オックスフォード・インストゥルメンツは、SEM または FIB の EDS 分析用として AZtec 分析ソフトウェアと幅広い SDD 検出器のラインナップを提供しています。

• EDS マイクロ分析のようなルーチン的な業務から、高精度が要求される最先端のナノ分析まで、各種ソリューションを提供しています。
• 発砲残留物、鉱物リベレーション、薄膜分析など多くのターンキー方式のソリューションを提供しています。
• 独自のAZtecLiveソフトウェアは、ライブの化学組成画像により、試料ナビゲーションと注目位置の特定をより効率的かつ効果的に実行することが可能です。
• ⌈次世代⌋のシリコンドリフト検出器であるUltim Maxで動作 ( 170 mm²の世界最大面積の SDD を含みます) 。
• x-act 10 mm² SDD は、大面積Ultim Max 検出器の最高性能までは必要としない用途に最適です。