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INCA WAVE WDS分光器は、SEMと組み合わせて使用することを前提としたWDS分光器です。EPMAで使用する場合と同じ全波長をカバーする位置関係で使用します。WDSの使用により解像能が2倍になり、再現性のある安定した観察が可能となります。


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INCA WAVE WDS分光器は、SEMと組み合わせて使用することを前提としたWDS分光器です。EPMAで使用する場合と同じ全波長をカバーする位置関係で使用します。WDSの使用により解像能が2倍になり、再現性のある安定した観察が可能となります。

WAVEは、徹底した精度管理と品質管理で知られる全波長対応型の分光器です。分光器の内部構成部品(水晶発振器、検出器および角度計)を高い精度で組み立て、回折条件を正確に維持して再現性のある測定を可能としました。

  • ローランドサークルが水平に傾斜して配置しているため、試料の正確な縦位置は重要とはなりません。 これは全てのユーザーにおいても簡単に妥当な結果が得られることを意味しています。 また光学顕微鏡における平行ビーム分光計に要求されるような「設定」も必要としません。
  • 最小2eVのスペクトル分解能が近接するX線ラインの分離を容易にします。
  • 多くの元素で100ppm以下の優れた検出限界。
  • 標準で10.8keVのエネルギーレンジ。(オプションで15keV)
  • XPPマトリクス補正アルゴリズムによる正確な定量分析
  • 25年以上の実績のある、高信頼で堅牢な機械設計
  • 様々なSEMへの搭載実績
  • 軽元素を含む試料や、低ビーム電流 (<5nA) での高空間分解能など、多種類の試料において正確な結果を取得

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INCAWave

The only way to achieve EPMA performance on a SEM.

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WDS Explained

Technical briefing regarding Wavelength Dispersive X-ray Microanalysis.

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