS SENSITIVITY

比類なき感度とダイナミックレンジを伴い、Symmetryは低ビーム電流で速く高分解能パターンが必要とされる最もチャレンジングな用途においても最適な検出器です。 スピードと感度に妥協することはありません。

SIMPLICITY

SIMPLICITY

一つの検出器で全ての用途にフィットします:可変チルト機構やダイナミックキャリブレーション、自動設定、シームレスなEDSインテグレーション等の機能が、どなたでも正しい結果を得ることができます。

NEW SCIENCE

NEW SCIENCE

Symmetryは大変革をもたらす製品です。 その前例のないオールラウンドな性能は、非常に厳しい用途においても刺激的で新しい可能性を切り開きます。

速度および感度

CMOS 搭載 Symmetry と CCD 搭載検出器の比較:速度

画期的な技術

COMS ベースのカメラは高速性と高感度の二つの性能を兼ね備え、これまでも幅広い分野に貢献してきました。この度 Symmetry は、EBSD 用に最適化された特別な CMOS イメージセンサーを搭載することにより、これまでどの EBSD 検出器も到達できなかったレベルの性能を実現しました。速度または感度のいずれを重要視する場合も、もう片方を犠牲にする必要はありません。

CMOS 搭載 Symmetry と CCD 搭載検出器の比較:アプリケーション

「一つを選択、何も犠牲にしない」検出器

速度と感度の両立を初めて実現させた Symmetry を使えば、サンプル全域にわたる優れた性能が保証されます。データ品質を損なうことなく素早くデータを取得できます。Symmetry の感度が高いために、複合酸化物や薄膜のような難易度が高いサンプルでも、10 倍以上の速さでデータを取得できます。

製品概要

Symmetry device

1 - 最適化された蛍光スクリーン

2 - 統合型前方散乱検出器システム

3 - 高速高精度機械的位置決め装置

4 - 先進的高効率光学装置

5 - ベローズ型 SEM インタフェース

6 - ソフトウェア制御傾動インタフェース

7 - シームレスな EDS 統合

8 - 完全なフレキシビリティ

9 - 低加速電圧運転

10 - 非接触衝突センサ

11 - 直感的なカメラ構成

12 - 速度制約がない高解像パターン

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製品ビデオ

THE STORY BEHIND SYMMETRY

HIGH RESOLUTION (HR) EBSP

HIGH SPEED ANALYSIS OF NI

SPEED, PROXIMITY, ELEVATION

Symmetry を使用した EBSD アプリケーションノート

Rapid Characterisation of Steel and Ni

In this application note Symmetry is used to characterise a deformed Ni superalloy and a large area across a welded duplex steel.

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High resolution EBSD Mapping of Martensitic Steel

Martensitic structures are traditionally challenging to measure with EBSD. Here, the sensitivity and pattern detail provided by Symmetry enables exceptional results from a martensitic stainless steel.

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Transmission Kikuchi Diffraction (TKD) of metals

Successful TKD analyses require an EBSD detector with both high speed and high sensitivity. The suitability of Symmetry for TKD is demonstrated here on both deformed Al alloys and nanocrystalline Ni.

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Symmetry: High Sensitivity for Beam-sensitive Materials

In this application, Symmetry is used to characterise a challenging biomaterial, shell nacre, and its performance is compared to conventional CCD-based detectors.

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Characterising complex rock samples

An eclogite sample containing 10 phases has been rapidly analysed using integrated EBSD and EDS. The performance of Symmetry enables high pattern resolution and good indexing, even at 250 pps.

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Fast Characterisation of Deformed Quartz Rocks

A relatively simple geological sample, a quartz mylonite, is here characterised in a matter of minutes using Symmetry, collecting data at almost 1000 pps.

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Detailed Study of a Bivalve Shell

An in-depth look at the structures of a mussel shell, characterised using Symmetry. Both calcite and nanostructured aragonite nacre are measured with an unprecedented level of detail and speed.

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Symmetry advantage: high angular resolution at high speeds

This technical bulletin looks at the effect of collecting high resolution patterns at high speeds on metals: astonishing angular resolution, even at 3000 pps.

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